Устройство для измерения удельного сопротивления полупроводниковых материалов

Номер патента: 444132

Автор: Наливайко

ZIP архив

Текст

О П И С А Н И Е (и) 444)32ИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Своз Советских Социалистических Республик) М. Кл суаарственный комитет Совета Министров ССС пе делам изобретений 3) УДК 621.317Опубликовано Дата опублик 5,09.74, Бюллетень35ания описания 04.05.75 крытий(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯСОПРОТИВЛЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВ ом. тке робретения мет Устройстротивлени для измерения удельного со полупроводниковых материалов Изобретение относится к области измерительной и полупроводниковой техники,Известно устройство, принцип действия которого основан на использовании светового зонда, возбуждающего неравновесную проводимость в исследуемом образце, в состав которого входят гецератор СВЧ-колебаний, резонатор с исследуемым образцом, устройство, формирующее световой зонд, видеодетектор с сопротивлением нагрузки и индикаторное устройство для измерения напряжения сигнала на сопротивлении нагрузки видеодетектора. Удельное сопротивление образца с помощью этого устройства определяется по величине напряжения на сопротивлении нагрузки видеодетектора.Цель изобретения - повысить чувствительность устройства, уменьшить его габариты и вес.Для этого измерительный резонатор совмещают с резонатором СВЧ-генератора.На чертеже представлена блок-схема предлагаемого устройства с помещенным в него исследуемым образцом,Устройство содержит СВЧ-генератор 1, полупроводниковый диод 2, блок питания 3, емкостный зазор 4, резонатор 5, видеодетектор 6, измерительный блок 7, сопротивление нагрузки 8, световой зонд 9, формирующее устроиство 10. В резонатор помещен исследуемый образец 11,Устройство работает следующим образС помощью светового зонда 9 в учас5 образца 11 возбуждается неравновесная пводимость, что приводит к изменению добротности и резонансной частоты резонатора 5.Поскольку мощность и частота генерации генератора 1 определяются добротностью и ре 10 зонансной частотой резонатора 5, в которыйпомещен активный элемент, то модуляциядобротности и резонансной частоты резонатора приводит к амплитудной и частотноймодуляции выходной СВЧ-мощности генера 15 тора 1, причем глубина модуляции СВЧ-мощности оказывается пропорциональной удельному сопротивлению освещенного участкаобразца 11.Выходная мощность СВЧ-генератора 1 по 20 дается на видеодетектор 6, и на сопротивлении нагрузки 8 с помощью измерительногоприбора 7 измеряется напряжение сигнала,пропорциональное удельному сопротивлениюосвещаемого световым зондом 9 участка об 25 разца 11.444132 содержащее СВЧ-генератор подачи смещения на исследуемый образец, блок формирования светового зонда, видеодетектор и измерительный блок, отличающееся тем, что, с оставитель В. Скоробогатова орректоры: А. Николаева и В. Петровабакова хред Подписное ов ССС 1 пография, пр пунова,Редактор О. СтенинаЗаказ 962/10ЦНИИПИ Изд. М 474осударствен ного по делам нзо Москва, К,целью повышения шения габаритов и тельный резонатор СВЧ-генератора. Тираж 678 комитета Совета Мин оретений и открытий Раушская наб., д. 4/5

Смотреть

Заявка

1829657, 13.09.1972

ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ Г-4467

НАЛИВАЙКО БОРИС АЛЕКСАНДРОВИЧ

МПК / Метки

МПК: G01R 27/00

Метки: полупроводниковых, сопротивления, удельного

Опубликовано: 25.09.1974

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-444132-ustrojjstvo-dlya-izmereniya-udelnogo-soprotivleniya-poluprovodnikovykh-materialov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устройство для измерения удельного сопротивления полупроводниковых материалов</a>

Похожие патенты