ZIP архив

Текст

Союа Советских Социалистических Республиктельствависимое от авт, св1104001/26 Заявлено 26 1 Х.1966 с присоединением з вкиоритет Комитетаобретениори Совете МиниСССР по деламй и открытий Опубликова 967. Бюллете 1.793,1 (088,8 сания 6.Х 11.196 ата опубликовани Аворыизобретения Я. М, Бекке рьева, Л. М. Борисенко, И, В. Берг и Ф. Г, Стар Заявител УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПРОВЕДЕНИЯ ГАЗОТРРЕАКЦИЙ РТНЫХ имеет Ъ-образную осредственно над нагреватель позвоый температурный ся изотермичность а следовательно, и равномерным слоо может быть исна подложку слоя Известное устройство для проведения газотранспортных реакций, например, с разложением галлоидных солей металлов, содержащее герметизированную камеру и нагреватели, не позволяет вести процесс разложения свысокой скоростью, так как при увеличениискорости реакции ухудшается качество нано.симого слоя,В описываемом устройстве этот недостатокустранен.Ускорение процесса проведения реакциипри сохранении высокого качества наносимого на подложку в процессе реакции слоя, достигнуто тем, что оно снабжено двумя ленточными нагревателями, один из которых выполнен прямолинейным и служит для размещения на нем исходного вещества, .подвергаемого разложению и переносу, а второй -имеет Ч-образную форму и расположен надподложкой.На чертеже показано предлагаемое устройство,В герметизированной камере 1 на прямолинейном ленточном нагревателе 2 размещеноподвергаемое разложению и переносу вещество 3 и установленная на опорах 4 подложка5, покрываемая слоем вещества 3. Второй ленточныи,нагреватель бформу и расположен непподложкой 5. Ъ-образныйляет получить оптимальнрежим, чем обеспечиваетповерхности подложки 5,покрытие всей подложки 5ем вещества 3. Устройствпользовано для нанесениявещества через маску. Предмет изобретения Устройство для проведения газотранспорт ных реакций, содержащее герметизированнуюкамеру и нагреватели, отличающееся тем, что, с целью ускорения проведения реакции при сохранении высокого качества наносимого на подложку в процессе реакции слоя, оно снаб жено двумя ленточными нагревателями, одчниз которых выполнен прямолинейным и служит для размещения на нем исходного вещества, подвергаемого разложению и переносу, и установленной на опорах подложки, покры ваемой слоем исходного вещества, а второй -имеет Ч-образную форму и расположен надподложкой202685 Редактор А, Шиллер Заказ 3630/7 Тираж 535 ПодписноеЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРМосква, Центр, пр. Серова, д. 4 Типография, пр. Сапунова, 2 Составитель В. СудариковТехред Т. П. Курилко Корректоры: Н. И, Быстрова и А. П. Татаринцевя

Смотреть

Заявка

1104001

Я. М. Беккер, Е. Юрьева, Л. М. Борисенко, И. В. Берг, Ф. Г. Старое

МПК / Метки

МПК: C21D 11/00

Метки: 202685

Опубликовано: 01.01.1967

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-202685-202685.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">202685</a>

Похожие патенты