Устройство для подвески икамеры

Номер патента: 242857

Авторы: Государственный, Институт, Проектно

ZIP архив

Текст

.ф ЖО П ИС АЙ И ЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ 242887 Союз Советских социалистических РеспубликЗависимое от авт. свидетельстваЗаявлено 10,11,1968 ( 1221430/22-1)с присоединением заявкиПриоритетОпубликовано 05.Ч.1969. БюллетеньКл 7/18 МПК ВО Комитет по делам изобретений и открытий ,пои Совете Министров СССР, Ю. Жвирблянский, В. А, Андриянов и Ю елов аявитель Государственный научно-исследовательский и проектно-конструкторский институт редкометаллической промышленности УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОДВЕСКИ И УПЛОТНЕКАМЕРЫ ЕРИ 20 Предмет изобретен Устройств ри камеры,из расплав 25 ков, включа корпусе как прикреплен равномерно ри нажимнь 30 с целью обо для подвески и уплотнения двенапример установки выгягивания а монокристаллов полупроводниющее неподвижно укрепленные на 1 еры оси, входящие в отверстия ных к двери петель, и несколько установленных по периметру двех винтов, отличающееся тем, что, еспечения параллельности двери Известные устройства для подвески и уплотнения двери камеры, используемой в установках вытягивания монокристаллов полупроводников, включают неподвижно прикрепленные к камере оси, проходящие в петли двери камеры, и несколько установленных равномерно по периметру двери винтовых зажимов. Однако отсутствие люфта в шарнире петли ведет к непараллельности плоскостей двери и фланца камеры, вследствие чего дверь уплотняется неравномерно по периметру; увеличенный люфт в шарнире петли приводит к провисанию двери и ее перекосу; в обоих случаях увеличивается усилие при уплотнении двери,Предлагаемое устройство отличается от известных тем, что петли выполнены в скобах, охватывающих выступы двери по ее периметру, причем дверь установлена подвижно в направлении, перпендикулярном ее поверхности, при помощи проходящих через выступы пальцев, а нажимные винты установлены в резьбовых отверстиях скоб. Это позволяет обеспечить параллельность двери плоскости фланца камеры при ее уплотнении.На фиг. 1 изображена камера; на фиг. 2 - расположение скоб на двери; на фиг, 3 - несущая скоба, разрез по А - А на фиг. 2.Устройство включает два жестко прикрепленных к корпусу камеры 1 подвеса 2, имеющих оси 3, входящие в петли, выполненные в скобах 4; охватывающих выступы 5 двери б камеры. Скобы установлены на выступах двери подвижно в направлении, перпендикулярном ее плоскости, при помощи пальцев 7, проходящих через дверь. В нарезке скоб установлены нажимные винты 8, вращением рукояток 9 которых уплотняется дверь. Дверь, подвешенная на двух скобах, расположенных с одной стороны фланца, закрывается, вращаясь вокруг осей 3. Встречая сопротивление уплотняющей прокладки при приближении к фланцу корпуса, дверь перемещается вдоль пальцев и занимает положение в плоскости, параллельной плоскости фланца камеры. Другие скобы, расположенные по периметру двери, являются запорными и служат только для уплотнения двери.аказ 2386/3 Тираж 48 Э ПодписноеНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР Москва, Центр, пр. Серова, д. 4 Типография, пр апуиова,плоскости фланца камеры при ее уплотнении, петли выполнены в скобах, охватывавших вы. ступы двери по ее периметру, причем дверь установлена подвижно в направлении, пер 4пендикулярном ее поверхности, при "помощи проходящих через выступы пальцев, а нажимные винты усгановлены в резьбовых отверстиях скоб.

Смотреть

Заявка

1221430

Государственный научно исследовгтельский, проектно конструкторский, институт редкометаллкческой промышленности

МПК / Метки

МПК: C30B 15/00

Метки: икамеры, подвески

Опубликовано: 01.01.1969

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-242857-ustrojjstvo-dlya-podveski-ikamery.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устройство для подвески икамеры</a>

Похожие патенты