Способ определения бора в газах

СЕСЕэрдЙЛТЕ 1,.тфу СПИ 305398 Союз Советских Социалистических РеспубликЗависимое от авт, свидетельстваЗаявлено 08.Х 1.1969 ( 1382747/26-25) МП 1 б 01 п с присоединением заявкириоритет Каиитет па делаю изобретений и аткрыти при Совете Министров СССРтДК 543.271(08 Опубликовано 04.Ч 1.1971. Бюллетень18Дата опубликования описания 8,Ч 11.1971 Авторыизобретени Г. Петрик, В. Е. Беез и В. М. Школьник Заявитель НИЯ БОРА В ГА СПОСОБ ОПР 2 Изобретение относится к способам определения примесей в газах и может найти применение на предприятиях цветной металлургии и полупроводниковой электроники.Известны различные способы определения микропримесей в газах, например с применением ионизационных детекторов.Целью настоящего изобретения является повышение чувствительности и точности измерения. Для этого анализируемый газ смешивают с моносиланом, который затем подвергают термическому разложению и измеряют удельное электрическое сопротивление полученного при разложении моносилана кремния. Методика определения микропримесей бора в газах, не взаимодействующих с кремнием и водородом при температурах до 850, заключается в следующем.Предварительно очищенный моносилан разлагается термически при 800 - 850 С в одностерткевом реакторе на кремний и водород. Образующийся в процессе разложения моносилана кремний осакдается на тонкой ниевой подложке, являющейся одновременно нагревателем. Полученный поликристаллпческий кремний подвергается бестигельной зонной очистке без промежуточной обработки его поверхности. Этот образец является эталоном сравнения,Второй процесс разложения моносиланапроводят с разбавленпем его анализируемым газом. Поликристаллический кремний подвергают металлургической обработке аналогично5 эталонному образцу.Таким образом в результате металлургической обработки оба образца очищены от примесей, имеющих эффективный коэффициент распределения меньше единицы и не очищены 10 от бора, К,ф которого 1.Определив удельное сопротивление в обоихобразцах кремния, можно с большой точностью определить содержание примесей в кремнии, а по разнице меткду содержанием при месей в первом и втором образцах кремнияи содержание примесей бора в анализируемом газе.Предлагаемый способ опробовался для анализа содержания бора в безводном хлористом 20 водороде, Удельное сопротивление эталонного образца дырочного типа проводимости составляло 8100 ол сл, что соответствует концентрации примеси бора в кремнии 1,6 101 з атом сл. Удельное сопротивление об разца, полученного прп разбавлснпп мопосплана хлористым водородом, составляло 620 ол с,ц, что соответствует концентрации бора в кремнии 2,6 10" ато.п,см.Разница в содержании бора в э галонном ЗО образце и образце, полученном с пспользова30 о 398 Предмет изобретения Составители М. Пантелеев Тскрсд Д, В. Куклина Коррск гори: г), ГЕетроваи А. 11 иколаева Рсяакгор Е, Гончар Накаа 1 с 4 14 Иад. ЪЪ 89 ира;к 47 З 11 о,писгос111 ИИ 1 И Коки)стг по дела) иаобрсгспий и огкрыгий при Совес,1 иисгрги) СССР;1 ОСК К Зг Р аО, г Ти;игр;нр а, ир. Сапунова, 2 нием испытываемого газа, составила 2,44 10 а ггто,г/с.)гз. В процессе разложен:Ея моносилана, разбавленОго хлористым водородом, было получено 110 сига кремния. Расход газы НС 1 безводного для разбавления мо. носплана составлял 2100 д,га. Таким образом, пз 2100 д,)г безводного НС 1 в кремний перешло 2,68 10" атомов бора. 1 г,оэффициспт перехода бора из газообразных смесей в кремний прп скорости потока в реакторе пе более 0,03 глгггег слг составляет (0,2. В этом слу 11 е укязяе 1 пые условия скоросп 1 потока Газа соблюдались. Общее содержание бора в безводном хлористом водороде составляло 1,34 16 в атомов, что соответствует 7,2 10 вес, сгго В приведенном примере дл 5 разлоксе 1 Н 51 с разбаьлеппем Оыло взято 210 д.га моносилана и 2100 длга безводного 11 С 1. Увеллчива 5 степень разбавления, можно увел:чпь чувс. - вительпость нр.Ля ГясмОГО с;Осооя. Способ определения бора в газах, отли гггго бийся тем, что, с целью повышения чувств )- тельности и точности измерения, анализируемый газ смешивают с моносиланом, который затем подвергают термическому разложению и измеряют удельное электрическое сопротз ление получее 1 ПОГО 1 ри 1)Язложспии мОносиле 1"на кремния.