272455
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 272455
Текст
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Согса Советских Социалистических РеспубликЗависи аот авт. свидетельс л. 21 д, 37/2 аявлено 05.Ч.1968 ( присоединением заяв1253205/26-25 МПК б 02 Ь ПриоритетОпубликовано ОЗ.Ч.1970. Бюллетень Ъо 19Дата опубликования описания 8,1 Х.1970 Комитет по делам аобретений и открыти при Совете Министров СССРАвторыизобретения ишкова, Е, В, Шпак и С. Я, Явор 11 1. 11 Т 110- ц у,11 ИЧЕСЕАМс 1 ЦОТВ;А Физико-технический институт имени А, Ф. Иофф Заявитель НОЙИЯ ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКИЙ ДУБЛЕТ СО СфКОМПЕНСИРОВ СФЕРИЧЕСКОЙ АБЕРРАЦИЕЙ ШИРИНЫ ИЗОБРАЖЕ ДЛЯ ФОКУСИРОВКИ ЗАРЯЖЕННЬХ ЧАСТИЦ Предмет изобретен Изобретение относится к электронно-оптическим приборам для коррекции сферическойаберрации при фокусировке широких пучковзаряженных частиц.Известные электростатические системы со 5скомпенсировацной сферической аберрацией,состоящие из квадрупольно-октупольных линз,очень сложных, так как каждая линза содержитне менее восьми электродов. Изготовление июстировка таких систем чрезвычайно затрудиены. В случае неточности юстировки возникают дополнительные аберрации, ухудшающиеположительный эффект от коррекции сферической аберрации.Изобретение упрощает конструкцию дублета 15и улучшает качество создаваемого дублетомизображения,Предложенный дублет отличается тем, чтооц составлен из двух пятиэлектродных квадрупольно-октупольных линз, причем каждая 20линза содержит четыре внутренних электродаи пятый наружный, охватывающий внутренние, Такие линзы имеют четыре плоскости геометрической симметрии и две плоскости электр иче ской сим метр ии. 25 На фиг. 1 показана схема дублета; на фиг- поперечное сечение линзы. 2В предложенном дублете а - расстояние от источника О до центра первой линзы, 5 - расстояние между центрами линз дублета, г- г,а - эффективная длина квадрупольного поля (создаваемого напряжением + ), 1, У и Л - напряжения на электродах.Величина напряжения + 1 определяется параксиальными фокусирующими свойствами системы, величина + У - условиями коррекции сферической аберрации, величина Л - требо. ваниями к потенциалу на оси линзы. Форма электродов может быть произвольной, однако должна соблюдаться симметрия,Электростатический дублет со скомпенсированной сферической аберрацией ширины изображения для фокусировки заряженных частиц, от,гичаюигийся тем, что, с целью улучшения качества изображения, упрощения конструкции и юстировки дублета, он составлен из двух пятиэлектродных квадрупольно-октупольных линз, каждая из которых образована четырьмя внутренними электродами и пятым, охватывающим их, и имеет четыре плоскости геометрической симметрии и две плоскости электрической симметрии.272458фиг.1Составитель В. Андрюков Редактор Т. 3. Орловская Техред 3. Н. Тараненко Корректор А. И. ЗиминаЗаказ 2394(10 Тирахс 480 Подписное ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР Москва, Ж, Раушская наб., д, 4/5Типография, пр, Сапунова, 2
СмотретьЗаявка
1253205
МПК / Метки
МПК: H01J 3/18
Метки: 272455
Опубликовано: 01.01.1970
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-272455-272455.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">272455</a>
Предыдущий патент: Устройство для измерения потенциалов
Следующий патент: Сборки и сварки изделий
Случайный патент: Керамический теплообменник для вращающейся