ZIP архив

Текст

О П И С А Н И Е 342101ИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических РеспубликКомитет ло деламбретений и открытии Совете МинистровСССР УДК 621,923,02(088,8 972. Бюллетень1описания 4 Х 11,1972 та опубликован Авторыизобретени Н. Беспутииа и Г. Я. Шевчеи аявите ТАНОВКА ДЛЯ ПОЛУЧЕ Л Устройство для крепления обпластины выполнено плаваюьвшает точность получаемого водителвнострабатываемощиы, что,пщли,фа.На зображенаоекциях. редлагаемая уст чертеж в двух но,в Изобретение относится к методам контроля толпвины миссрослоев и может быть иопользовано в различных областях, в частности, для контроля подупрсводников.Известна установка, состоящая из инстру,мента в,виде шара, пневмопривода для разгона шара и устройства для крепления оорабатываемой пластины. Известная установка позволяет полутчать,шлиф толико шаровой форумы вращения. Кроме того полученный шлиф нв обеспечивает контроль повергоностных слоев глубиной менелае 1 мкм.Целью настоящего изобретения являегся получен 1 ие шлифов, обеспечивающих большую точнокть замера, обеспечение контроля толщины микрослоев разликвных материалов и толщины нарушенных слоев, а также упрощение койструкции установки и повышение ее производительности.В предлагаемой установке инструмент для получения шлеифа 1 выполнен в виде диска с торцовой поверхкостью формы тела вращения (шаровой, цилиндрической и т. п.). Диск укреплен на оси вращения, которая приводится в движение от электуодвигателя, Возможно осущктвить вривод нескольких диоков от одного электродвигателя, что значительно повыдает производительность установки. Это обес. печивает бодьшую точность замера, упрощает конструкцию установки и повышает ее произУстановка для получения шлифа формы гела вращения включает шпиндель 1, состоящий10 из трех инструментов в виде дисков со сферической поверхностью, закрепленных на одной оси, устройство для крепления обрабатываемой пластины 2, приводиыое во вращениеот электродвигателя постоянного тока 3 и15 трансформатора 4.Установка работает следующим образом,Столики с пдастинаюи опускаются на диски шпинделя 1. Пластина крепится свободно,поэтому она может касаться диска. На сфе 20 рическую поверхность предварителвно нано ятслой абразивной пасты или шаржируют ееалмазным порошком. При включении устзновки в сеть дискам сообщается необходимаяскорость вращения (до 850 об/чин). Матери 25 ал дисконов - инстру 1 ментальная сталь, медьм а р ки М 1 иди дорево.Предлагаемая установка служит для измерения микрословв глубиной 0,6 лткм и менее(диффузионные слои, нартшенные),30 Для возможности замера слоев 0,5 лтклт иЗ 421 а 1 П р е д м ет изобретения Составитель В, Хацернова едактор С. Титова Техред 3. Тараненко Корректор Т. ВабакиЗаказ 2018/15 Изд,856 Тираж 406ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при СМосква, Ж, Раушская наб., д. 4(5 Подписноее Министров СССР ипография, пр. Сапунова, 2 менее диаметр инструмента по поверхностыформы вращения принят более 452,4 мм. Установка рдля получения шлифа формы теда вращения, содержащая инструмент для получения шлифапривод:инструмента и держатель с обрабатываемой пластичной, отлияаюиаяся тем, что, с целью полученни шлифо 1 в, обеопечивающих большую точечность замера, упрощения,конструкциями устаноаки и повьвшения ее дрюизыдительностиь инструмент для 5 получения шлифа выполнен в виде диска сторцозой поверхностью форумы тела вращения, укрепленного на оси привода, и держатель с обрабатываемой пласпиной укреплен свободно по отношению к диску.

Смотреть

Заявка

1414874

МПК / Метки

МПК: G01B 13/02, G01N 1/28

Метки: 342101

Опубликовано: 01.01.1972

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-342101-342101.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">342101</a>

Похожие патенты