Способ компенсации влияния температуры

О П И.-СА Н И Е ИЗОБРЕТЕНИЯ 305347 Со оз Советскик Сопиалистическик РеспубликК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ т. свидетельства Ме ависимо МПК 6 01 Ь 71 аявлено 04.М 11.1969 1 М 135430025-28) комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРпубликовано 04.М,1971, Бюллетень М 1 531.781.2:5 19,3 (088,8) бликования описания 15 Л 11.19 та Авторыизобретен И. Науйокайтис и астила аунасский политехнический ин а;интел ь ИЯНИЯ ТЕМПЕРАТУРЪ ПОЛУПРОВОДНИКОСТОРОВ СПОСОБ КОМПЕНСАЦИИ ВЛ А ТЕНЗОЧУВСТВИТЕЛЬНОСТ ТЕНЗОРЕЗИНа чертеже представлена схема устройства для реализации предлагаемого способа.К детали 1, деформацию которой замеряют, прикрепляют рабочий тензорезистор 2. 1( той же детали посредством винтиков, заклепок, сварки или какого-либо другого устройства 3 прикрепляют упругую микробалочку 4 так, чтобы ее можно было прн помощи винта 5 деформировать. На схеме показана консольная микробалочка, что является одним из возможных вариантов. В данном случае свободный конец микроб алочки перемещают, вращая винт а. На микробалочке закрепляют компенсационный полупроводниковый тензорезистор 6. Перед началом илн во время измерения микробалочку посредством винта 5 деформируют так, что деформация компенсационного тензорезистора во время наиболее ответственных измерений адэкватна деформации активного тензорезистора. В таком случае температура оказывает одинаковое влияние на тензочувствптельность обоих тензорезисторов, т. е. влияние температуры компенсируется. тносится к пз сти к измере влияния темсть полупроключающийся ионный тензосте измерения и измерительОднако в извозможность добсти компенсациитензочувствительтензорезисторов,меняет тензочувспенсационногов зависимости от- повы ем пера оводнп ционный 2 "т микро- деформара была орезистоВ тех случаяци я детали я в.адэкватностьпенсационногокомпенсациякомпенсация в. х, ког яется дефор тензор вляет ияния с присоединением заявки МПриоритет Предлагаемое изобретение о мерительной технике, в частно ию деформаций.Известен способ компенсации ературы на тензочувствительн водниковых тензорезисторов, з в том, что рабочий и компенсац резисторы устанавливают в ме и соединяют их в смежные пле ого моста,вестном способе отсутствует иться более высокой точновлияния температуры на ность полупроводниковыхпоскольку температура изтвительность рабочего и комтензорезисторов по-разному приложенной деформации,Цель предлагаемого изобретения сить точность компенсации влияния туры на тензочувствительность полуп ковых тензорезисто ров.Это достигается тем, что компенса тензорезистор закрепляют на упруго балочке и деформируют так, чтобы ция компенсационного тензорезисто адэкватна деформации рабочего тенз ра. а замеряемая деформа- переменной величиной, ации активного и комзисторов нарушается, и я частичной. Полная температуры имеет ме305347 Предмет изобретения Составп 1 елн А. Босой Редактор О. Юркова Корректоры: М. Коробова и А. АбрамоваТехред Л. В. Куклина 3 каз 1917,17 Изд,807 Тираж 473 ПодписноеЦ 11 ИИПИ Комитета по делам изобретений н открытий при Совете Министров СССРМосква, Ж, Раушская наб., д, 4/5 Типография, пр. Сапунова, 2 сто в случае полной адэкватности деформаций активного и компенсационного тензорезисторов, поэтому полная адэкватность деформаций имеет место при деформациях детали, замер которых проводят с максимальной точностью.В целях расширения интервала компенсации целесообразна в качестве компенсационных применять тецзорезисторы с низким значением коэффициента тензочувствительности и с высоким значением коэффициента влияния температуры на тензочувствитсльцость. При помощи потенциомстра Ш, выравниваит тсрмочувствительцость рабочего и компенсационного тецзорсзисторов. Способ компецсации влияния температурыца тсцзочувствительность полупроводниковых тснзорсзисторов, заключающийся в том, что рабочий и компенсационный тецзорезисторы устанавливают в месте измерения и соединяют их в смежные плечи измерительцого моста, отличающийся тем, что, с цельо повышения 10 точности компенсации влияния температурыца тензочувствительцость полупроводниковых тсцзорезисторов, компенсациоццый тензорезпстор закрепляют ца упругой микробалочкс и деформируют так, чтобы деформация комцсц сациоццого тсцзорсзистора была адэкватцадеформации рабочего тснзорсзистора.