Устройство для контроля толщины напыляемыхпленок
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
Союз Советски Социзлистических РеспувликЗависимое от авт. свидетельстваЗаявлено 25.1.1965 ( 939914/23-5)с присоединением заявкиПриоритетОпубликовано ОЗ.Х 1.1972. Бюллетень34Дата опубликования описания 27.Х 11.1972 М. Кл. б 01 Ь 11/06 Номитет по делом зобретений и открытий при Совете Министров СССРАвторыизобретения А. Е. Лихтмаи и А. П. Толдов Заявитель УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ ТОЛЩИНЫ НАПЫЛЯЕМЫХ ПЛЕНОКПредмет изобретения Известны устройства для контроля толщины напыляемых пленок, состоящие из камеры с напылителями внутри нее и фотометрической измерительной системы.Известные устройства контролируют толщину только прозрачных пленок.Предлагаемое устройство позволяет контролировать толщину пленок как прозрачных, так и непрозрачных. Оно отличается тем, что камера снабжена экраном с регулируемой щелью, против которой установлен вращающийся прозрачный диск с напыляемой через щель контрольной пленкой.Сущность изобретения поясняется чертежом.Устройство состоит из фотометрической измерительной системы 1 и камеры 2 со смотровым окном 3. Внутри камеры напротив напылителей 4 расположены обрабатываемые детали 5, неподвижный экран б с регулируемой щелью 7, над которым закреплены вращающийся диск 8, призма 9 закрыта экраном 1 О.Устройство работает следующим образом.Напылители 4 наносят пленку на обрабатываемые детали 5 и одновременно через щель 7 экрана б - на вращающийся стеклянный диск 8. Контрольная пленка на диске 8 настолько тонка, что остается прозрачной до конца напыления.Фотометрическая измерительная система 1по изменению светового потока, проходящего 5 через смотровое окно 3 камеры 2 и стеклянный диск 8 с контрольной пленкой и отражаемого призмой 10, контролирует толщину напыляемой пленки.Незначительной толщины контрольной плен ки на стеклянном диске 8 добиваются регулированием размера щели 7, расстояния от напылителей 4 до диска 8 и обрабатываемой детали 5, а также среднего радиуса контрольной напыляемой пленки,15 Устройство для контроля толщины напыляемых пленок, состоящее из камеры, внутри ко торой размещены напылители, и фотометрической измерительной системы, отличающееся тем, что, с целью обеспечения контроля толщины непрозрачных напыляемых пленок, камера снабжена экраном с регулируемой ще лью, против которой установлен вращающийся прозрачный диск с напыляемой через щель контрольной пленкой.358613 8 6 5 70 Редактор Л. Ушакова Техред 3. Тараненко Корректор А, Степанов ипография, пр. Сапунова, 2 Заказ 407516 Изд.1665 Тираж 406 Подписное ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР Москва, Ж-З 5, Раушская наб., д. 4/5
СмотретьЗаявка
939914
А. Е. Лихтман, А. П. Толдов
МПК / Метки
МПК: G01B 11/06
Метки: напыляемыхпленок, толщины
Опубликовано: 01.01.1972
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-358613-ustrojjstvo-dlya-kontrolya-tolshhiny-napylyaemykhplenok.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устройство для контроля толщины напыляемыхпленок</a>
Устройство для контроля толщины тонких пленок, наносимых на подложку
Номер патента: 1026004
Опубликовано: 30.06.1983
Авторы: Гайнутдинов, Исхаков, Фазылзянов
МПК: G01B 11/06
Метки: наносимых, пленок, подложку, толщины, тонких
...устройство обеспе.чивает повышенную точность 21 .Однако известное устройство непозволяет вести контроль толщины покоэффициенту отражения подложек,таккак при вращении карусели происходитизменение положения рабочих подложек.относительно источника излучения ифотоприемника как по высоте, так ипо углу наклона. Вследствие длинногооятического пути контрольного лучаот источника излучения до фотоприемника (порядка 1,5-2 м) даже незначительные смещения подложек вызываютполную разъюстировку системы контролятолщины. По этой причине невозможновести контроль толщины тонких пленокнепосредственно по рабочим подложкамв отраженном свете. Недостатком уст-,ройства являются также жесткие требования к самим рабочим подложкам, которые должны представлять собой...
Способ контроля толщины тонких пленок
Номер патента: 266223
Опубликовано: 01.01.1970
МПК: G01B 11/06, G01B 9/02
Метки: пленок, толщины, тонких
...свидетель попадает только одно вещество. На свидетели осаждение проводят столько раз, сколько раз наносят слои из определенного вещества на деталь. Вещество пспадает на свидетель, 20 когда он находится в рабочем положении,Остальные свидетели защищены от попадания вещества экр аном. Свидетелями могут служить разные участки одной и той же плоскопараллельной пластинки.25 Контроль толщины слоя на рабочем свидетеле осуществляется обычным фотометрическим способом. На свидетель направляют лучистый псток от источника света 1 лампы накаливания), Отраженный от свидетеля 1 либо 30 прошедший через свидетель) свет направляют266223 Составитель Л. ЛобзоваРедактор Л. Г. Герасимова Техред Л. Я, Левина Корректор В. Трутней Заказ 1646/11 Тираж 480...
Устройство для контроля толщины тонких пленок
Номер патента: 372755
Опубликовано: 01.01.1973
Метки: пленок, толщины, тонких
...дополнительные отверстия, расположенные по контуру противоположного эталонного кварцевого резонатора, Их общая площадь равна площади отверстия, противолежащего измерительному резонатору,Работа датчика .основана .на том обстоятельстве, что массовая чувствительность кварца является функцией расстояния от центра пластины. В центре пластины она максимальна, а по периметру близка к нулю.На чертеже показана конструкция предла гаемого устройства.Устройство содержит кварцедержатель -тепловой экран 1 с отверстиями для термокомпенсации 2 над эталонным резонатором и отверстием 3 над центром измерительного ре зонатора, кварцевые резонаторы 4, планку 5для крепления резонаторов, привинченную к тепловому экрану винтами б.В процессе напыления...
Способ контроля толщины тонких пленок по
Номер патента: 322608
Опубликовано: 01.01.1971
Автор: Андрющенко
МПК: G01B 11/06
Метки: пленок, толщины, тонких
...момент прекращения напыления даже при напылении первого слоя. Точность последующих слоев прогрессивно ухудшается.Цель изобретения - повысить точность контроля.Это достигается тем, что для контроля толщины напыляемой пленки фиксируют изменение интенсивности прошедшего через напыляемую пленку или отраженного от нее света длиной волны точек пересечения спектральных характеристик отражения или пропускания системы слоев с напыляемой пленкой и той же системы без нее. Например, для контроля толщины второго напыляемого слоя используют свет длиной волны точек пересечения спектральных характеристик пропускания или отражения одного и двух слоев, для контроля толщины третьего слоя - свет длиной волны точек пересечения спектральных...
Устройство для измерения толщины тонких пленок
Номер патента: 657241
Опубликовано: 15.04.1979
Авторы: Александров, Дорджин, Куваев
МПК: G01B 11/06
Метки: пленок, толщины, тонких
...лазер, коллиматор 2,полевую диафрагму 3, диффузно рассеивающую пластинку 4, микроинтерферометр 5, исследуемую пленку б наподложке 7.Предлагаемое устройство работаетследующим образом.Подложку 7 с пленкой 6 кладут напредметный столик (на чертеже ие показан) микроинтерферометра 5, Лучиот источника 1 монохроматическогоб 5724 Формула изобретения Составитель Л, ЛобзоваРедактор И. Харитонова Техред И,Бабурка Корректор М. Демчик 777/38ЦНИИПИ Гпо дел113035,8 бгомитета СССРоткрытий ушская наб Тиражсударственногом изобретений иосква, Ж, Ра Подписное аказ Филиал ППП Патент, г. Ужгород, Ул, Проектная,света, пройдя коллиматар 2 и полевую диафрагму 3, попадают на диффузнорассеивающую (вибрирующую) пластинку 4, которая осуществляет эффект размазывания...
Предыдущий патент: Устройство для линейных измерений изделия
Следующий патент: Устройство для контроля среднего диаметра внутренней резьбы калибров резьбовых колец
Случайный патент: Асинхронный двухроторный электродвигатель