ZIP архив

Текст

29937 Союз Советских Социалистических РеспубликЗависимое от авт. свидетельств Мо 133743629-33) ПК В 284 7/О явлено 02 Л 1.196 рисоединеписм заявки Ь Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР,111.1971. Бюллетень Ъо 12 Дата опубликованит исаппя 27.11.1971 вторызобретени Понарин, В. К. Кучеров и А Т. Комиссаров, Н пыти аявител АЯ ГОЛО Предлагаемое изобретение относится к области производства полупроводниковых приборов. В частности предлагаемая режущая головка предназначена для резки слитков полупроводниковых материалов на пластины диском с внешней режущей кромкой, армированной алмазным порошком.В полупроводниковом производстве широко известны станки, в которых в качестве инструмента используются диски с режущей кромкой, армированной алмазом, и включающие устройство для подачи жидкости. Однако тонкие диски порядка 0,1 лл дают низкое качество реза за счет вибрации и деформации при резании, диски ке порядка 0,3 - 0,5 м,и дают лучшее качество реза, но увеличивают количество материала, идущего в отходы за счет увеличения ширины реза.Цель изобретения - повысить эффективностьсть резания, уменьшить вибрацию и механическую деформацию диска, обеспечить возможность регулирования зазора между ди- скам тавливается в мя неподвижи с возможмежду ними ментами, полости, выполх и соединенрегул ными ность облицкрыв неннь и.я этого режущий диск уста ируемый зазор между двдисками, смонтированны ю регулирования зазора ованнтями пористыми эл ающими сообщающиеся по 1 е в дополнительных лиска ные с устройством для подачи жидкости.А дополнительные диски соединены между собой с помощью подпружиненной колонки, упирающейся в винт с гайкой, и другого вин та, упирающегося в один из дисков. На этидиски подается специальная эмульсия или вода, которая, проникая через поры пористых элементов, создает по обеим сторонам режущего диска гидравлические подушки. Эти по душки выравнивают диск в плоскости реза,уменьшая его вибрацию и деформацию.На фпг. 1 схематически изобракена предлагаемая головка; на фиг. 2 - продольный разрез головки по оси шпинделя; на фиг.15 3 - вид А.Головка состоит из двух неподвижных дисков 1, 2, на которых установлены пористые металлические элементы 3, 4. Между этими элементами (дисками) установлен режущий 20 алмазный диск 5, закрепленный на валу бшпинделя, на корпус 7 которого насажена втулка 8, скрепленная с диском 1. Диск 2 в свою очередь посажен на колонки 9, которые запрессованы в диск 1. Требуемый зазор меж ду дисками 1 н 2 и режущим диском 5 устанавливается при помощи пружин 10, 11 винтом 12 и гайками 1. В дисках 1, 2 имеются сообщающиеся полости 14, 15, в которые подается вода. Вода, проникая через пористые 30 элементы, образует между боковыми поверх299371 3ностями режущего диска Б и обращенными к ним плоскостями дисков 1, 2 водяные подушки, которые гасят вибрацию и уменьшают деформацию режущего алмазного диска в процессе резания слитка. 1. Режущая головка, содержащая диск с режущей кромкой, армированной алмазом, и устройство для подачи жидкости, отличааи 1 аяся тем, что, с целью уменьшения вибрации и динамической деформации диска, поД О ВидФ Составитель Г. Студенецкая дактср С, Ежкова Техред Е, Борисова Корректор А. П, ВасильеТипография, пр. Сапунова, 2 Предмет изобретения следний установлен между двумя дополнительными дисками, смонтированными с возможностью регулирования зазора между ними и облицованными пористыми элементами, 5 покрывающими сообщающиеся полости, выполненные в дополнительных дисках и соединенные с устройством для подачи жидкости,2. Головка по п. 1, отличающаяся тем, что,с целью регулирования зазора между диска ми, дополнительные диски соединены междусобой с помощью подпружиненной колонки, упирающейся в винт с гайкой, и другого винта, упирающегося в один из дисков,Изд,414 Тираж 473Комитета по делам изобретений при Совете министров СССРосква, Ж, Раушская наб., д.

Смотреть

Заявка

1337436

В. Т. Комиссаров, Н. С. Понарин, В. К. Кучеров, А. М. Копытин

МПК / Метки

МПК: B28D 7/02

Метки: головка, режущая

Опубликовано: 01.01.1971

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-299371-rezhushhaya-golovka.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Режущая головка</a>

Похожие патенты