Ликромаиипу. пятор

ОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕН ИЯК АВТОРСКОМУ СВИ ВПЛЬСТВУ 400459 Союз СоветскихСоциалистическихРеспублик а ге исимое от свидетельс М,Кл,В 00 аявлено 02.7.1971 ( 1674375/25-8) заявки Левг присоединение осударстееииый комит Соаета Мииистроа ССС по делам изобретеиийи открытий 1 риорцтет ллстсць М 40 2-231.24088 8) убликовацо 01,1973,1 т4 Дата опуолковаця описа. Лотвин, В. А. Плавинский, В. Н. Широков и Б. А. Кусман Авторы зобретенця аявитель МИКРОМА 1 И ПУЛЯТ Изобретение относится к области точноймехасчики,Известшл микромаципуляторы с рабочимстолом, установленным с тремя степенямисвободы в планках, привод которого выполцец в виде объемной гидравлическо передаПредлагаемый аоикроманипулятор отличается от известных тем, что привод рабочего стола выполнен в виде образованных взазорах между поверхностями рабочего стола и планками аэростатических (гидростатических) подушек, регулируемых по толщинеза счет изменения расхода газа (жидкости),причем система питания любых двух противоположно расположенных подушек выполненадифференциальной.Это обеспечивает получение точных микроперемещений,На фиг. 1 и 2 изображена конструктивнаясхема предлагаемого микромасчипулятора.Микромаципулятор содержит рабочийстол 1, который взвешен в трех замкнутыхаэростатических (гидростатичеоких) направляющих, каждая из,которых образована двумя противоположно расположенными аэростатическими (гидростатическими) подушками 2 и 8,4 и 5,6 и 7. Подушии 2 и 8 образованы в зазорах между рабочим столом ипланками 8 и 9, подушки 4 и 5 - между ра 2бочцм столом и цлацкамп 10 ц 11, а подушки 6 и 7 - между рабочим столом и планками 12 ц 13,Устройства 14, 15, 16 регулирования рас 5 хода газа предназначены для изменения толщин аэростатических (гидростатичеоких) подушек, соответственно 6 и 7, 4 ц 5, 2 и 8. Газ(жидкость), образующий аэростатичеокие подушки, подается через каналы, имеющиеся в10 планках 8 - И,Микроперемещения рабочего стола возможны по трем координатам Х, У, Е, перпендикулярно которым .расположены пары подушек 2 и 8,4 и 5,6 ц 7.На рабочий стол с15 противоположных сторон действуют аэрОстатические (гпдростатичеокие) подушки с силами, равнодействующая которых равна нулю. При этом рабочий стол зафиксирован вданном положеии.20 Прп увелцчешш расхода газа (жидкости)в одной аэростатической (гидростатичеокой)подушке (напрцмер, в третьей) и одновременном уменьшении расхода газа (жидкости)в другой (напрмер, во второи) давление га 25 за (жидкости) в аэростатической (гидростатической) подушке 3 увеличится, а в подушке 2 уменьшится. В результате этого нару.шается равновесие спл, действующих на рабочий стол по осц Х, и он начинает переь 1 азо щаться в сторонт,подшкот 2. В результате400459 13 1 Фи А. Составитель В. Тупицыиаедактор О. Юркова Техред Т. Курили корректор В, Брыкси Тираж 780Совета Министров СССи открытийя наб., д. 4/5 Изд, Ьо 1981осударственного комитетапо делам изобретений Москва, Ж, Раушск Заказ 7160ЦНИИП одписное агорская типографи 5 Движени 51 зазор меакду 1)або 1 им сто;1 Оы и планкой 8 увеличивается, а между рабочим столом и планкОЙ 9 умеп 1.1 пается. В увелп 1 ивающемся зазоре давление в подушкеменьшается, а в уменьш 1 пощгмся зазоре увеличивается. Дви 5 кенис просходит до тех пор, по. ка силы, действу 1 ощие па рабочий стол по осп Х, не урав 11 овесятс 51. Прп перемещении рабочего стола по о 1 но 11 координате (п 11 пример, Х) подушки 4 и 5, б и 7 выполняют функц 11 и и апр авл я 1 оп 1 пх. Двпже 1 ше раоочего стола по оси Л возможно 11 при изменении расхода газа (жидкости) в одной из аэростатических (гидростатпческих) подушек (например, второй или третьей) .Описанный процесс движения ревевсивен.Перемещенне рабочего стола по любой координате аналогично перемещению по оси Х и может осуществляться одновременно.Предмет изобретения1. Микроманппулятор с рабочим столом,установленным с тремя степенями свободы в планках, привод которого связан с усоройстОм регулирования расхода газа (ж 1 кдкости), отличагощайся тем, что, с целью получения точных мииропереме 1 цени 11, привод рабочего 10 стола выполнеп в виде образованных в зазорах между поверхностями рабочего стола и планками аэростатических (ги 1 дростатических) поду 1 пек, регулируемых по толщине за счет 11 зме 11 епи 51 расхода газа (5 к 11 дкости).15 2. Микромапипулятор по п. 1, отличающий."я тем, что система питания любых двух противоположно расположенных аэростатических (гидростатических) подушек выполнена дифференциальной.