Способ изготовления фольгированного диэлектрика

(22) Здявлс;о 26.09,72 (21) 1832441 26-9 с присоединением заявкиГосударственный комитет Совета РЛинистров СССР(088.8) по делам иаооретений и открытий(54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯФО.(1 ЬГИРОВАН НОГО ДИЭЛЕКТРИКА Изобретение относится к технологии гиб 3 кик металлизированных диэлектриков, и:3 сдцдзцдчсццых дл 5 псп,3 льзов 11 п:151 и 13 я тц:3 тс.;пи 10- ск 011, эг 01,т 011 Ои 11 д 3. 01 РЯсл 5. п 130 мы 1,1 св ности при изгоговлс;ии гибки.; пс:ди.: и схем.Из 13 сстсц сособ изготовления гпбк;3;о , льгироваппого диэлектрика.С и 0000 3 д 1 ф1101 Я ст с 51 в ссд,ю 1 цс с;31 а, 1;1 ца мсдцую фольгу наносят слой полна,1:доимида цд ос 1 овс тримелл 1 гговой кисло:4,4-диамицодифсцилоксида, подсуш:1;3 дк 3 Т его с целью удаления растворителя осз шш 3 Я 1,:1 я полимера, и затем наносят ца него сой полиимида, например полипиромеллитимида. Такое покрытие подвсргд 10 т полициклизации с получением моцолпп 1 ой пленки. При этЗм прочность сцепления ца отслаивац 1 с составляет 1630 г, см, прочность 1 ленки па разрыв:1 отцосителыюс удлипс 1311 с составляют соо. встствеццо 910 кг 1 см и 18, при 23"С.Од ц я ко т я к я я 11.1 е и к я в да: и О м с 3 1 с ч 1 и и и (ПОЛИД 1 ЦД 351 МИД С 1 ОЛИПМЦДОМ) П ПЗГС Г 31:.3 ЛСЦ- цая по известной гсцологии (без п,3 сд.3 дрителыого сшивания волнамдоимддим се г от 1 юсителы 1 о болыпую усадку и цсд 3 стдточцу 1 о механическую прочность.Целью изоорстсция является обеспеченс безсадоцосг 51 диэлектрика и ц 033 ыпсц;1 с его адгезиоццой и механической прочости.Для этого в 1 ачествс поде,ойцо:о лака ис:юльзуют поли-бис- (1,3-днфенокснленбензол)- амид-оис- (3,4-дикарбоксифециловый эфир) резо Зцица, который термически дсгидроциклизук 3 г, причем тсрми 1 сск ю дегидроциклизаци 10 1 ц 3 дслоя 11 роиз 13 одят сначала при 120 С в тс:сцпс 30 миц, д здгсм при 250 С в течение 30 мип, тсрмооордоотку дву.;слойцого лаково.покрыт;51 провод 5 т стхпецчято ц)эи 300 С30 мпц и:1 пи 350 С в течение 30 миц.11 зго:Овлсцис д 13 эг 1013: 33 икд по п)эедложенцому спосооу оса 1 цсствляют следующим обра 11 а медую оксидироваццую фольгу наносятподслой поли-б 13 с- (1,3-дифецоксилецбецзол) 13 дтид-бтс-(3,4-дикарбоксифсциловый эфир) резорципа.Концентрация лака состазляет 7 - 10",(3,3:рпчсм разбдвитслсм является диметилформдмид. Г 1 окр 11 тие пз подслойцого лака посте(3 пспцо 31 одсушивд 10 т ца воздухе при комнатной температуре, а зятем 1 ри 80 С в течение 15 миц, после чего термообработку покрытия осуществляют в 13 акуммс последовательно при 120"-С в тсчецис 30 миц и 250 С в течение 2 Э 30 мин. 1 длсс ца подслой наносят покрытиеиз по 13 ерк 13 остцого полипиромеллитамидокис,10 Тцого ла 1 Я.,1 Я 1 Овос пок(311 Т 13 е 33 з подслоя и поверхностного слоя подсушивают ца воздухе при комнатной температуре в течение 30 З(1 м:ц. затем при 60"С в течецие 15 мцц, после451218 11 рсдмет цзобретсиия Составитель Ь. Моценят Текред М. Семенов Корректоры. В, Петрова и О. ДанишеваРедактор А, Зиньковский Заказ 15912 Изд.520 1 ира)к 760 Подписное Ц 11 ИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий Москва, Ж, Раушская наб., д. 4,5Типография, ир. Сапунова, 2 чего термообрабатывают в вакууме послсдовательио при 100 С - -15 мци, 1 оОС 30 мии, 150 С - 30 м и и, 200 С -5 м и и, 250" С - 15 мии, 300 С - -30 мци, 350 С - 30 мип.Преимущество данного процесса состоит и б обеспечении высокой стспепи пядсж 1 юстц гибких печатиых схем за счет зиад)ительпого повышения прочиости сцеплепия пол ипмидиой пленки с медной фольгой (до 2,5 кг,см) созда. ния практически бсзусядочиого фол),Иро 3 и НОГО диэлектрика (з 1 с 13 сс 0,1 ")о ), ООГ 1 а 1 да 10 ИСГО хорошей гибкостью, и повышспця мсхаипчсской прочности иа разрыв (более 1000 кг,см). Это преимущество достигясгся за счет следующих факторов. 15При образовании иа мсдиой фольге полипцромеллитимидпого покрытия без подолия и процессе термообработки возникают большие усадочиые внутренние иапряжсипя. Это приводит к резкому спижеишо проч 1 юсти сцсплс ния при отслаивяиии до 100- -150 г 1 см, а цпогда даже к полному расслосишоВ результате примспспия В качсс Гве подслоя поли-бис-(1,3-дифсиоксилспбеизог) Ямидбис-(3,4-дикарбоксифеиило 31,й эфир рсзо;)ци на с образованием осле термической дсгцдроциклизацци плявкого, эластпчиого:олпимида в)утреипие иапряжсиця в поверхиостиом слое снимаются за счет того, что подслой в период иптеисивпой дегидроциклизации по верхиостиого слоя уже переведен в вязко ГскуЧЕЕ СОСтОяцпе И ПОтОМу ПС ПргпятсВус". СВО- бодиой 3 садке повсрхиостиого слоя. Окоича 1 сльпой тсрмоооработкои:3 акапивястс 5 Ии 1. - лизация поверхпостиого слоя и досИгается сшивка подслойиого полиимцда, В результате чего сонм сщеппая полним иди ая плеика стаиовцтся практически безусадочной при экспл 5 атации. СИОСОО 113 ГО ГОВЛСИ)351 фог)ЬГ) РОВЯИИОГО Д 31. эг)ектикя дг 15 Гибких псчя и ь 1 х схс 3 Иу Гсм ОСГ)СД 013 ЯГСЛЬП 010 П сПСССП И 51 И Я фо 1 ЬГ Г ДВУХ и)ЛиазИдоИслотиь)х .я 013, подоиОйпого по)срхпостного цз иолцпцромсллц гамидокислоты, удалсиия расг)ортсг 5 з И)дслоя и термообработкц получсииого Двухслойиого покрытия, отличающийся тем, чо, с целью обеспсчеипя бсзусадочпостц диэлектрика и по ь) 1 п с 1 1151 с Г 0 я д 1 с 3 0111 0 и ) м е х а 11 и С с к 0 и прочпоси, в качестве п одел ой Ного лака 1 спользуОт оли-бис- (1,3-дифсиоксцлсибеизол) Яз)ид-бис- (3,4-дика)рЗоксифеииг 3 И 3 и эфи;) ) ре)ци)а 1, коГорый срмически дсНд 00)кл)в зуют, причем тсрми сскую дегидроп: клпзапц)0 подслоя процзвод 5)Г спячала при 120 С чепце 30 мип, а затем при 200"С и те:епие 30 ми, тсрмообработку двухслойп 3)го лакового покрытия проводят сгупеичато прц 300 С 13 тсчсч)пс 30 мцп и прц 350 С и тсцсицс 30 м 1,