Способ измерения емкости конденсатора

Номер патента: 265199

Автор: Шерпут

ZIP архив

Текст

265199 Саюа Советских Социалистических Респуоликсоединением заявкиПК 6 01 г 27/26 Н 01 д 3/06 К 621.317.335.2 (088.8 оритет Комитет по делам аобретений и открытийОпубликовано 09.111,1970. Бюллетень1 Совете Министров СССР бликования описания 23.И.1970 Дат вторзобретени ф Шерпут аявител НДЕНСАТОР ОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ЕМКОС 10 Изобретение относится к области радисизмерений, а именно к способу измерения емкоститонкопленочного конденсатора в процессе егоизготовления вакуумным напылением.Известны способы измерения емкости конденсатора в процессе его изготорленвя вакуумным способам, основанные нфосвдчномопределении емкости, Подобные с 4 фбы сложны и не обеспечивают достаточно волокой точности измерений,По предлагаемому способу с целью повышения точности измерений и упрощения процесса измерений величину емкости определяют повремени перехсдного процесса накопления наповерхности напыляемого диэлектрика заряда, 1создаваемого эмитируемыми горячим катодомэлектронами при подаче на нижнюю обкладкуизготавливаемого конденсатора фиксированного потенциала.На фиг. 1 для пояснения описываемого способа изображено устройство для напыленияметалла и диэлектрика на подложку; нафиг. 2 - измерительная схема; на фиг. 3 - эквивалентная схема заряда конденсатора.На изоляционную подложку 1 (см, фиг, 1) 2осаждается пленка 2 металла, служащая нижней обкладкой конденсатора, Обкладка 2снабжена покрытым слоем диэлектрика 3 отводом 4, подключенным к внешнему источникупитания. На прямонакальный катод 5 (см, 3фиг, 2) подается напряжение питания,Если ключ б установить в положение 7 и таким образом подать на нижнюю обкладку фиксированный положительный потенциал относительно катода 5, а на сетку 8 подать небольшое положительное смещение, то в цепи катода 5 потечет ток. Если на обкладку из испарителя 9 осажден слой диэлектрика, то при включении постоянного напряжения в анодной цепи возникнет ток, который прекратится после достижения полной компенсации положительного потенциала накопленным отрицательным зарядом на поверхности диэлектрика,Эквивалентная схема для цикла заряда конденсатора представляет собой дифференцирующую цепочку (см, фиг, 3), где 10 - идеальный диод, резистор 11 характеризует внутреннее сопротивление дпсда, конденсатор 12 - измеряемую емкость, а резистор 18 - нагрузку, Искомую величину емкости конденсатора 12 определяют по длительности импульса напряжения на резисторе 13 из выражения .= Ь йн С, где тт - оптимальный уровень отсчета, Ь - сопротивление нагрузки, С - измеряемая емкость, а К - коэффициент, зависящий от уровня отсчета. Для того чтобы повторить измерение, разряжают конденсатор, образованный нижней сбкладкой, диэлектриком и зарядом электронов на поверхности диэлектрика. Для этого ключ б устанавливают в положение 14. В этом положении положительный потенциал сетки 8 возрасгает, Элек265199 троны, пролетая сквозь сетку, ионизируют пары поступающего от испарителя диэлектрика и частично остаточный газ. Ионы устремляются к псверхности диэлектрика, где рекомбинируя с электронами, снимают заряд с диэлектрика. Способ измерения емкости конденсатора, изготавливаемого вакуумным напылением, основанный на определении величины емкости косИ 1 г Составитель В. СудариковТехред 3. Н. Тараненко Корректор С. А. Кузовеи В. Фельдм Редакто Подписноепри Совете Министров СССР-35, Раушская наб аказ 16165НИИПИ Комитета по делам иМосква Типография, пр. Сапунова,Предмет изобретения венным путем по величине непосредсгвенно измеряемых параметроз, зависящих от емкости, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерений и упрощения процесса измеречий, величину емкости определяют по времени переходного процесса накопления на поверхности напыляемого диэлектрика заряда, создаваемого эмитируемыми горячим катодом электронами при подаче на нижнюю обкладку 10 изготавливаемого конденсатора фиксированно.го потенциала,

Смотреть

Заявка

1280034

Ю. Шерпут

МПК / Метки

МПК: G01R 27/26, H01G 4/06

Метки: емкости, конденсатора

Опубликовано: 01.01.1970

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-265199-sposob-izmereniya-emkosti-kondensatora.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ измерения емкости конденсатора</a>

Похожие патенты