Способ измерения толщин тонких пленок в процессе их изготовления
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 205312
Авторы: Кацнельсон, Фурман
Текст
ОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических РеспубликЗависимое от свидетельств Кл. 42 Ь, 12/О явлено 06,7111,1966 ( 1096473/25-28) ем заявкиприсоедин 1 Ь нор итетубликовано 13,Х 1.1967. Бюллетень23 та опубликования описания 12.1.1968 Комитет по делам обретений и открыт ри Совете Ми нистро СССР531.717.1;539.2 (088.81 Авторь зобретения нельсон и Ш. А, Фурм Заявитель Ленинградское оптико-механическое объединение ПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ТОЛЩИН ТОНКИХ ПЛЕНО В ПРОЦЕССЕ ИХ ИЗГОТОВЛЕНИЯтонких ни заетовые ти подизвестцом наливаютбразца,ему муобраз.лщины,контросм ещепленки, 15ния. Известны способы измерения толщинпленок в процессе их изготовления. Оключаются в том, что сравниваются свпотоки, отраженные от непокрытой часложки и от нанесенной пленки.Предлагаемый способ отличается отных тем, что перед эталонным образпути напыляемого вещества устанавдиафрагму, экранирующую часть осоздают в отраженном свете одну систаровых полос от экранированной частица, соответствующей пленке нулевой тои другую систему муаровых полос отлируемой пленки и по относительномунию систем полос судят о толщинеЭтот способ повышает точность измере На чертеже изображена схема устроиства для осуществления описываемого способа.Под вакуумным колпаком 1, где произво дится напыление, наряду с образцами (не показаны), на которые наносят изготовляемые 1 онкие пленки, располагают эталонный образец 2, служащий для контроля толщины пленки. Напыляемое вещество поступает на образ цы с испарителей 3, закрепленных на основании 4. Перед эталонным образцом на пути напыляемого вещества устанавливают диафрагму 5, расположенную таким образом, что она экранирует часть образца, вследствие чего 30 пленка б образует на подложке ступеньку, вЫ- сота которой точно равна толщине пленки.Для измерения высоты ступеньки на эталонный образец проектируют объективом 7 изображение 8 растра 9, подсвечиваемого источником 10 с помощью конденсора 11. Оптическая ось проектирующсй системы расположена под углом 45" и больше к подложке. Поэтому, ч 1 обы изображение имело вид растра с постоянным шагом, необходимо растр устанавливать под углом к оптической оси, при этом шаг его должен меняться.После отражения от образца изображение растра проектируется объективом 12 в плос. кость, где установлен такой же растр 1 т. Растры ориентированы один относительно другого так, что между их штрихами имеется небольшой угол. В результате в плоскости растра 13 образуются муаровые полосы. При этом смещение изображения 8 перпендикулярно штрихам вызывает перемещение муаровых полос намного большую величину.В процессе напыления по мере роста пленки полученное на ней изображение смещается в сторону осветительной системы, в то время как изображение на экранированной части образца остается неподвижным, В плоскости растра И получаются две системы муаровых полос, из которых одна соответствует нулевой толщине пленки (подложка без пленки), а205312 Составитель Г. Корчагйна Жаворонкова Техред Т. П. Курилко Корректоры; Н, И, Ьыстрова и В. В. КрыловаРедакто Подписное Совете Министров СССРз 42 оо 8 Тираж 535ИИПИ Комнте 1 а но делам изобретений и открытий иМосква, Центр, пр. Серова д. Типография, пр. Сапунова, 2 другая - фактической толщине в данный момент напыления,Предмет изобретенияСпособ, измерения толщин тонких пленок в процессе их изготовления, заключающийся в сравнении света, отраженного от эталонного образца и от пленки, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерения, устанавливают перед эталонным образцом на пути напыляемого вещества диафрагму, экранирующую часть образца, создают в отраженном свете одну систему муаровых полос от экранированной части образца, соответствующей плепкс пулевой толщины, и другую систему муаровых полог от контролируемой пленки и по относительному смегцению систем полос судят о толщине пленки.
СмотретьЗаявка
1096473
Л. Б. Кацнельсон, Ш. А. Фурман Ленинградское оптико механическое объединение
МПК / Метки
МПК: G01B 11/06, G02B 27/60
Метки: пленок, процессе, толщин, тонких
Опубликовано: 01.01.1967
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-205312-sposob-izmereniya-tolshhin-tonkikh-plenok-v-processe-ikh-izgotovleniya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ измерения толщин тонких пленок в процессе их изготовления</a>
Устройство для измерения линейных размеров и веса образцов в процессе нагрева
Номер патента: 1408324
Опубликовано: 07.07.1988
Авторы: Меламуд, Соломеина, Чащин
МПК: G01N 25/16, G01N 5/04
Метки: веса, линейных, нагрева, образцов, процессе, размеров
...образец 13 в виде цилиндра высотой 5 мм помещается надно корзины 12 рядом с контрольнымкварцевым образцом 14. Один иэ квар цевых штоков 15 упирается н иссле -дуемый образец, другой - в контрольный. Измерение малых весовых изменений в пределах 0,1-5 мг производитсяс помощью механотрона 5, штырь 6 которого вводится,в соприкосновение споверхностью агатовой вставки 8 иэлектрическим мостом выводится в ну 5 О 5 20 25 30 35 40 45 50 леное положение. Затем устанавливается колпак 1 и надевается кварцеваяячейка 19. При работе в вакууме через газовод 21 производится откачкавоздуха, при работе в определеннойатмосфере после откачки рабочее пространство заполняется газом через газовод 20. Давление контролируется манометром. Включается водоохлаждение...
Устройство для контроля толщины пленок, в процессе напыления осаждением в вакуумной камере многослойного оптического покрытия
Номер патента: 1705700
Опубликовано: 15.01.1992
Авторы: Александров, Кацнельсон
МПК: G01B 11/06
Метки: вакуумной, камере, многослойного, напыления, оптического, осаждением, пленок, покрытия, процессе, толщины
...дорожкой 3 модулятора 2, а излучение, прошедшее оптический канал сравнения - кодирующей дорожкой 4,Выделяемый блоком 32 монохроматизации поток излучения с длиной волны Ао подается в фотоприемную систему 33, которая содержит фотоприемник, например фотоэлектронный умножитель либо фоторезистор, усилитель, АЦП и временной селектор каналов (ВСК), Фотоэлектрический сигнал усиливается и после АЦП в цифровом виде поступает в ВСК, расположенный на выходе фотоприемной системы 33, Кроме того, на два управляющих входа ВСК подаются опорные сигналы с ГОН 5 и 6. Сигналы с ГОН 5 совпадают по фазе с сигналами, снимаемыми с фотоприемника при попадании на него лучистого потока. пропущенного образцом 22 с контролируемой пленкой. Сигналы с ГОН 6 фазированы...
Устройство для контроля толщины пленок многослойных покрытий в процессе напыления
Номер патента: 1735712
Опубликовано: 23.05.1992
Авторы: Путилин, Столов, Эльгарт
МПК: G01B 21/08
Метки: многослойных, напыления, пленок, покрытий, процессе, толщины
...с длинами волн Л 1 и А 2, удовлетворяющими соотношению1 Э + 12 =2 Яз,ГДЕ П 1 б = 4 И,К=1,2,;где й 1 б - заданная оптическая толщина пленки.По ходу лучей между выходной щельа 5 и фотоприемником 12 расположен модулятор 10, приводимый во вращение двигателем 11, Модулятор 10 поочередно закрывает при вращении верхнюю и нижнюю половины щели 5. При этом на выходе фотоприемника 12 возникает сигнал, переменная составляющая которого может быть выражена зависимостьюЛОФ=МфЬ Ы 1 Й - фА 2 ТкЛ,8 ггде ФА 1 и ФЛ 2 - световые потоки, излучаемые источником на длинах волн 4 и А 2;Т,Я и Тк, - коэффициенты пропускания оптических каналов для длин волн Л 1 иА 2;и 3 - чувствительность фотоприемника на длинах волн А 1, л 2;М - коэффициент усиления...
Способ наладки многодисковых ножниц в процессе продольного резания тонких полос
Номер патента: 1720814
Опубликовано: 23.03.1992
Авторы: Бойденко, Дунаевский
МПК: B23D 19/06
Метки: многодисковых, наладки, ножниц, полос, продольного, процессе, резания, тонких
...пружиной 15 и шпонкой 16,Кольцевая пружина 15 благодаря конусной поверхности корпуса 13 служитдля поджатия упругого ножа 5 к стопорной шайбе 14 и обеспечивает возможность перекоса упругого ножа 5 нажимным устройством 8 для выбора зазора в зоне резания и осуществления точечного контакта взаимодействующих режущих кромок, Шпонка 16 фиксирует ножедержатель 4 на валу 2.Устройство работает следующим образом,После настройки ножниц на необходимое количество и ширину разрезаемых полос материала с помощью распорных втулок 7 ножевого вала 3 производят настройку взаимодействующих пар ножей, упругого 5 и сопрягаемого 6, на контакт их режущих кромок одной точкой в зоне резания. Настройку производят с помощью ножедержателя 4 и нажимного...
Устройство для регистрации геометрических размеров образцов в процессе механических испытаний
Номер патента: 146581
Опубликовано: 01.01.1962
Автор: Качайник
Метки: геометрических, испытаний, механических, образцов, процессе, размеров, регистрации
...раме 1 б, по которой перемещается подвижная стойка 17. На шкиве 14 смонтирован коллектор К, который при вращении барабана замыкается и размыкается с йонт.айтом Кь146581Расстояние между контактами коллектора подбирается с таким расчетом, чтобы с одной стороны не перекрывались экспонированные участки фотобумаги на барабане, а с другой стороны было получено максимальное число изображений.На станине разрывной машины крепятся замыкающий контакт К, и размыкающий К 2.При работе прибора кассета 11 заряжается осциллографической бумагой чувствительностью 700 - 850. После нагревания образца до необходимой температуры, снимаются заглушки из щелевых окон б и устанавливается экран 7. Включается электродвигатель кассеты, устанавливается такое число...
Предыдущий патент: Способ контроля покрытия металла гальванически осажденным слоем
Следующий патент: Прибор для измерения угла контакта в радиально-упорных подшипниках
Случайный патент: Рельсовый захват