Способ обработки арматуры электровакуумных и газоразрядных приборов

ОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических Республик(088.8) Г 1 р иор ит Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРпубликовано 10.111 69. Бюллетень М 10 описания 14.Л 1.1969 Дата опубликован Авторыизобретения А, Е. Гродштейн, Н, Г. Кашниксв, Н. Д, Кирсанов и Г. А, Ювенская Заявите ПОСОБ ОБРАБОТКИ АРМАТУРЫ ЭЛЕКТРОВАКУУМН И ГАЗОРАЗРЯДНЫХ ПРИБОРОВИзвестен способ обработки арматуры электрснвакуумных и газоразрядных приборов ионной бомбардировкой,в разрядке инертных,газов. По этому способу в прибор, стключенныц от откачки, предварительно обезгаженный прогревом под печью и токами высокой частоты, вводят инертный газ, а затем подают напряжение на электроды ц зажигают аномальный тлеющий разряд. В результате бсмбардировки ионами разряда поверхностей электродов очищается их поверхность.Предложенный способ отличается от известного тем, что приборы откачивают сс скоростью 0,001 - 500 л/сек в зависимости от типа, разряд возбуждают при непрерывно изменяющемся давлении газа в пределах 100 - 0,1 тор и устанавзвивают на электродах напряжение 100 - 3000 в. Предложенный способ позволяет увеличить стабильность параметрев, долговечность и надежность приборов,Данный способ состоит в том, что смонтированные приборы подсоединяют к вакуумной системе и начинают откачку из них воздуха или газа со скоростью 0,001 - 500 л/сек, зависящей,от типа и конструкции приборов. Затем в интервале давлений 100 - 0,1 тор, также определяемом типом обрабатываемых приборов, в,них возбуждают разряд, подавая на электроды электрическое напряжение. Далее этот разряд поддержоввают напряжением 100 - 3000 в и непрерывно продолжают откачку газа. Под действием ионной бомбардировки жировые и солевые загрязнения, находящиеся на поверхности арматуры приборов, возгоняются.Прц этом загрязнения не успевают осесть на5 внутреннюю оболочку прибора цлц на детали,как это происходит прц известных способах обработки, потому что захватываются потоком газа и удаляются из прибора, При изменении давления разряд перебрасывается с однпх де талей на другие, оч щая их поочередно и арматуру прибора в целом, Величина напряжения должна обеспечивать возгонку жцровых ц солевых загрязнений без окисления ц осмоления электродов прибора. Исходя цз этик усло вий, величина напряженця для различных типов приборов лежит,в пределах 100 в 30 в, После описанной обрабстя приборы откачивают известными способами. Совокупность операций предлагаемого способа прц опреде ленных значениях напряжения горения разряда ц скорости эвакуации газов цз приборов дает возможность удалять загрязнения цз подготовленных и откачке приборов без окисления электродов.25 Прц возбуждении разряда в стабцлитронеС 115 Пво время его откачки напряжением в 300 в жировые и солевые загрязнения прибора не уменьшаются, прц напряжении 500 в удаляются жировые загрязнения, а солевые умень шаются с 3 дс 0,7 .якг/е,ц-, прц 1000 в содержание тех и других загрязнений становится238676 Составитель И. С. РатенбергРедактор Б. Б. федотов Техред А. А, Камышникова Корректор 3. И, Чванкина Заказ 1579/12 Тираж 480 Подписное ЦН 14 ИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР Москва, Центр, пр. Серова, д, 4Типография, пр, Сапунова, 2 ниже чувспвительности метода их опрвделения (0,05 мкг/сме), Таким образом, очиспка,поверхности деталей в приборах во время их обработки в разряде на откачке может быть достигнута только при совокупности оптимальных значений,времени, напряжения и тока горения разряда при непрерывно уменьшаемом давлении воздуха в приборе. Предмет изобретенияСпособ обработки арматуры электровакуумных и газоразрядных приборов путем ионной бомбардировки в газовом разряде, отличаюиийся тем, что, с целью повышения надежности и долговечности приборових откачивают со скоростью 0,001 - 500 л/сек в зависимости 5 от типа прибора, возбуждают,разряд в интервале давлений 100 - 0,1 тор и поддерживают его прои изменяющемся давлении газа за счет непрерывной опкачии подачей на электроды напряжения,от 100 до 3000 в, причем величину 10 напряжения выбирают такой, чтобы обеспечить возгонку жировых и солевых загрязнений в газовую фазу без окисления электродов.