ZIP архив

Текст

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ Союз Соввтских Социалиотицеских Ре".публик/О присоединением заявки сударственныи комитет света Министров СССР но делам изобретенийи открытий оритет ДК 539.1.075 (088.8) 1 ублцкоьано 05.11,1974, Бюл, ата опубликования описания ень 4 5.Л. 197 Авторызобрстеция 1 ремащвили и темо имк 3 аявител СТАЛЛОД ЕРЖАТЕЛ Изобретение относится к устройствам, используемым при исследовании поверхностных структур, например в низковольтной электрон огр аф ии.Известны кристалл одержатели, позволяющие совмещать исследуемую поверхность кристалла с траекторией пучка путем линейного и углового перемещения кристалла в прострацстве.Недостаток известных конструкций состоит г. том, что они це обеспечивают контроля положения пучка в пространстве и его диаметра, а совмещение пучка и поверхности кристалла осуществляется перемещением в пространстве кристалла до появления дифракционной картины на люминесцентном экране. В результате значительно увеличивается время настройки электронографа,Целью изобретения является обеспечение визуального контроля положения и геометрии поперечного сечения пучка медленных электронов, быстрого совмещения поверхности исследуемого кристалла с зондирующим пучком, а также контроля степени компенсации магцитцого поля Земли.Поставленная цель достигается тем, что к кристаллодержателю прикреплена прозрачная (цапример, стеклянная) пластина с люминофором, которая для устранения затемпения дцфракцпонной картины расположена"ак, что поверхность пластины нормальна поверхности образца. Люминесцентное покрытие имеет низкую эцерггпо возбуждения свечения и малое сопротивление растеканию заряда (например 7 цО:Хп). К пластине приложено то же напряжение, чго и к кристаллу,поэтому эквипотенциальность пространствавнутри дифракционной камеры не нарушает 10 ся. Это позволяет наблюдать положениеэлектронного пучка, геометрию поперечногосечения пучка, контролировать степень комгенсациц магнитного поля Земли и быстросовмещать исследуемую поверхность с траек 15 говией пучка.На чертеже показан предложенный кристаллодерж атель: а - положение при настройке; б - рабочее положение.Пушка медленных электронов 1 формируетэлектронный пучок и направляет его (см, положение а) на пластину 2 с люминофором,которая закреплена на кристаллодержателе3 таким образом, что поверхность пластиныповерхность исследуемого кристалла составляют угол 90. В рабочем положениикристаллодержателя электронный пучок попадает ца исследуемый кристалл, а пластинас люминофором це препятствует наблюдениюдифракционной картины,Тираж 678света Министров СССоткрытийаб., д, 4/5 Заказ 1366/16 Изд,468 ЦНИИПИ Государственного комитета по делам изобретений и Москва, К.35, Раушскаяписно Типография, пр, Сапунова, 2 1. Кристаллодержатель для исследования поверхностных структур методом электронографии, содержащий кристалл, устройство для крепления кристалла и механизм линейного и вращательного перемещения, о т л ич а ю щ и й с я тем, что, с целью обеспечения контроля фокусировки пучка электронов и упрощения процесса совмещения с ним исследуемой поверхности кристалла, он снабжен прозрачной, например стеклянной, пластиной с люминофором, например окисью цинка, акивированной цинком, предназначенной дляопределения положения и геометрии попереч ного сечения пучка электронов.2. Кристаллодержатель по п, 1, о т л и ч а ющ и й с я тем, что, с целью устранения затемнения дифракционной картины, пластина с люминофором расположена так, что поверх ность пластины и поверхность образца составляют угол порядка 90.

Смотреть

Заявка

1661898, 31.05.1971

МПК / Метки

МПК: G01T 7/00

Метки: 414556

Опубликовано: 05.02.1974

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-414556-414556.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">414556</a>

Похожие патенты