Устройство для измерения параметров вибраций

352149 ОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических Республик: Ж Зависимое от авт. свидетельстваМ. Кл, б 011 т 1100 Заявлено 25.Х 11.1970 ( 1606610/18-10) с присоединением заявки МПриоритет Номитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРАвторыизобретения Д. А. Гречинский и В. Г, Рыгалин Заявитель УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ ВИБРАЦИЙ Изобретение относится к области измерительной техники и может быть применено в виброметрии,Известны устройства для измерения параметров вибраций, содержащие источники когерентного излучения оптического диапазона, отражающие пластины, закрепленные на испытуемом изделии, оптические системы и фотоприемники.К недостаткам известных устройств относится сложность систем обработки выходного сигнала и недостаточная точность измерений в наклонных плоскостях вибраций.Предложенное устроцство отличается от известных тем, что в нем фотоприемник выполнен в виде позиционно-чувствительного элемента с центральным, коллекторцыми и кольцевым электродами, коллекторные электроды которого через усилители подключены к детекторныы м каскада м.Это повышает точность измерения и упрощает конструкцию приемной части устройства.На фиг. 1 схематически изображено предлагаемое устройство; на фиг. 2 - схема подключения позиционно-чувствительного элемента к блоку питания и измерительным каналам.Устройство содержит источник 1 когерентного излучения оптического диапазона, отражающую пластину 2, закрепленную на испытуемом изделии, оптическую систему 3 для формирования узкого пучка света, позиционно-чувствцтельный элемент 4, усилители 5, детекторные каскады б и генератор синусоидального напряжения 7.Позиционно-чувствительный элемент 4 представляет собой полупроводниковую пластину, на нижней стороне которой закреплен один 10 центральный электрод 8, а на верхней -четыре расположенных во взаимно перпендикулярных направлениях коллекторных электрода 9 - 12 и один кольцевой электрод 13 по периферии.15 Устройство работает следующим образом.Под действием сфокусированного оптического излучения от источника 1 когерецтцого излучения, попадающего ца верхнюю поверхность полупроводниковой пластины элемента 20 4, в пластине образуются носители зарядов,концентрация которых модулируется в соответствии с переменным электрическим напряжением, приложенным к электродам 8 и 13 от генератора 7.25 При этом, если оптическое излучение попадает в центр пластины, концентрации носителей зарядов у электродов 9 - 12 равны, и сигнал, снимаемый с электродов, равен нулю.При смещении пучка света от центра пла стины равенство концсцтраций зарядов у кол352149 Предмет изобретения 10 ставитслв В. ЖилеикннТехред 3. Тараненко орректоры: В, Петроваи М. Коробова хин аказ 3042/9 Изд.1304 Тираж 406 Подписно НИИПИ Комитета по делам изооретсний и открытий при Совете Министров СССР Москва, )К, Раушская паб., д. 4/5ппография, пр. Сапунова, 2 лекторных электродов нарушается, и с них снимается сигнал переменного тока, частота которого определяется генератором 7, а амплитуда пропорциональна величине смещения.При вибрации отражающей пластины 2, закрепленной на испытуемом изделии, сигнал, снимаемый с электродов 9 - 12, оказывается промодулированным по амплитуде с частотой вибрации испытуемого изделия, а глубина модуляции определяется амплитудой вибрации изделия. Сигналы, снимаемые с электродов 9 - 12, усиливаются усилителями 5, затем детектируются каскадами б и могут быть измерены как по частоте, так и по амплитуде обычными методами. При необходимости сигнал, несущий информацию о параметрах вибрации, может быть записан на светолучевом осциллографе,Частота озицги переменного напряжения, приженного к электродам 8 и И, должна выбираться из условия иицт 0)вибрации Это обусловлено требованиями обеспечения фильтрации выходных сигналов в детекторных каскадах.Устройство позволяет измерять вибрацию 5 изделия в двух взаимно перпендикулярныхнаправлениях. Устройство для измерения параметров вибраций, содержащее источник когерентного излучения оптического диапазона, отражающую пластину, закрепленную на испытуемом 15 изделии, оптическую систему и фотоприемник,отличающееся тем, что, с целью повышения точности измерения и упрощения, фотоприемник выполнен в виде позиционно-чувствительного элемента с центральным, коллекторными 20 и кольцевым электродами, коллекторные электроды которого через усилитель подключены к детекторным каскадам.