Кхййческая sifi. 7hoteшг

О Л И С А Н И Е Ъ 528 ОЗИЗОБ РЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических РеспубликКомитет по долее изобретеиий и открытий при Совете Министров СССРС М Ашавскии и ппова 3 аявител СТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛИРУЕМОГО СТРУЙНОГОЭЛЕКТРОЛИТИЧЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯ ТУННЕЛЬНЫХИ ОБРАЩЕННЫХ ДИОДОВ ПО ЭТАЛОНУ Известно устройство для контролируемого струйного электролитическэго травления туннельных диодов, содержащее задающий генератор, генераторы тока травления и тока питания заготовок, коммутирующее и ситнальное устройства. В этом устройстве величина тока питания при работе травящейся заготовки на диффузионной ветви характеристики задается отдельным генератором и практически не меняется по мере уменьшения тока максимума заготовки при травлении.Цредложенное устройство отличается тем, что генератор тока питания заготовки выполнен в виде релаксацианного генератора, активным элементом, которого являегся сама травящаяся заготовка,Это обеспечивает уменьшение тока миниму- ма чертеже приведена блок-схема устрой ва.Оно состоит из задающего генератора 1 сэталонным диодом 2, которым определяется величина тока,максимума заготовки 3 после окончания процесса травления; сигнального устройства 4, сравнивающего ток на выходе задающего генератора 1 с величиной тока максимума заготовки 3,после отмывки последней в течение цикла измерения; источник 5 тока травления; электромагнитных клапанов б и 7, обеспечивающих требуемое чередование подачи электролита и,воды, поступающих соответственно через сопла 8 и 9; коммутатора 10 и генератора 11 тока питания заготовки, выполненного в виде релаксационного генератора, 5 активным элементом, которого является травящаяся заготовка.Устройство работает следующим образом.После запрузки заготовки и пуска устройства начинается цикл измерения. Ток на выходе 10 задающего тенератора 1, проходящий череззатотовку 3, возрастает до величины така ма,ксимума эталонного диода 2, установленного в генераторе. При этом затотовка отмывается водой, так как клапан 7 открыт, и вода посту пает через сопло 9. В конце цикла измеренияпроисходит переключение эталонного диода на диффузионную ветвь характеристики, и если ток максимума заготовки больше тока максимума эталонного диода 2, сигнальное устрой ство не срабатывает, и цикл травления повторяется.В ходе цикла травления включен источниктока травления, обеспечивающий требуемый ток в струе электролита, подаваемого через 25 сопло 8, так как клапан б открыт. При этомтравящаяся заготовка 3, подключенная,к генератору тока питания заготавки, работает при токе на диффузионной ветви, не превышающем ток максимума. Величина тока, проходящего 30 через заготовку, отсределяется величиной на252803 Составитель Ю. Иосилевичедактор Н. Л. Корченко Техред А. А, Камышникова Корректор Л. В. Анисимова акае 212/1 Тираж 480 ПодписноеНИИПИ Комигета по делам изобретений и открыгий при Совете Министров СССР Москва Ж.35, Раушская наб д. 4(5 Типография, пр, Сапунова,пряжения, до,которого зарядится накопительная емкость 12 генератора. Процесс заряда этой емкости, прекращается, после переключения заготовки на диффузионную ветвь, Это может быть осуществлено до начала подачи электролита через свило 8.По Окончании цикла травления ток на выходе генератора 1 падает до величины тока миминума эталонного диода, и рабочая точка эталонного диода смещается на туннельную ветвь характеристики, что приводит к отклюению источника 5 тока травления и генератора 11, првкращению подачи электролита при помощи электромагнитного клапана б и подключению сигнального устройсгва 4, Затем цикл измерения повторяется. Если ток максимума заготовки, сравниваемый с током максимума эталонного диода 2 в конце цикла измеренин, больше тоив максимума диода, то цикл травления, повторяется, а если равен или меньше, то травление прекращаегся, и при помощи коммутатора 10 включается сигнал об 5 окончаниии,процесса. Предмет изобретенияУстройство для контролируемого струйногоэлектролигического травления туннельных и 10 обращенных диодов по эталону, содержащеезадающий генератор, генераторы тока травления и тока питания заготовок, коммутирующее и сигнальное устройства, от,гичаюиееся тем, что, с целью уменьшения тока минимума, ге нератор тока питания заготовки выполненв вкде релаксационного генератора, активным элементом которого являегся сама травящаяся заготовка.