Конденсатор нерел1енной емкости

(51) М. Кл. Н 01 д 7/00 аявкиисоединение риоритет Гасударственный кометеСовета Министров СССРпа делам изобретенийи открытий Опубликовано 30.0 Бюллетень3) УДК 621,319,4(088,8) та опубликования описания 12.11.74 72) Авторы изобретения А. Н. Камышный, И. Н. Ларионов, В. Н. Гусев и М. Ю, Вол(54) КОНДЕНСАТОР ПЕРЕМЕННОЙ ЕМК Изобретение относится к радиотехнике.Известны конденсаторы переменной емкости, состоящие из диэлектрической подложки, на которую нанесены слои термостойкой диэлектрической пленки и терм охи мически активных металла и диэлектрика.Цель изобретения - обеспечение возможности управления величиной емкости с помощью электрического сигнала.Эта цель достигается тем, что в слое термостойкой диэлектрической пленки под слоями термохимически активных металла и диэлектрика расположен металлический подогреватель, выполненный с переменным сечением, плавно изменяющимся вдоль его оси.На фиг. 1 схематически изображен предлагаемый конденсатор; на фиг. 2 - сечение по А - А на фиг. 1.Конденсатор переменной емкости содержит диэлектрическую подложку 1, выполненную, например, из кварца, сапфира, керамики, тугоплавкого стекла, подогреватель 2, выполненный из тонкой металлической пленки, например молибденовой, с переменным сечением, плавно изменяющимся вдоль оси подогревателя 2, металлические пластины 3, образующие верхние обкладки дискретных емкостей конденсатора, термостойкую диэлектрическую пленку 4, например, из окиси алюминия, разделяющую рабочую и управляющую части конденсатора, слой 5 термохимически активного металла, например алюминия, слой 6 термохимически активного диэлектрика, например двуокиси кремния, металли ческую пленку 7, образующую нижнюю обкладку конденсатора, слой 8 термостойкого диэлектрика, электроды 9 и 10 управляющей цепи, подсоединенные к подогревателю 2, выводы 11 и 12 обкладок конденсатора.0 Все эти пленочные элементы нанесены последовательно один за другим из паровой фазы методом вакуумного испарения.Изменение емкости между выводами 11 и 12 осуществляется пропусканием электрического тока через электроды 9 и 10 управляющей цепи и подогреватель 2. При этом в зависимости от величины управляющего тока меняется температура нагрева как самого подогревателя 2, так и находящихся с ним в тепловом контакте термохимически активных металла и диэлектрика. Эта температура распределяется неравномерно вдоль оси подогревателя.Когда в какой-то точке температура термохимически активных слоев 5 и 6 достигает критического значения (300 - 350 для алюминия), они вступают в химическую реакцию, результатом которой является преобразование слоя 6 диэлектрика в металл, сплавляющий-А г остапитель Н. Блинкова Техред Н. Куклина едактор М. Бычкова Коррект ри Заказ 2975/12 зд.179 Тираж 760 одписное Типогрифи; 1 х Сапунова расположенные над ним пластины 3 конденсатора,Так как слои 5 и 6 представляют собой тонкие пленки, химическая реакция, начавшаяся в результате внешнего подогрева за счет подогревателя 2, даже если она носит экзотер. мический характер, не может распространяться за пределы зоны критической температуры.Подогреватель 2 имеет неравномерное сечение, благодаря чему по мере увеличения управляющего тока зона критической температуры передвигается между электродами 9 и 10 управляющей цепи. Соответственно смещается зона протекания химической реакции и образования взамен диэлектрика металлической пленки, замыкающей соответствующие пластины 3 конденсатора переменной емкости,Размеры и число пластин 3 выбраны такими, чтобы при включении каждой очередной пластины к общему выводу 11 скачкообразное изменение емкости было незначительным, сравнимым с обычным нарушением плавности регулировки, наблюдаемым при вращении оси известных типов подстроечных 5 конденсаторов. Предмет изобретенияКонденсатор переменной емкости, состоящий из диэлектрической подложки, на кото рую нанесены слои термостойкой диэлектрической пленки и термохимически активных металла и диэлектрика, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью обеспечения возможности управления величиной емкости с помощью 15 электрического сигнала, в слое термостойкойдиэлектрической пленки под слоями термохимически активных металла и диэлектрика расположен металлический подогреватель, выполненный с переменным сечением, плавно 20 изменяющимся вдоль его оси.