Способ получения линейных изображений
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 447110
Авторы: Глазков, Михневич, Никифоров, Хворостина
Текст
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ 61) Зависимое от авт. свидетельства -22) Заявлено 27.06.72 (21) 1801839/26-25с присоединением заявки32) Приоритетпубликовано 15.12,74, Бюллетень46ата опубликования описания 07.04.75 51) М, Кл, Н 011 7,64 Государственный комнте Совета Министров СССР по делам изобретений 53) УДК 621.3 8.8) крытии(72) Авторы изобретения Э кифоров, И. М. Глазков, А. И. Хворостин А, Михневи 1) Заявитель 4) СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ЛИНЕЙНЫХ ИЗОБРАЖЕНИЙ ного изображения края линейного экспонированиемность маскирующе 5 По предлагаемонологическая схем чения линейных из ие второгопроизводят иную поверхформ ироваизображениячерез протравлй пленки.му способу па последоватеооражении. иведена тех ЬНОГО ПОЛУ 25 Изобретение относится кке, в частности к изготовлеиов для интегральных микроводниковых приборов.Известен способ получения линейных изображений с использованием контактной фотопечати, включающий операции наложения на подложку с предварительно нанесенным слоем маскирующей пленки и слоем фоторезиста прозрачной подложки, на поверхности которой сформирована топология микроизобракении, создания плотного контакта, экспонирования через прозрачную подложку с топологией микроизображений. Затем экспонироваиную подложку со светочувствительным слоем проявляют и травят.Однако ири этом способе из-за влияния дифракции на краю изображения, рассеяния и многократного отражения в слое фоторезиста не удается получить качественные изображения менее 1 - 2 мкм.С целью получения линейных изображений субмикронного размера по предлагаемому способу по окончании операции нанесения фоторезиста формируют один край линейного изооражеиия, после чего на протравленную поверхность наносят негативный фоторезистна который накладывают подложку поверхностью, имеющей слой с наружным отражением, и формируют второй край линейНа прозрачной подложке 1 с предварительно нанесенным тонким слоем маскирующей пленки 2 способом фотолитографии формируется один край 3 линейного изображения, после чего на ту ке поверхность подложки 1 наносят слой негативного фоторезиста 4, а затем накладывают подложку 5 с отражательным слоем 6, обращенным в сторону фоторезиста, Экспонирование производят через подложку 1, За счет дифракции иа линейном краю 3 маскирующей пленки 2, рассеяния света в пленке фоторезиста 4, многократного отражения света между отракенно 11 поверхностью 6 подложки 5 и маскирующей пленкой 2 подложки 1 фоторезист 4 поглощает энергию облучения в зоне, закрытой маскирующей пленкой 2 от прямого облучения световой энергией.В процессе проявления удаляется слой фоторезиста, на который не возд"йствуст энергия, и часть маскирующей .пленки 2 оказывается защищенной слоем фоторезиста, ТаИзд.19сударственнпо деламМосква, Ж. Подпис каз 10506ЦНИИПИ Тираж 760Совета Министров Соткрытийаб., д. 4/5 4го комитетазобретений и35, Раушская Типография, пр. Сапунова,ким образом создается второй край линейного изображения,Предмет изобретения 1. Способ получения линейных изображений, включающий операции нанесения маскирующей пленки и фоторезиста, формирования изображения, проявления и травления, о тл ич а ю щ и й с я тем, что, с целью получения линейных изображений субмикронного размера, по окончании операции нанесения фоторезиста формируют о;ин край линейного изображения, после чего на проявленную поверхность наносят негативный фоторезист, на который накладывают подложку поверх постыл, имеющей слой с наружным отраже.нием, и формируют второй край лийвйного изображения.2, Способ по п. 1, отличающийся тем,что формирование второго края линейногс 10 изображения производят экспонированиемчерез протравленную поверхность маскирующей пленки.
СмотретьЗаявка
1801839, 27.06.1972
ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ Р-6495
НИКИФОРОВ ЭДУАРД ЯКОВЛЕВИЧ, ГЛАЗКОВ ИЛЬЯ МИХАЙЛОВИЧ, ХВОРОСТИНА АЛЕКСАНДР ИВАНОВИЧ, МИХНЕВИЧ ПАВЕЛ АЛЕКСАНДРОВИЧ
МПК / Метки
МПК: H01L 21/3105
Метки: изображений, линейных
Опубликовано: 15.10.1974
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-447110-sposob-polucheniya-linejjnykh-izobrazhenijj.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ получения линейных изображений</a>
Способ изготовления рельефных изображений на полимерной пленке для слепых
Номер патента: 1391954
Опубликовано: 30.04.1988
Автор: Воскобойников
МПК: B41M 3/16
Метки: изображений, пленке, полимерной, рельефных, слепых
...тиснения, содержащим рабочий конец и ограничитель. Температуру начала размягчения мягкой подложки выбирают на 5-25 градусов выше температуры окружающей среды. 2 зп. ф-лы, 2 иле Окна 4, выполненные в верхней части, обеспечивают доступ орудия тиснения к полимерной пленке, а выемки 5 облегчают ориентацию рабочего конца 9 орудия тиснения при производстве поэлементного выдавливания рельефных знаков, например шрифтом Брайля для слепых.Электронагревательный элемент 7 подсоединяется посредством электро- проводов к любому источнику электроэнергии, например к аккумулятору автомобиля.Ограничитель 1 О, размещенный на рабочем конце 9 орудия тиснения, предотвращает порывы пленки и обеспечивает одинаковую глубину тиснения. Для укладки на нижнюю часть 1...
Способ преобразования серебряного изображения на радиографической пленке
Номер патента: 1539723
Опубликовано: 30.01.1990
Автор: Михайлов
МПК: G03C 5/46
Метки: изображения, пленке, преобразования, радиографической, серебряного
...8 мин при 25 С.П р и м е р 4 (по прототипу). Выполняют как пример 1, но тонируют в растворе состава, г/л:М,И-Дифенилдитиооксамид 5,0 Гидроксид натрия 15,0 Вода До 1 л в течение 10 мин при 200 С.Фотографические показатели по примерам 1-4 представлены в табл, 1.Та блица 1 Фотографические пока- затели Как видно из данных таблиспользовании предлагаемогоимеет место 2,0-2,5-кратныйфотографической чувствительнБ 0, Прирост уровня вуалй нчителен,Были проведены испытанияфической чувствительности иботке по способу-прототипуполнительной обработки. НаРУП/300-10 производилипроволочных эталонов чувствти согласно ГОСТ 7512-82. Пваемым материалом служили спластины СТтолщиной 11,5 работку экспонированных образцов дляполучения серебряного...
Устройство для воспроизведения изображений, записанных на пленку
Номер патента: 34606
Опубликовано: 28.02.1934
Автор: Адамиан
МПК: H04N 3/02
Метки: воспроизведения, записанных, изображений, пленку
...который, лучи, посредством, системы линз 15 и зеркала 1 б, направляются на служащие диоптром, заклеенные бумагой 10 отверстия 18, причем в целях анали-. зирования лучей, вращающиеся вместе с валом щитки 3,4,5 перемещаются на соответствующее друг относительно друга расстояние.1 ФП релмет изобретения.1. Устройство для воспроизведения изображений, записанных на пленке, отличающееся тем, что оно состоит из поворотно укрепленного на оси прозрачного цилиндра 2 с расположенной. В предлагаемом устройстве для. воспроизведенйя изображений, записанныхна пленке, применен поворотно укреплениый на оси црозрачный цилиндр с рас-.положенной на его боковой -поверхности,пленкой, причем на той же оси укрепленысоединенные между собою черной материейщитки,...
Способ записи полутоновых изображений на магнитной пленке
Номер патента: 265936
Опубликовано: 01.01.1970
МПК: G11B 13/04
Метки: записи, изображений, магнитной, пленке, полутоновых
...на пленку; одновременно посредством катушек к пленке под углом р (р - угол отклонения вращающего поля от нормали к направлению ориентирующего поля), отли 2 з чающимся от 90 по отношению к направлению ориентирования, прикладывается магнитное поле записи Н 3 (озяп - вращающее импульсное магнитное поле), Во избежание неоднозначности направления вращения намаг ниченности в различных участках пленки265936 Составитель Э. Гилинская Редактор Т. И. МорозоваКорректор Л. И. Гаврилова Типография, пр. Сапунова, 2 угол Р (по величине около 2) выбирается,несколько (на 40 - 60) большим угла дисперсии намагниченности в пленке. Величина импульсного магнитного поля превышает стартовое значение поля, момент его вкл 1 очения синхро низируется...
Способ записи коитрастного цветного изображения на магнитной пленке
Номер патента: 400053
Опубликовано: 01.01.1973
Авторы: Вител, Золотницкий, Луб, Лукашенко
МПК: H04N 1/21
Метки: записи, изображения, коитрастного, магнитной, пленке, цветного
...в соответствии с записываемой информацией, закодированной в форме цветовых тональностей, Каждому значе- НИЮ Нпост СООтВЕтСтВУЕт ОПРЕДЕЛЕННОЕ Зиа ЧЕ- ние равновесной ширины 1 Э полосовых доменов. Интервал значений 0 и, следовательно, Нпост ОПРЕДЕЛЯЕТСЯ ИНтЕРВаЛОМ ДЛИН ВОЛН 20 цветовых тональностей записываемой информации. Необходимые значения Нпос, могут быть достигнуты при помощи матричной системы проводников. Из-за постоянства границ ДОМЕНОВ ПРИ ВКЛЮЧЕНИИ Нпост РЕаЛИЗУЕтСЯ НЕ.равновесная доменная структура, не связанная однозначно с закодированной информацией. Для установления равновесного состояния одновременно с полем Н, параллельно ему, включается переменное поле Нпср, 30 амплитуда которого уменьшается от макси400053 Предмет...
Предыдущий патент: Магнитная головка
Следующий патент: Фотаграфй
Случайный патент: Устройство для генерации звука