Способ определения состава остаточных газов в электроннолучевых приборах

331808 Ссаэ Советекиэ Социалистические РеепуОлииЗависимое от авт, свидетельства-Заявлено 13 Л 7,1970 ( 1425689/26-25)с присоединением заявки-ПриоритетОпубликовано 14.111,1972, Бюллетень10Дата опубликования описания 25.11/.1972 М, Кл, В 014 59,/44 Комитет по делаю наобретеннЯ и открытий при Совете Министров СССРЗаявитель СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ СОСТАВА ОСТАТОЧНЫХ ГАЗОВ В ЭЛЕКТРОННОЛУЧЕВЫХ ПРИБОРАХИзобретение относится к электровакуумной промышленности.Известен способ определения состава остаточных газов в электроннолучевых приборах, основанный на импульсной ионизации газа электронным пучком и разделении его по массам по времени пролета ионов в пространстве дрейфа, при котором к электровакуумному прибору подсоединяют масс-спектрометрический датчик статического или динамического типа. Для анализа остаточного газа в цветном кинескопе используют статический магнитный масс-спектрометр. При этом прожектор кинескопа модифицируют введением источника ионов, а камеру масс-анализатора приваривают к горловине трубки.Цель, изобретения - разработка такого способа определения состава остаточных газов в электроннолучевых приборах, который позволил бы выполнять анализ в готовых приборах, например кинескопах, без их разрушения.Согласно изобретению, поставленная цель достигается следующим образом: остаточный газ ионизируют и разделяют по массам в самом приборе подачей на ускоряющий электрод положительного по отношению к катоду напряжения 100 - 200 в, а последующий электрод используют в качестве вытягивающего подачей на него отрицательного по отношению к ускоряющему электроду напряжения,по абсолютной величине в два или более раз превышающего напряжение на ускоряющем электроде. Пространством дрейфа служит пространство между электронно-оптической системой и экраном, который используют в качестве коллектора ионов. Если анал/изируемым прибором является цветной кинескоп, чувствительность предлагаемого способа повышается благодаря использованию особен ностей его конструкции: сетку или маскуснабжают отдельным выводом и используют в качестве коллектора, причем на этот вывод подают дополнительно отрицательный по отношению к аноду потенциал 20 - 100 в.15 Способ поясняется на примере черно-белогокинескопа с помощью прилагаемой схемы.Электроны, эмиттируемые катодом 1, в пространстве между модулятором 2 и ускоряющим электродом 3 ионизируют молекулы ос таточного газа, Напряжение ионизации находится в пределах 100 в 2 в, и постоянное напряжение на модуляторе составляет 0 - 100 в по отношению к катоду. Образовавшиеся ионы вытягиваются с помощью отри цательного потенциала 200 в и более по отношению к катоду, приложенного к последующему электроду 4, Пакет попов, проходя пространство дрейфа, за счет разного времени пролета разделяется по массам и достигает 30 коллектора Ькрапа) в разное время, Про331808 Предмет изобретения 2 РО -1 ЙЮ Составитель И. ПрокофьеваРедактор Б. Федотов Текред Е. Борисова Корректор Т. Китаева Заказ 1164/9 Изд. М 499 Тирак 448 ПодписноеЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРМосква, М(.85, Раушская наб., д, 4/5 пография, пр. Сапунова, 2 странством дрейфа служит расстояние между электродом 3 и экраном б, С вывода б коллектора разделенные по времени импульсы снимаются на измерительную схему. 1. Способ определения состава остаточных газов в электроннолучевых приборах путем импульсной ионизации газа, разделения его по массам по времени пролета в пространстве дрейфа и определения спектра масс, отличиющийся тем, что, с целью выполнения анализа в готовых приборах без их разрушения, ионизацию и разделение остаточного газа по массам осуществляют в приборе посредством подачи на ускоряющий электрод положительного по отношению к катоду потенциала, а на последующий вытягивающий электрод подают отрицательный по отношению к ускоряющему электроду потенциал, при этом состав остаточного газа определяют по импульсным сигналам, снимаемым с коллектора.5 2. Способ по п. 1, отличающийся тем, чтов черно-белых кинескопах на вытягивающий электрод подают потенциал, при котором разность потенциалов между ускоряющим и вытягивающим электродами по абсолютной ве личине по крайней мере в два раза превышаетразность потенциалов между ускоряющим электродом и катодом, а сигнал снимают с экрана, находящегося под потенциалом вытягивающего электрода,15 3. Способ по п. 1, отличающийся тем, чтов цветных кинескопах сигнал снимают с сетки или маски кинескопа, на которую подают дополнительный отрицательный по отношению к аноду потенциал 20 - 100 в.