Вакуумная установка

ОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Сове Соеетскттх Социалистических РеспубликЗависимо от авт. свцЛетельства Лв Заявлено 31,111,1967 ( 1145001/2с присоединением заявки М. 27 с,1 27 с 1, 3,04 Комитет по дела Приорите МПК Г 04 с Г 041 УД К 621.524.1.621.52изобретений и открыти при Совете Министре СССРОпублцковацо 24.Х 1.1968. Бюллетеньза 1969 г.Дата опубликования описания 8 Л,1969 вторызобрете П, Г. Клюев и В, П. Ступаковосковский завод электровакуумных 3 аявител ов УУМНАЯ УСТАНОВ Известны вакуумные установки, например, лля откачки электровакуумных приборов, содержащие подключенные к откачиваемому прибору с вакуумной головкой натекатель, паромасляный диффузионный и механический насосы, ца линии связи между которыми установлен вентиль, например с тарельчатым клапаном.Преллагаемая конструкция клапана позволяет предотвратить прокачку воздуха через лиффузионный насос при натекании прибора и, слеловательно, исключить окисление масла, Это достигается тем, что в корпусе вентиля со стороны, противоположной седлу кла,пана, размещен сильфон. Внутренняя полость сильфоца сообщена с атмосферой, а наружная - с линией овязи натекателя и головки с тем, чтобы в процессе натекания при выравнивании давления в обеих полостях сильфона клапан отсекал лиффузионный насос от области повышенного лавлеция. Кроме того, вентиль снабжен конечным выключателем, срабатывающим при закрытии клапана на отключение подогревателя диффузионного насоса, а седло клапана выполнено с кольцевой щелью.На чертеже изображена описываемая уста- вовка в разрезе,Установка солержит полключенныс и откачиваемому прибору 1 с вакуумной головкой 2 натекатель 3, паро-масляный диффузионный насос 4 и механический насос 5 с масляным уплотнеццем, На линии связи межлу насосамц установлен вентиль 6 с тарельчатым клапаном 7. В корпусе вентиля со стороны, противоположной селлу 8 клапана, размещен сцльфоц 9, внутренняя полость А которого сообщена с атмосферой, а наружная Б с линией связи натекателя и головки, Селло клапана 10 имеет кольцевую щель 10.Перел началом раооты клапан закрыт, Гаккак лавлснця в полостях А и Б сцльфона рмцы атмосферному, и пол лействцем пружины 11 цилиндр 12 и шток 15 клапана нахолятся 15 в крайнем правом положении. После установки прибора начинает работать механический насос лля откачки возлуха из вакуумной головки, давление в полости Б уменьшается, и сцльфоц, пересиливая пружину, пол лействц ем атмосферного лавления в полости А распрямляется, открывая клапан.Так как прохожление возлуха замслл 51 етс 51кольцевой щелью, что способствует умсньшсншо выплеска масла цз лиффузцонного цасо са, клапан открывается постепенно, При полклапана прибор Откачцвастсячерез лиффузионцый насос, После окончания вакуумированця осуществляют натекацие воздуха в головку и полость Б клапана. ДавлеЗО ние .в полостях Б и А выравнивается, и пру233829 Составитель Т. Рабчук Редактор П. И. Шлайнхред А. А. Камышниковарректор Н. В. Босняцкая 14 ТиражКомитета по й при Совет ва, Центр, п 437 Подписное делам изобретений Министров СССР Серова, д, 4 ипография, пр, Сапунова, 2 кина 11 закрывает клапан, Шток перемещается в крайнее положение и, воздействуя на конечный выключатель 14, отключает подогреватель диффузионного насоса, предотвращая окисление в нем масла, В описанной установке масло не окисляется и при натсканиях, связаиных с негерметичностью системы или взрывом приборов. Предмет изобретения 1, Вакуумная установка, например, для огкачки электровакуумных приборов, содержащая подключенные к откачиваесмому прибору с вакуумной головкой натека тель, паромасляный диффузионный и механический насосы, на линии связи между которыми установлен ,вентиль с тарельчатым клапаном, отличающаяся тем, что, с целью предотвращения окисления масла в диффузионном насосе, в корпусе вентиля со стороны, противоположной седлу клапана, размещен сильфон, внутренняя 5 полость которого сообщена с атмосферой, анаружная - с линией связи натекателя и головки с тем, чтобы в процессе натекания при выравнивании давления в обеих полостях сильфона, клапан отсекал диффузионный на сос от области повышенного давления.2, Установка по п. 1, отлача(ощаяся тем, чтовентиль снабжен копечным выключателем, срабатывающим при закрытии клапана на ог,ключение подогревателя диффузионного на соса.3. Установка по п, 1, отличающаяся тем,что седло клапана выполнено с кольцевой щелью.