Способ изготовления микрозеркал

Номер патента: 435200

Авторы: Кишиневский, Рошкован, Самосудов, Сахновский

ZIP архив

Текст

(51) М. Кл. С 03 с 17/08 Государственный комет Совета Мнннстрав ССС ао делам изобретенийн аткрытнй 3) УДК 666.1,056вод Виброприбор и Кишиневскииьский институт электроприборостроен АЛ(54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МИКР 2 Изобретение относится к области изготовления микрозерхал, которые могут быть использованы, например, в осциллографических гальванометрах.Известен способ изготовления микрозеркал, заключающийся в том, что стеклянная пластина после полировки соединяется путем оптического контакта с контакпной пластиной,после чего производится шлифовка в размер по толщине до 0,5 - 0,1 мм, полировка и вакуумное алюминирование второй стороны. Затем на делительной машине на стеклянную пластину наносят риски, снимаются с контакта и раскатываются на отдельные элементы - микрозеркала. Здесь и далее полировка ведется на смоляном полировальнике до И=0,5. С одной пластины получается около 1000 микрозеркал размером, например, 0,5 Х 0,8 Х К 0,08 мм, которые имеют отражающий слой алюминия с одной стороны. При металлизации второй стороны микрозеркал необходимо отроизвести подготовку этой поверхности под напыление, что затруднено в условиях крупносерийного производства из-за трудоемкости подготовки под металлизацию поверхности каждого микрозеркала.Кроме того, в процессе подготовки поверхности каждого микрозеркала под металлизацию второй стороны и во время вакуумного напыления нарушается чистота первои 1 поверхности, так как они укладываются этой поверхностью на приспособление.В предлагаемом способе эти недостатки уст ранены за счет того, что нижняя сторона стеклянной пластичны после шлифовки, полировки, металлизации соединяется путем оптического контакта с,контактной пластичной большого размера, Для металлизации выбран сплав, 10 например инвар, обеспечивающий надежноесоединение с ним деталей путем пайки.Поверхность микрозеркал, покрытая слоеминвара, отличается по свету от алюминированной, а коэффициент линейного расширения 15 инвара близок по величине коэффициенту линейного расширения стекла.Затем производится шлифовка верхней стороны стекляннои пластины 1 отражающей поверхности) до необходимой толщины, полиров ка, подготовка поверхности под алюминирование, вакуумное алвминирование и резка на отдельные микрозеркала заданных размеров.Микрозеркала, изготовленные по предлагаемому способу, применительно к гальваномет рам обладают рядом положительных качеств:а) благодаря подготовке поверхностей нижней стороны стеклянной заготовки под металлизацию и ее металлизации до посадки на оптический контакт резко выросла производи- ЗО тельность труда;435200 Составитель И. Бриль Техред Л. Богданова Корректор Т. Хворова Редактор Г, Кузьмина Подписное Заказ 3103/3 Изд.54 Тираж 505 ЦНИИ 11 И Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5Типограия, пр. Сапунова, д. 2 б) алюминированная поверхность микрозеркала легко отличается от неотражающей поверхности, что исключает ошибки при креплении микрозеркал гальванометров;в) возможность крепления микрозеркал на 5 подвижные части гальванометра, с помощью пайки, в то время как обычно микрозеркала осциллографических гальванометров клеятся на подвижные части, что часто приводило к смещению или отклонению микрозеркал, 10 вследствие разных коэффициентов линейного расширения материалов растяжек гальванометров, клея и стекла.Способ крепления микрозеркал,пайкой позволяет улучшить качество записи исследуемых 15 процессов осциллографическими гальванометрами.Предмет изобретения Способ изготовления микрозеркал, включаю. щий шлифование, полирование и металлизацию обеих поверхностей стеклянной подложки с защитой первой из них, до обработки второй поверхностиконтактной пластиной, прикрепляемой оптическим контактом, отл ич а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения производительности труда и улучшения качества микрозеркал, металлизацию первой полированной поверхности производят перед при. креплением к ней,контактной пластины,

Смотреть

Заявка

1799624, 22.06.1972

Г. Л. Рошкован, П. А. Самосудов, Д. Э. Сахновский, Кишиневский завод Виброприбор, Кишиневский научно исследовательский институт электроприборостроени

МПК / Метки

МПК: C03C 17/06

Метки: микрозеркал

Опубликовано: 05.07.1974

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-435200-sposob-izgotovleniya-mikrozerkal.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ изготовления микрозеркал</a>

Похожие патенты