Способ очистки моносилана методом низкотемпературной ректификации
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
(22) Заявлено.03,01,72 (21) 1733873/23 Кл.25/ 3/О вием заявкиприсое Государственный комнте Совета Министров ССС оо делам иааоретеннй и открытий(54) СПОСОБ ОЧИСТКИ МОНОСИЛАНА МЕТОДОМ НИЗКОТЕМПЕРАТУРНОЙ РЕКТИФИКАЦИИ ом тводе при есеи. ащени рь моносилана и Для сок уменьшения ся вести пр последовате В начал бе испаритехладагента, предлагает 2 р истки при следующей операций,иод температуру в курживают равной темпечищаемой примеси, при- рб расхода оцесс оч льности ный, пе ля лодд рзання атуре зам Изобретение относится к технике разделения газов и жидкостей, в частности к способу очистки полупроводниковых материалов при использовании в химической технологии кремния высокой, чистоты.Известен способ очистки моноснлана методом низкотемпературной ректификации; по которому процесс получения чистого продукта проводят в одну стадию с вывод примесей вместе с моносиланом из верхней и нижней частей колонны в количестве 20-30% от исходного количества очищаемого продукта.Недостатком указанного способа является длительность процесса очистки, что при- И водит к повышенному расходу хладагента и значительным потерям моносилана при мов, А. Г. Петрик, А. И. Семеновн, А. П. Горшков и И, В. Поселяни,чем примесь выпадает на стенках куба втвердом виде, без возврата в колонну. Заотем температуру повышают на 20-40 С,примесь переходит. в жидкое состояние истекает в нижнюю часть куба колонны.При этом осуществляют интенсивный отбормоносилана с расходом 50-250 л/час;количество отводимого моносилана не превышает 4-10% от исходной смеси. Далеепроводят термоочистку моносилана, увеличивая температуру стенок куба до 200 С.Примеси в виде гидридов и органическихсоединений либо разлагаются настенках, либоболее летучие соединения превращаются вменее летучие и накапливаются в кубе.При этом отбор моносилана из куба испарителя уменьшают до 10-30 л/час и отбирают 1-3% от исходной смеси,П р и м е р. При очистке моносиланаосновными примесями являются тетраэтоксилан и диборан.Сначала в кубе полного испарения поддерживают температуру минус 82 оС, чтосоответствует температуре плавления тет, раэтоксилана. Затем температуру повыша432792 Составитель А. Певцов Редактор А 1 орченко Текред 1.Миронова Корректор Л.ОРлова Заказ 4 Р 5 Изд.//.Я Тираж Я б, 11 однисное И 1 осударственного комитета Сове 1 а Министров СССР но делам изобретений и открытий ,Москва, 13035, Раушская наб., 4 Нднни 1 тне 4 атент. Москва. Г.яя елгюж,с ол ют на 30 оС, увеличивают отбор до 200л/час н берут анализ на содержание тетраэтоксилана в лтоносилане. После отбора5% от исходной смеси в пробах отсутствует тетраэтоксилан. Далее температуру повышают до 200 оС и уменьшают отбордо 30 л/час. Процесс очистки считают законченным, когда отобрано , 3% от исходной смеси. Об окончательнйх результатахочистки судят по удельному сопротивле Онию кремния, полученного из этого моносилана, после одного прохода (уровень подонорам) и 15 проходов (уровень по беру)на печах бестигельной зонной плавки ввакууме. Результаты показывают, что 15уровень по донорам 500 ом см, а уровеньпо беру 12000 омсм (соответственнопротив 2 00 ом см и 3000 омсм, получаемых обычным методом). При этомпотери моносилана снижаются на 20%, а 3расход хладагента (жидкого азота)на 15%. Предмет изобретени я цСпособ очистки моносилана методом низкотемпературной ректификации в колон.не при выводе примесей из куба полного испарения колонны потоком части пара моносилана, о т л и ч а ю щ и й с я тем,что, с целью уменьшения количества от водимого моносилана, загрязненного примесями, и сокращения расхода хладагента, температуру в кубе испарителя поддерживают сначала равной температуре замер зания очищаемой примеси, затем тел 1 пературу повышают на 20-40 С и отбираютомоносилан в количестве 4-10% от загрузки из куба испарителя, после чего тел 1-пературу поднимают до 50-200 оС и суменьшением скорости отбора отводят1 "3% от йсходного количества очищаелюго продукта.
СмотретьЗаявка
1733873, 03.01.1972
ЗЕЛЬВЕНСКИЙ Я. Д, ЕФРЕМОВ А. И, ПЕТРИК А. Г, СЕМЕНОВ А. И, ШВАРЦМАН Л. Я, ГОРШКОВ А. П, ПОСЕЛЯНИН И. В
МПК / Метки
МПК: F25J 3/08
Метки: методом, моносилана, низкотемпературной, ректификации
Опубликовано: 05.11.1974
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-432792-sposob-ochistki-monosilana-metodom-nizkotemperaturnojj-rektifikacii.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ очистки моносилана методом низкотемпературной ректификации</a>
Способ разделения газовых смесей низкотемпературной ректификацией
Номер патента: 189877
Опубликовано: 01.01.1967
Авторы: Афанасьев, Белоусова, Гридин, Мокин, Ольховик, Рузин, Соломатин, Трошина, Уварова, Харитонова
Метки: газовых, низкотемпературной, разделения, ректификацией, смесей
...на пергенераторе,Закрывается азотный клапан на втогенераторе.Открывается клапан подачи воздухарой регенератор. м рево втоесеи низко- использоваВ, от 7 иссйюения эффекй колонны и и при пере- потока из т и в пепиСпособтемператнием дву7 чийся тетивностипредотврключенияверхнейод перек. Изобретение относится к способам разделения газовых смесей низкотемпературной ректификацией с использованием двух или более регенераторов.Известен способ разделения воздуха низко температурной ректификацией с использованием регенераторов, согласно которому поток азота, отбираемый из верхней части ректификационной колонны, отводят через азотные регенераторы, причем при переключении по следних поток азота в колонне кратковременно прерывается. При переключении...
Способ выделения и очистки капролактама из смеси с водой и примесями
Номер патента: 1806136
Опубликовано: 30.03.1993
Авторы: Бурд, Иоселиани, Лащевский, Минкевич, Пузнянский
МПК: C07D 201/16
Метки: водой, выделения, капролактама, примесями, смеси
...раствора капролактама, полученного смешением рециркулируемых загрязненныхкапролактамсодержащих потоков в соотношении согласно табл.1 (далее по тексту исходная смесь) смешивают с.36 кг кислогоЗц эфира капролактама (состоит из 40 кэпро лактама и 60 серной кислоты), Полученную смесь нейтрализуют аммиачной водойдо рН 5,5-6,0. После расслоения реакционной смеси водный раствор сульфата аммо 35 ния направляют на выпарку, сушку икристаллизацию; а пелученное лактамное. масло в количестве 24 кг экстрагируют вна-.чале 115 кг трихлорэтилена, а затем извлекают капролактам 51 кг воды, Образовавшийся40 25 оводный растворкапролактама в количестве 68 кг после отгонки следов экстрагенный раствор капролактама имеет; ПИ;Д 290-0,8; цветность,0 Х; а...
Устройство для измерения температуры резания методом естественной термопары
Номер патента: 549269
Опубликовано: 05.03.1977
МПК: B23B 25/06
Метки: естественной, методом, резания, температуры, термопары
...предлагаемое устройство для измерения температуры резания. Оно состоит из резцедержавки 1, режущей твердосплавной пластины 2, составленного из материала режущей части резца контактного стержня 3, который помещен в открытый зигзагообразный паз съемной ди. электрической пластины 4, изготовленной, например, из текстолита и закрепленной на одной из боковых граней резцедержавки. Электрический контакт между отдельными твердосплавными пластинками, образующими контактный стержень, обеспечивается винтами 5, контакт между стержнем и твердо. сплавной режущей пластинкой обеспечивается механическим креплением, например струбцинами б.Применение съемной пластины, в которой помещен в открытом пазу контактный стержень, исключает необходимость сверления...
Способ разделения смеси винилбутиловый эфир-бутанол азеотропной ректификацией
Номер патента: 1616888
Опубликовано: 30.12.1990
Авторы: Бабакова, Винс, Волкова, Клик, Котенко, Мороз, Тимофеев
МПК: B01D 3/36, C07C 31/12, C07C 43/16
Метки: азеотропной, винилбутиловый, разделения, ректификацией, смеси, эфир-бутанол
...исходя из содержания випилбутиловаго эфира в сырьевой смеси при условии образования в кубе колонны 1 смеси бутанол - вода гомогенного состава, характеризующейся полной взаим.Ой растгоримостью компонентов,чтос.посабствует стабильной работе коЛ,титттснижается, что ведет к остаточномусодержанию винилбутилавага эФира в .кубе колонны 1 да 18 мас.Т, увеличению примесей дибутилацеталя в кубес 0,1 до 1,19 мас.7 и снижению степени извлечения винилбу,ипового эфира до 98 Е,При работе в оптимальном режимеиз куба колонны 3 выводят 5-10 кгдибутилацеталя и смолаабразных примесей в расчете на 1 т концентрированного бутанола.По предлагаемому способу количество сточных вад снижается да минимума за счет рецикла водного слоя дистиллята колонны 3 совместно с...
Фотоэлектрический цветовой пирометр для измерения цветовой температуры методом “красно-синего отношения”
Номер патента: 97477
Опубликовано: 01.01.1954
Автор: Киренков
Метки: красно-синего, методом, отношения, пирометр, температуры, фотоэлектрический, цветовой
...по)окп, падающие ц фотоэлемент от ооъекта ги,яРассм три Бсмая схс) Я с.;сспсчи 32 ет изхерсние цВетОБОЙ темпеРЯТУРЫ СГСДУ)ОЦ.1 ООРсЗО)1,Оптическ)Й и:1 цп 14 Гплц соот 3 етств 10 щяя дияф)2 Гма), цряВляемьЙ От фотоэгс)1)пт (5, пзеп 5 ет с)стовсЙ пот 01( его красную и синюючасти), попалОппй и 00 фотоэлемента От ЛЯмпы 9, ДО тсх по), Покаицтснсивпост, барсс 1 ых лчец СГ лямГП 1 9 сряВняется с ицтенсиВпостыл красшях лучей от объекта 1. В этом случае при постОЯНИОГ Накасе лсмпы 9 соотношение иптецсиВностеЙ излчениЯООЪЕКТЯ 1 П Ла)ПЫ Б СИНИХ ЛуЧс 1 Х оудЕТ ЗБИСНТЬ ТОЛЬКО ОТ цБЕТОВОЙте)ц)е)туры ооъект 1. Оцтпчес(ИЙ клип 15 (11;Г диафрагма), управляемый от фотоэлемента 5 и воздействующий на синюю часть излучеци 51, идущую О;ько От;Я)пь (пл"...
Предыдущий патент: Способ управления излучением оптического квантового генератора
Следующий патент: Разъемный корпус с подшипника
Случайный патент: Программное устройство для управления водоподготовительными фильтрами