ZIP архив

Текст

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ 289302 Союз Советскиа Социалистичвскик РеспубликЗависимое от авт, свидетельстваЗаявлено 18.17,1969 ( 1324870/18-10)с присоединением заявкиПриоритет МПК б 011 5/06Комитет по деламиаобрвтений и открытийпри Совете МинистровСССР УДК 536.521.2 (088.8) Опубликовано 08.Х 11.1970. Бюллетень1 за 1971 Дата опубликования описания 26.11.1971Авторыизобретения А. А, Басовский, И. К. Бронштейн, В. Ю. Жвирблянский,А. Я. Збарский, Д. Д. Матвеев, Ь, И, Синчук, И. Л, Шендерович,В, С. Шульга, Ю, В, Юшков, И. Н. Воронов, Х, И. Макеев и Ю. И. Ульянов Государственный научно-исследовательский и проектный институт редкометаллической промышленностиЗаявитель УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ТЕМПЕРАТУРЫВЕРТИКАЛЬНОГО ПЬЕДЕСТАЛА В УСТАНОВКАХЭПИТАКСИАЛЪНОГО НАРАЩИВАНИЯ 1Изобретение относится к области металлургии проводников и касается установок эпитаксиального наращивания полупроводниковых пленок, в частности устройства для измерения температуры вертикального пьедестала.Известные аналогичные устройства содержат нагреватель, герметичную камеру с пьедесталом для подложек, установленным на шток, и радиационный пирометр.Недостатком известных устройств является неточность определения температуры боковои рабочей поверхности пьедестала по температуре торца из-за несоответствия этой температуры рабочей температуре и ввиду осаждения на визируемой поверхности паро-газовой смеси.Целью изобретения является повышение точности измерения температуры боковой поверхности пьедестала.,Цля этого в штоке выполнен сквозной канал, продолжением которого служит глухое отверстие в торце пьедестала глубиной более /а размера поперечного сечения пьедестала.Изобретение иллюстрируется чертежом.В герметичной камере 1, снабженной нагревателем 2, расположен пьедестал 3 с подложками 4 на штоке б со сквозным каналом. Под штоком установлен радиационный пирометр о. В торце пьедестала выполнено глухое отверстие глубиной /з размера поперечного сечения пьедестала.Сквозной канал в штоке и глухое отверстие в торце пьедестала представляют собой изолированную от паро-газовой смеси полость, на дно которой визируется пирометр. Таким образом, визируемая поверхность не покрывается налетом. Углубление отверстия в торце более чем на /3 размера поперечного сечения максимально приближает температуру впзируемой поверхности к рабочей температуре боковой поверхности.Благодаря такому выполнению данное устройство обеспечивает более высокую точность измерения рабочей температуры пьедестала. Предмет изобретенияУстройство для измерения температуры2 вертикального пьедестала в установках эпитаксиального наращивания, содержащее нагреватель, герметичную камеру с пьедесталомдля подложек, установленным на шток, ирадиационный ппрометр, отличпютцшсч тем,25 что, с целью повышения точности измерения,в штоке выполнен сквозной канал, продолжением которого служит глухое отверстие вторце пьедестала глубиной более /3 размерапоперечного сечения пьедестала,

Смотреть

Заявка

1324870

А. Басовский, И. К. Бронштейн, В. Ю. Жвирбл нский, А. Я. Збарский, Д. Д. Матвеев, Б. И. Синчук, И. Л. Шендерович, С. Шульга, Ю. В. Юшков, И. Н. Воронов, И. Макеев, Ю. И. Уль нов, Государственный научно исследовательский, проектный институт редкометаллической промышленности

МПК / Метки

МПК: G01J 5/06

Метки: температуры

Опубликовано: 01.01.1971

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-289302-ustrojjstvo-dlya-izmereniya-temperatury.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устройство для измерения температуры</a>

Похожие патенты