Дозатор энергии оптического излучения

Номер патента: 387225

Авторы: Грудинский, Сироткин, Ярош

ZIP архив

Текст

О П И С А Н И Е 387225ИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЙЬСТВдт Союз Советских Социалистинескит РеспубликЗависимое от авт. свидетельстваЗаявлено 23,1 Ч.1970 ( 1430564/26-25)с присоединением заявкиПриоритетОпубликовано 21.Ч 1.1973, Бюллетень27Дата опубликования описания 4.Х,1973 М. Кл. Ст ОЦ 1/26 Государственный комитетСовета Министров СССРоо делам ивобретенийи открытий,.ДОЗАТОР ЭНЕРГИИ ОПТИЧЕСКОГО ИЗЛУЧЕНИЯ 1Изобретение относится к области фототехники и литографии.Известный дозатор энергии оптического излучения, содержащий фотоэлектрический преобразователь, усилитель, нуль-орган, делитель напряжения и измерительный прибор, обладает малым быстродействием и низкой точностью, а также ненадежен в работе.В предлагаемый дозатор, с целью повышения быстродействия и точности измерения, 10 введен компенсирующий транзистор, база которого соединена с делителем напряжения, а измерительный прибор включен между выходом нуль-органа и эмиттером компенсирующего транзистора. 15На чертеже представлена схема предлагаемого устройства.Дозатор содержит фотоэлектрический преобразователь 1, который состоит из фотоэлемента 2, зарядного конденсатора 3, реле 4 с 20 контактами 5 и б; усилитель 7, собранный на лампе 8; нуль-орган 9, собранный на транзисторах 10 и 11; компенсирующий транзистор 12; делитель 13 напряжения, содержащий потенциометр 14; измерительный прибор 15 25Устройство работает следующим образом.Запускающий импульс переключает контакты 5,и б реле 4,в нижнее положение. Ток фотоэлемента 2 заряжает конденсатор 5, потенциал заряда конденсатора увеличивается 30 пропорционально величине энергии излучения, поступающей на фотокатод фотоэлемента-тот потенциал подается посредством катодного повторителя на один из входов нуль-органа 9, на второй вход которого подается потенциал средней точки потенциометра 14 делителя 13. По достижении напряжения на конденсаторе 5 потенциала средней точки потенциометра делителя сигнал с выхода нуль-органа прекращается. Цикл дозации завершается. Длительность дозирования определяется длительностью импульса с выхода нуль-органа, который возникает в момент прихода запускающего импульса на контактах б реле 4.Величина дозы энергии излучения задается регулированием потенциометра 14. Дозу энергии и ее остаток (энергии излучения, необходимой для завершения дозирования) в процессе дозации измеряют с помощью измерительного прибора 15. Предлагаемое устройство может найти применение в электронной промышленности при производстве интегральных схем методом фотолитографии, в полиграфической промышленности при фоторепродукционных работах, а также в других областях техники, где требуется точное дозирование энергиями излучения оптического диапазона.387225 целью повышения быстродействия и точности измерения, в дозатор введен компенсирующий транзистор, база которого соединена с делителем напряжения, а измерительный прибор 5 включен между выходом нуль-органа и эмиттером,компенсирующего транзистора. Предмет изобретения Составитель Т. Дозоров едактор А. Батыгин Техред Л, Богданова Корректоры: Л, Царькова и Е, ХмелеваЗаказ 2636/7 Изд.741 Тираж 755 ПодписноЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРМосква, Ж, Раушская наб., д. 4/5 ипография, пр. Сапуноьа Дозатор энергии оптического излучения, содержащий измерительный прибор, делитель напряжения и фотоэлектрический преобразователь, соединенный со входом нуль-органа через усилитель, отличающийся тем, что, с 1 1 1

Смотреть

Заявка

1430564

В. Грудинский, П. Сироткин, А. В. Ярош

МПК / Метки

МПК: G01J 1/26

Метки: дозатор, излучения, оптического, энергии

Опубликовано: 01.01.1973

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-387225-dozator-ehnergii-opticheskogo-izlucheniya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Дозатор энергии оптического излучения</a>

Похожие патенты