Способ обработки электровакуумных и газоразрядных приборов

Сома СсеетспикСациалистическилРеспублик Зависимое от авт. свидетельства М - Заявлено 12.Х.1968 ( 1282376/26-25) ЛПК Н 011 938 инением заявки Ъе п риоритетпубликовано 22.Х 11.1970. 15 ю ата опубликования описания Комитет по делам изобретений и открыт при Совете Министро СССРДК 61.385(088 эстен ь,1 -"за 1971 ;),11.197Авторыизобретения П, Гель и 1 О. С. Спиридо аявите ПОСОБ ОБРАБОТКИ ЭЛЕКТРОВАКУУМНЫХ И ГАЗОРАЗРЯДНЫХ ПРИБОРОВОднако недост ключается в том, внутренней повер как в связи с тур газового потока грязнения могут прибора, Это осо способа зазагрязненпе прибора, так качиваемого рматуры заа оболочку ьно для приатак известногочто происходит хности оболочки булентностью о увлекаемые с апереноситься бенно нежелател Данное изобретение относится к области технологии электровакуумных и газоразрядных приборов и, в частности, к способам откачки электровакуумных, газоразрядных и других приборов.Известен способ обработки (очистки) арматуры электровакуумных и газоразрядных приборов путем ноиной бомбардировки в газовом разряде, состоящий в том, что смонтированные приборы подсоединяют к вакуумной системе и начинают эвакуацию из них воздуха или другого газа со скоростью 0,001 - 500 лсек, зависящей от типа и конструкции приборов. Затем в интервале давлений 100 в ,1 торр, определяемым типом обрабатываемых приборов, возбуждают разряд, подавая на электроды электрическое напряжение, Далее этот разряд поддерживают напряжением 100 - 3000 в и непрерывно продолжают эвакуацию газа из прибора, Под действием ионной бомбардировки жировые и солевые загрязнения удаляются с поверхности арматуры. боров, оболочки которых не обезгажпва:отся путем прогрева прибора под чечыо.Предлагаемый способ отличается от известных тем, что одновремешо с возбуждением 5 газового разряда между электродами ооолочку прибора облучают высокочастотной ультразвуковой энергией с плотностью, достдточпой для удаления адсорбировднных вещесгв.Это позволяет устранить нежелательные яв ления перец загрязнений внутри прибор,благодаря чему общсе количество загрязнений уменьшается, что приводит к улучшению параметров и повышеншо долгоьсчностп приборов.15 Предлагаемый способ состоит в том, чтосмонтированные приборы прпсоедпняюг к вакуумной системе и начинают эвакуацию пз ппх воздуха или другого газа со скоростью 0,001 - 10 л(сей, зависящей от типа и конструкции 20 прибора. Затем в интервале давлений 100 -00,01 торр, также определяемом типом обрабатываемых приборов, в них возбуждают газовый разряд, Далее этот разряд поддерживают напряжением 100 - 3000 в и непрерывно про.25 должают эвакуацию газа пз прибора. )Кпровые п солсвые загрязнения, находящиеся и поверхности внутрпламповых деталей, под дсй.ствием поннои бомбардировки возгоняются, Для того чтобы не происходило конденсдцш З 0 загрязнений на внутренней поверхности обо11 вд.,а 82 Закво 20 ЬУ 0 Гирвж 480 Подписиое1111 И 11 Гк Комитета по делам изооретеиий и открвегий при Совете Ииииетров СССРМосква, Ж-зо, Раугиекаи иж., д. 4,5 герииографии, пр, Саиуиова, 2 лочки прибора, как это наблюдается при пз. вестных способах обработки в связи с турбулентностью откачиваемого из прибора газового потока, одновременно с возбухкдением газового разряда оболочка прибора облуча ется ультразвуковой энергией с плотностью, достаточной для удаления адсорбированных веществ,Предлагаемый способ позволяет снизить удельную загрязненность внутри прибора до десятых и данке сотых долей лекгесде 2,Способ совмещенной ультразвуковой и ионной обработки особенно успешно мокет бе,ть гримепсн при изготовлении элек 1 рован 11 пых и газоразрядных приборов, в технологии изготовления которых отсутствует операция обезгахкивания стеклянной оболочки путем прогрева прибора под печью. 5 Предмет изобретения Способ обработки электровакуумных и галоразрядных приборов путем конной бомбард 11- ровки внутриламповых деталей в газовым раз 10 ряде, которая происходит при непрерывном изменении давления в приборе, отли еееюеееийсл тем, что, с целью ликвидации переносы загрязнени Иа впутрепн 1 ою поверхность эбл; И(п прибора, последнюю облучают ультразвуком 15 одновременно с возбухкдением газового 1 ызряда.