Прибор для определения содержания тетрахлорида

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ Союз Советских Социалистических РеспубликЗависимое от авт. свидетельстваЗаявлено 01.И 1.1971 ( 1678688/23-26)с присоединением заявки01 п 13 00 01 Ь ЗЗ/08 Государственный комитет СоВета Министров СССР па делам изобретений и открытийиопит 0,84:54 (088,8) Опубликовано 21.Н.1973. БюллетеньДата опубликования описания 10.Х 11.197 Авторыизобретения куденко и В. В. Харчен М. Абдурахман нститут электроники АН Узбекской ССР аявитсль ЛЯ ОПРЕДЕЛЕНКРЕМНИ И в э поимене таводс ка чу из г ых элементов сост 1 с измерительным аналами 2, снабж йками диффузионн Изобретение может быть пр но питаксиальной технологии и про тве лупроводникового кремния.Известное устройство содержит измерительный и эталонный газовые каналы с чувствительными элементами, расположенными в них, и измерительную систему. В качестве чувствительных элементов применсны термисторы, Каждый термистор соединен с отдельной транзисторной цепью, которая задает режим работы термистора.Цель изобретения повысить точность результатов измерения при скорости газового потока и упростить прибор.Зто достигается тем, что измерительный н эталонный газовые каналы снабжены газовыми ячейками диффузионного типа, в которых установлены чувствительные элементы.Причем в качестве чувствительных элементов использованы термопреобразователи, соединенные в каждом канале последовательно в термобатарею.На фиг. 1 изображен предлагаемый прибор, общий вид; на фиг. 2 - разрез бло вствительных элементов вдоль одного азовых каналов.Блок чувствительн оит из массивного корпуса и эталонным газовыми к енными двумя газовыми яче ого тиСОДЕРЖАНИЯ ТЕТРАХЛОРИДАВ ВОДОРОДЕ па 3, расположенными перпендикулярно оси газовых каналов. В газовых ячейках каждого канала вакуумно-плотно установлены термопрсобразователи 4, например типа ТВБ - 9, 5 Штуцеры 5, установленные на входе н выходекаждоо канала, служат для присоединения прибора к газовой системе.Нагреватсли термопреобразогатслсй соединены послсдовательно. Рабочий ток задается 10 сопротивлением б (1=500 олт) и регистрируется миллиамперметром 7. Измерительные цепи термопреобразователей включены в каждом канале последовательно с учетом полярности и образуют термобатарсю. Злектропз мерительный прибор 8 регистрирует разностьтермоэдс, возникающую при изменении теплопроводности газовой среды. Переменное сопротивление 9 служит корректором пуля. Первоначально вся система продувается чистым во дородом, который проходит по измерительному и эталонному каналам и омывает термопреобразователи. Сопротивлением 9 устанавливают нуль прибора 8, что соответствует отсутствию тетрахлорида кремния в водороде, За тем в измерительный канал вводится парогазовая смесь, содержащая пары тетрохлорида кремния. Термопреобразователи эталонного канала остаются в среде чистого водорода, а термопреобразователи измерительного канала ЗО омываются водородом, содержащим пары те387263 4 Предмет изобретения Составитель В, МайоровРедактор С. Ежкова Тсхрсд Т. Миронова Кор ректо р Л. Ново жил о в Тираж 755тета Совета Министрий и открытийская наб., д. 4/5 Из,д.840осударственного ком по делам изобрете Моск в а, Ж, Р а уш 262/3 ЦНИИП ПодписноССР ак ипография, пр. Сапунова, 2 трахлорида кремния. Так как теплопроводность смеси ниже теплопроводности чистого водорода, температура термопреобразователей возрастает, и прибор 8 отмечает наличие термоэлектродвижущей силы. По калибровочной кривой, построенной для различных потоков водорода в диапазоне концентраций тетрахлорида кремния в водороде от О до 3,5%, определяется содержание тетрахлорида кремния,1. Прибор для определения содержаниятетрахлорида кремния в водороде, содержащий измерительный и эталонный газовые качувствительными элементами, расположенными в них, и измерительную систему, отличающийся тем, что, с целью повышения 5 точности результатов измерения при изменении скорости газового потока и упрощения прибора, измерительный и эталонный газовые каналы снабжены газовыми ячейками диффузиошого типа, в которых установлены чувст внтельные элементы.2. Прибор для определения содержания тетрахлорида кремния в водороде по п, 1, отличающийся тем, что в качестве чувствительных элементов использованы термопреобразовате ли, соединенные в каждом канале последовательно в термобатарею.