Способ регулирования емкости тонкопленочного конденсатора

Номер патента: 357607

Авторы: Бузницкий, Львовский, Попов, Радиотехнических

ZIP архив

Текст

ОП И САНИ Е ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Сова Советских Социалистических Респтблик.комитет оо делает ктзсбретеиий и открытий лри Совете Мииистров СССРАвторыизобретения В. П, Попов и Е, А, Бузницкий Заявитель Львовский отдел Всесоюзного научно-исследовательского института физико-технических и радиотехнических измеренийСПОСОБ РЕГУЛИРОВАНИЯ ЕМКОСТИ ТОНКОПЛЕНОЧНОГО КОНДЕНСАТОРА Изобретение относится к области электронной техники и может быть использовано приизготовлении тонкопленочных конденсатороввысокой точности,Известные способы регулировки емкоститонкопленочного конденсатора, основанные наизменении площади одной из его обкладок,имеют низкую точность подгонки емкости конденсатора под номинал и сложную автоматизацию процесса подгонки.По предлагаемому способу повышение точности подгонки емкости конденсатора под номинал и упрощение автоматизации процессаподгонки достигается тем, что на верхнюю обкладку одним из известных методов наносятдиэлектрическую пленку, на которой размещают дополнительный плоский электрод, после чего удаляют часть поверхности верхнейобкладки путем подачи импульсного напряжения на эту обкладку и дополнительный электрод.Предлагаемый способ регулировки емкоститонкопленочных конденсаторов заключается втом, что на верхнюю обкладку изготовленногоконденсатора методом опыления или окисления наносят тонкую диэлектрическую пленку. На эту пленку накладывают внешний плоский электрод, соединенный с одним из выводов-ис- точника импульсного напряжения. Второй вывод упомянутого источника подключают к верхней обкладке регулируемого конденсатора.С помощью импульсного напряжения производят пробой конденсатора, нижней обклад кой которого служит верхняя обкладка регулируемого конденсатора, диэлектриком - напыленная или окисная пленка, нанесенная на эту обкладку, а верхней обкладкой, накладываемой на эту пленку, - дополнительный 10 плоский электрод. При этом происходит уменьшение площади верхней обкладки регулируемого конденсатора за счет кратеров, образовавшихся при пробое.Выбором толщины диэлектрической пленки, 15 нанесенной на верхнюю обкладку регулируемого конденсатора и параметров импульсного напряжения, достигается удаление частей обкладки диаметром 1 - 10 мк, что дает возможность производить подгонку емкости с вы сокой точностью, Изменение величины емкости производится непрерывно в процессе регулировки. При достижении заданной величины емкости процесс регулировки автоматически прекращается.25. П р е д м е т и з.о б р е т е и и яСпособ регулировкиемкости тонкопленочно. го конденсатора, основанный на изменении 30 площади одной из его обкладок, отличающийЗака,з 1 Щ 9 Иад.1686 Тираж 406 Подписное ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5 Типография, пр. Сапунова, 2 3ся тем, что, с целью повышения точности подгонки емкости конденсатора под номинал и упрощения автоматизации процесса подгоики, на верхнюю обкладку одним иэ известных методов наносят диэлектрическую пленку, на ко 4торой размещают дополнительный плоский электрод, после чего удаляют часть поверхиоети верхней обкладки путем подачи импульсного напряжения на эту обкладку и до полнительный электрод.

Смотреть

Заявка

1651267

В. П. Попов, Е. А. Бузницкий, Львовский отдел Всесоюзного научно исследовательского института физико технических, радиотехнических измерений

МПК / Метки

МПК: H01G 4/255, H01G 4/33

Метки: емкости, конденсатора, тонкопленочного

Опубликовано: 01.01.1972

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-357607-sposob-regulirovaniya-emkosti-tonkoplenochnogo-kondensatora.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ регулирования емкости тонкопленочного конденсатора</a>

Похожие патенты