Способ определения статистических характеристик прозрачных диэлектрических пленок
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 252625
Авторы: Богословский, Усин
Текст
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ 252625 Союз Советских Социзлистических РеспубликК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Зависимое от авт. свидетельстваКл. 42 Ь, 12 Заявлено 16.Ч 11.1968 ( 1263748/25-28) рисоединением заявкиПК Сг 01 Ь ПриоритетОпубликовано 22.1 Х.1969, Бюллетень2Дата опубликования описания 24.П.1970 Комитет ло делом зобретений и открыти ори Совете Министров СССР, С. Богословский и В, А. Усии Заявител ОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ СТАТИСТИЧЕСКИХ ХАРАКТЕРИСТИ ПРОЗРАЧНЫХ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПЛЕНОКказателем пре(в силу произричин) поверх- плоская волна1 искажается иями толщины азовыми сдвигр(х, у) =К г 1(х, у)(гг2 л- волновое числопространстве;х, у) - отклонение толщсредней;гг - показатель прелства пленки. свободном е ины пленки от омленпя вещедствен ной близообразец прозрачИзвестен спосоо определения статистических характеристик прозрачных диэлектрических пленок, заключающийся в том, что черезисследуемую пленку пропускают луч света.Предлагаемый способ отличается от известного тем, что, с целью упрощения процесса исокращения времени определения, устанавливают на пути луча когерентного света за исследуемой пленкой экран с отверстием, вращают исследуемую пленку в плоскости, перпендикулярной оси луча, получают усредненную дифракционную картину от отверстия изатем из сравнения полученной усредненнойдифракционной картины с расчетной картинойопределяют статистические характеристикипленки,На чертеже изображена схема установкидля реализации предлагаемого способа,Установка содержит оптический квантовыйгенератор 1 видимой части спектра, диафрагму 2, коллиматор 3 с фильтрующим микроотверстием, электрический микродвигатель 4,экран 5 с отверстием (апертурой) определенной геометрической формы, двояковыпуклуюлинзу б и регистрирующее устройство 7(фотоаппарат).Осуществляется предлагаемый способ следующим образом.Устанавливают в непосрести от экрана 5 испытуемый ной пленки 8 с известным по ломления и и с шероховатой водственных технологических п постыл. При этом падающая5 когерентного света генератора по фазе. Связь между изменен пленки и соответствующими ф гами выражается формулой Таким образом, дифракционная картина в 0 фокальной плоскости линзы б искажается. Если исследуемый образец пленки 8 привести во вращение, например, с помощью микродвигателя 4 так, чтобы за время экспонирования регистрирующего фотоаппарата 7 перед от верстием прошло достаточное для усреднениячисло участков пленки 20), то можно зафиксировать усредненную дифр акционную картину. На этом процессе непосредственного измерения заканчивается и начинается про.0 цесс обработки,к аз 209,10 Тираж 480НИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий приМосква 5 К, Раушская наб., д. 4 Подписное свете Министров СССРТипография, нр. Сапунова,йолучеииое изображение усредненной дифракционной картины фотометрируется, например, с помощью микрофотометров МФ, МФ, а графики сравниваются с известными расчетными средними диаграммами направленности для антенн, геометрическая форма которых совпадает с формой отверстия в экране 5.Сравнение экспериментальных и расчетных кривых позволяет с достаточно высокой точностью определить статистические характеристики пленок, а именно:среднеквадратическое отклонение толщины пленки и радиус корреляции этого отклонения где с - относительный радиус корреляциИ (расчетный), Ь - размер использовавшейся апертуры,5 Предмет изобретения Способ определения статистических характеристик прозрачных диэлектрических пленок, заключающийся в том, что через иссле дуемую пленку пропускают луч света; отличаюиийся тем, что, с целью упрощения процесса и сокращения времени определения, устанавливают на пути луча когерентного света за исследуемой пленкой экран с отверсти ем, вращают исследуемую пленку в плоскости, перпендикулярной оси луча, получают усредненную дифракционную картину от отверстия и затем из сравнения полученной усредненной дифракционной картины с расчетной 20 картиной определяют статистические характеристики пленки.
СмотретьЗаявка
1263748
Г. С. богословский, А. Усин
МПК / Метки
МПК: G01B 11/06
Метки: диэлектрических, пленок, прозрачных, статистических, характеристик
Опубликовано: 01.01.1969
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-252625-sposob-opredeleniya-statisticheskikh-kharakteristik-prozrachnykh-diehlektricheskikh-plenok.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ определения статистических характеристик прозрачных диэлектрических пленок</a>
Предыдущий патент: Способ бесконтактного измерения толщиныпластин из
Следующий патент: Пневмоэлектрический датчик для контроля линейных величин
Случайный патент: Диагностируемый регистр