Зеркальный электронный микроскоп

255430 Союз Советских Социалистических РеспубликЗависимое от авт. свидетельства.Заявлено 09.Х 1.1966 ( 1112105/26-25) 21 о., 37/ присоединением заявки риоритетпубликовано 28.Х.1969. Бюллетень3бликования описания 31.111.1 Авторыизобретения О. М. Артамонов и Г. Н. БродскийНаучно-исследовательский физический инстит явите ОСКОП РКАЛЬНЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ Зеркальные электронные микроскопы,известных конструкций содержат источник электронов, люминесцентный экран, выполненный из электропроводящего материала, и средство для формирования изображения, включающее высококачественную сложную электронную оптику.Зеркальный электронный микроскоп предназначен для получения увеличенных изображений распределения электрических потенциалов на поверхности или электрически и магнитных полей вблизи поверхности образца посредством модуляции отражающегося электронного пучка поверхностными микрополями. Предлагаемый зеркальный электронный микроскоп прост в изготовлении и эксплуатации, имеет небольшие габариты и позволяет отказаться от применения сложной электронной оптики.Предлагаемый зеркальный электронный микроскоп отличается от,известных конструкций тем, что с целью упрощения конструкции средство для формирования, изображения выполнено в виде двух концентрично расположенных сферических электродов, один из которых укреплен на держателе и служит мишенью, а другой электрод частично покрыт люминесцентным экраном, причем экран и мишень соединены с источником постоянного электрического напряжения,На чертеже схематически изображен предлагаемый микроскоп.Он состоит из токопроводящей полусферы 1(непрозрачной или полупрозрачной), люмине сцентного экрана 2, токопроводящей прозрачной полусферы 3, источника электронов 4, мишени 5, держателя б мишени.Предлагаемый зеркальный электронныймикроскоп представляет собой сферический 10 конденсатор, часть внешней полусферы 1 которого покрывается с внуреннней стороны люминесцентным экраном 2; противоположная полусфера 3 делается прозрачной, например из металлической сетки. В середине экрана 2 15 на полусфере 1 имеется отверстие 7 для влетапучка электронов пз источника электронов 4.Внутренней сферой служит поверхность мишени 5, укрепленной на держателе б,Все устройство помещается в вакуум, Воз можен также вариант, когда внешняя сфераизготовляется из стекла и является одновременно вакуумным объемом.Принцип действия предлагаемого устройства состоит в следующем.25 Из источника электронов 4 пучок электронов через отверстие 7 попадает в сферический конденсатор, где электроны движутся по гиперболическим траекториям. Потенциалы на электродах подбираются так, что электроны Зо не попадают на мишень 5, а поворачиваютвблизи нее. Электроны около точки поворотаЗаказ 5110 Тираж 480 Подписное ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР Москва Ж, Раушская наб д. 4,5 Типография, пр. Сапунова, И(вершины траектории) испытывают воздействие поверхностных мик 1 ополей, которые возмущают траектории электронов, вследствие этого происходит перер аспределение плотности отраженного пучка, и на экране 2 формируется увеличенное изображение исследуемых микрополей. Увеличение пропорционально отношению радиусов сфер и может быть достаточно большим. Из-за простоты поля в сферическом электронном зеркале возможно построение математической модели его, с помощью которой по изображению можно количественно восстановить картину распределения потенциалов или полей нз поверхности образца. Изображение наблк 1 ается и фотографируется через прозрачнук полусферу 3 либо с внешней стороны полусферы 1, если она сделана полупрозрачной. Предлагаемый зеркальный электронныймикроскоп позволяет получить разрешениеиоколо 1000 А и значительные увеличения, по 5рядка 1000. Предмет изобретенияЗеркальный электронный микроскоп, содержащий источник электронов, люминесцентный экран, выполненный из электропроводящего 10 материала, средство для формирования изображения, отличающийся тем, что, с целью упрощения конструкции, средство для формирования изображения выполнено в виде двух концентрично расположенных сферических 15 электродов, один из которых укреплен на держателе и служит мишенью, а другой электрод частично покрыт люминесцентным экраном, причем экран и мишень соединены с источником постоянного электрического напряжения.