Способ обезгаживания электродов и арматуры электронных и ионных приборов

Оп ИСАЙИ Е ИЗОБРЕТЕНИЯ 234527 Йоюа Соеетских Социалистических Республик(088.8) иоритет Комитет обретений ри СосетеСС деламоткрытий Опубликовано 10.1.1969. Бюллетень4 Дата опубликования описания 21 Х.1969 ниотро АвторыизобретенияЗаявитель Г, Денисов, В. И. Перфильев С. Спиридоно СПОСОБ ОБЕЗГАЖИВАНИЯ ЭЛЕКТРОДОВ АРМАТУРЫ ЭЛЕКТРОННЫХ И ИОННЫХ ПРИБОРО2 Известны способы обезгаживания электродов и арматуры электронных и ионных приборов во время откачки с помощью плазмы тлеющего разряда,Однако этими способами можно обезгаживать металлические детали, обезгаживание стеклянных оболочек производится за счет нагрева их под печью до 400 - 550 С.Предложенный способ отличается от известных тем, что после напуска инертного газа до давления несколько тор обработку плазмой тлеющего разряда ведут при непрерывном понижении давления до величины, при которой прекращается горение разряда,Предложенный способ позволяет очищать внутреннюю поверхность стеклянных оболочек приборов быстрее и качественнее, чем известные.Сущность предложенного способа состоит в том, что прибор после напаивания на откачной пост и откачки до вакуума не яже 5 10 с тор наполняют инертным газом, например аргоном, при давлении несколько тор и зажигают в приборе электрический тлеющий разряд, причем во время обезгаживания давление газа снижается до величины, при которой прекращается горение разряда, чем достигается перемещение плазмы по внутренней поверхности оболочки прибора. Сила тока порядка 10 - 30 л 1 а. При этом плазма взаимодействует с поверхностью стекла и вызывает ее обезгаживание. Механизм десорбции, повидимому, связан с образованием отрицательного заряда на поверхности стеклянных сте нок из-за большой подвижности электроновбомбардировки сео положительнымиионами.Десорбированные с поверхности стекла иарматуры активные газы загрязня 1 от няпол- О няющий газ, Поэтому ее оорабатывают принеоднократной смене газа. Продолжительность обезгажпвання 7 - 10 11 ин (по обычной технологии - 1 час). Чтобы внедренные в стекло атомы инертного газа не изменяли значительно рабочее газовое наполнение лампы, целесообразно обработку производить в газе, который является составной частью рабочей газовой смеси, предпочтительнее в самом тяжелом, тяк как в этом случае эффект обезгаживания наибольший.Возможны многочисленные варианты данного способа, например обезгаживание стекла без смены газа с использованием для очистки наполняющего газа сорбционного насоса, вмонтированного в вакуумную систему откачного поста,Предложенный способ позволяет упростить кОнстр 1 кцию Откячного поста, так кяк Отпя234527 Предмет изобретения Составитель И. С, Ратенберг Редактор Б. Б, федотов Техред Л. Я. Левина Корректор А. П. ВасильеваЗаказ 645/3 Тираж 465 ПодписноеЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР Москва, Центр, пр. Серова, д. 4 Типография, пр, Сапунова, 2 дает надобность В пеи для обсзгаживаниястекла,Способ обезгаживания электродов и арматуры электронных и ионных приборов с помощью плазмы тлеющего разряда во время откачки прибора, от,гичагогЧийся тем, что, с целью снижения времени обсзгаживания и повышения качества очистки внутренней поверхности стеклянной оболочки прибора, после на пуска инертного газа до давления несколькотор производят обработку плазмой тлеющего разряда при непрерывном снижении давления до величины, при которой прекращается горение разряда,