Номер патента: 377714

Авторы: Телешов, Фридман

ZIP архив

Текст

О П И С А Н И Е ЗУУУ 14ИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Ьюз Советских Социалистических РеспубликЗависимое от авт, свидетельств Заявлено 02.1 Ч,1971 ( 164168 М, Кл. б 02 Ь 21/О с присоединением заявкиПриоритетОпубликовано 17,1 Ч.1973, Бюллетень18Дата опубликования описания 12 Х 11.1973 Комитет ло делам изобретений и открытийУДК 535.822.1088.8) рн Совете Мниистро СССРАвторыизобретения Фридман и Б. В, Телешов ИКРОСКОП редмет изобретени Изобретение относится к,области оптических приборов, предназначенных, в частности, для контроля совмещения изображений при фотолитографических процессах в микроэлектронике.Известны микроскопы, содержащие объектив, окуляр и устройство для совмещения в одной плоскости изображений двух плоских объектов, размещенных на различных расстояниях от объектива.11 редлагаемый микроскоп отличается от известных тем, что в нем для упрощения конструкции устройство совмещения выполнено в виде двух склеенных, одинаковых ло толщине плоскопараллельных пластин из одноосных кристаллов, например кальцита, оси которых наклонны друг к другу.Микроскоп (см. чертеж) содержит микро- объектив 1, окуляр 2 и устройство 3 для совмещения двух изображений плоских объектов 4 и б в одну плоскость без нарушения масштаба.Компенсирующее устройство 3 выполнено а виде двух склеенных плоско параллельных пластин б и 7, одинаковых по толщине, полученных из одноосных кристаллов, например кальцита. Оси кристаллов б и 7 расположены под углом друг к другу таким образом, чтобы обеспечить двойное лучепреломление с максимальным разделением лучей на обыкновенный и необыкновенный и создание разности хода лучей лри прохождении их через кристалл.Для упрощения юстировки устройства компенсирующее устройство может быть установ лено,между плоскостями объектов 4 и б имикрообъективом 1.Устройство работает следующим образом,Лучи от двух разнесенных плоскостей объектов 4 и б проходят через микрообъектив 1 и 0 компенсирующее устройство 3. Луч от объекта 4 проходит путь АВСЕГ, а от объекта б - путь ВСДР. При соответствующей толщине пластин б и 7 разность хода от плоскостей объектов 4 и б компенсируется.5 Совмещенное изображение получается качественным, так как одноосные кристаллы практически не поглощают видимый, свет. Микроскоп, содержащий объектив, окуляри устройство для совмещения в одной плоскости изображений двух плоских объектов,размещенных на различных расстояниях от5 объектива, отличающийся тем, что, с цельюупрощения конструкции, устройство для совмещения выполнено в виде двух склеенныходинаковых по толщине ллоскопараллельныхпластин из одноосных кристаллов, например0 кальцита, оси которых наклонны одна к другой,Типография, пр. Сапунова,Заказ 1836/12ЦНИИПИ Комитет Изд.1408 Тираж 551о делам изобретений и открытий при Совет Москва, Ж, Раушская паб., д. 4/5 ПМинистро писнССС

Смотреть

Заявка

1641687

В. Е. Фридман, Б. В. Телешов

МПК / Метки

МПК: G02B 21/18, G02B 27/28, G02B 27/40

Метки: микроскоп

Опубликовано: 01.01.1973

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-377714-mikroskop.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Микроскоп</a>

Похожие патенты