Устройство для юстировки пленочных резисторов

О П И С А Н И Е 326645ИЗОБРЕТЕН ИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических Республикависимое от авт. свидетельствааявлено 03.1.1969 ( 1294767/26присоединением заявкириоритет и, Н 01 с 17/О Комитет по делам зобретеиий и открытий при Совете Министров СССР)72 ата опуолцковацця оццсацц Авторы зоб ретения. Максидонов,Стародумов и В, И, Тифлов аявитель ПЛЕНОЧНЫХ РЕЗИСТ РОВ ТРОЙСТВО ДЛЯ ЮСТИР осится к радио логии изготовлен технике, в я микро 2 В быт неразистора, миния 14,УстройствПодложкузистором 118, который с работает следующим10 микросхемы с юстирнеподвижно закрепляюпомощью микрометрц разом.емым рена столе ких винца трод Изобретение отнчастности к техносхем.Известна полуавтоматическая установка для подгонки величины сопротивления резисторов. Эта установка имеет большие габариты и отличается сложностью изготовления.Целью изобретения является обеспечение контроля юстировки в рабочем режиме, а также автоматизации процесса изготовления микросхем. Для этого одна из игл-электродов имеет сферическое закрепление ца конце.На чертеже схематически изображено предложенное устройство для юстцровкц пленочных резисторов.Устройство для юстировки пленочных резисторов состоит из электроискрового генератора 1, эталонного магазина сопротивлений 2, блока 3 контроля и управления процессом юстировки, контактирующих элементов 4, иглэлектродов 5 и б, держателей 7 цгл-электродов, координатного стола 8, держателей 9 контактирующих элементов 4, подложки 10 микросхемы с юстируемым пленочным резистором 11, контактных площадок 12 юстируемого рекроскопа 13 и тумблера включетов (це показанных на чертеже) может передвигаться относительно цгл-элекгродов 5 ц б по двум взаимно перпендикулярным направлениям с точностью.+10 дк,. Юстируемый ре зцстор подключают через контактные площадки 12 посредством контактирующих элементов 4 к блоку 3 контроля ц управления.На эталонном магазине сопротивлений 2 устанавливают тр,буемую величину сопротцвле цця юстцруемого резистора. Вк;очаот тумблер 14 и, перемещая резистор 11 относительно игл-электродов 5 и 6 удаляют с резистора часть пленки, тем самым повышая величину его сопротивления. По достцжец:ш равенства 15 сопротивлений юстцруемого резистора 11 иэталонного магазина сопротивлений 2 блок 3 контроля и управления разрывает цепь пит- нця иглы-электрода б, прекращая тем самым процесс удалеия плекп резстора незавс мо от того, прекратилось ли движение пглэлектродов по пленке резистора цлц нет, Такцм образом, обеспечивается высокая точность (десятые доли процента) остцровкц резисторов, це зависящая от оператора. качестве источника напряжения можег использован любой электроцскровой геор, в частности простейший КС-гецерасостоящцй цз балластного сопротивления оптелыого конденсатора. 1:1 глы-элек-5, 6 изготовлены цз тугоцлавкого ме32 Я 45 Предмет изобретения Составитель А, Артюшин едактор В. Левитов Техред 3, Тараненко Корректор Е. ЗиминаИзд. Ма 107 Тираж 448 Подписноео делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5 ипография, пр, Сапунова, 2 талла, например, вольфрама. Одна из игл выполнена со сферическим полированным закруглением на конце для осуществления перазрушающего контакта с резистивцым слоем. Другая игла имеет заостренный конец и выполняет функции режущего электрода. Амплитуду импульса источника напряжения и расстояние между электродами устанавливают в завишгмости от материала и удельного поверхностного сопротивления пленки юстпруемого резистора. Блок 3 контроля и управления (схема которого пе 11 оказапа иа 1 ертеже представляет собой автоматический мост перемеого тока с пуль-органом, на выходе которого включено исполнительное реле, разрывающее цепь питания электродов по достижешш равенства эталонного и юстируемого резисторов. Устройство для юстировки пленочных резисторов, содержащее в качестве рабочего ист румента подключенные к источнику напряжения, например электроискровому генератору, две иглы-электроды, блок контроля величины сопротивления резисторов в процессе юстировки и управления процессом, эталонный мага зип сопротивлепип и контактирующие элементы, отличаощееся тем, что, с целью обеспечения контроля юстировки в рабочем режиме и автоматизации процесса, одна из иглэлектродов выполпена со сферическим закруг лецием на конце и предназначена для неразрушающегося контакта с пленкой юстпруемого резистора, причем зазор между концами ш л регулируется.