Устройство для нанесения промежуточного носителя изображения на цилиндрическую подложку

(ГОСПАТЕНТ СССР) ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ ОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВ ВТ ое бюро тов Гроз- единения И,Лупа неиСЕНИ Я ИЗО(71) Специальное конструкторскэлектрофотографических аппараненского производственного обь(56) Авторское свидетельство СССЬЬ 947809, кл, 6 03 6 5/082, 1982.(54) УСТРОИСТ 80 ДЛЯ НАНПРОМЕЖУТОЧНОГО НОСИТЕ Изобретение относится к технологии нанесения покрытий в вакууме, в частности к конструированию оборудования, используемого для нанесения промежуточного носителя изображения на основе селена на цилиндрическую токопроводящую подложкуЦель изобретения - повышение качества промежуточного носителя иэображения за счет стабилизации фотоэлектрических параметров,Сущность изобретения заключается втом, что управляющими факторами при формировании структуры селеновых слоев является температура подложки и удельный тепловой поток, проходящий через напыляемый слой и подложку, создающий в слое определенный градиент температуры. Концентрированный тепловой поток, проходящий через селеновый слой от свободной поверхности к подложке, увеличивает температуру слоя до предельных температур БРАЖЕНИЯ НА ЦИЛИНДРИЧЕСКУЮ ПОДЛОЖКУ(57) Изобретение относится к технологии нанесения покрытий в вакууме, в частности к конструированию оборудования, используемого для нанесения промежуточного носителя изображения на цилиндрическую поверхность. Устройство для нанесения промежуточного носителя изображения на цилиндрическую подложку, содержащее цилиндрическую вакуумную камеру, коаксиально изготовлено так, что соотношение диаметров испарителя и подложки составляет 4-5. фазовых превращений в аморфном селекоторые создают высокочувствительную надмолекулярную структуру. прозрачную для прохождения носителей заряда, вДанная структура имеет наибольаую ОО механическую прочность и наименьшее ко- йв личество микровключений кристаллическо ф го селена в обьеме напыленного слоя и 0)ь наименьший остаточный потенциал.Градиентом температуры в слое можно . р управлять изменением температуры испарителя, Но при напылении промежуточных носителей изображения на основе селеиа методом сублимации верхний предел тем-в пературы селена ограничен, при 2170 С селен плавится. Кроме того, при изменении температуры испарителя, меняется скорость испарения и конденсации полупроводникового вещества, т.е. изменяются условия формирования структуры электрофотографического слоя. Поэтому для создания высокочувствительных промежуточных1818617 В. Котовгентал Редактор С. Кулакова Корректор Т. Вашкович Заказ 1938 Тираж Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж, Раушская наб., 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101 носителей информации следует изменитьрасстояние между подложкой и испарителем, изменяя и их диаметры. Оптимальноесоотношение диметров испарителя и под-,ложки должно соответствовать условию4исп5, При ис4 фоточувстви Оисп ОиспОподлОподлтельность промежуточного носителя изображения уменьшается, т.е, градиенттемпературы в слое низкий и удельный тепловой поток, проходящий через слой не может формировать высокочувствительнуюнадмолекулярную структуру аморфного селена.При соотношении5 градиентОиспОподлтемпературы в слое высокий, на свободнойповерхности промежуточного носителя изображения на основе селена появляютсямикротрещины и он имеет вид типа "шагреневой кожи".Из вышеизложенного следует, что с увеличением расстояния между испарителем иподложкой увеличивается плотность тепловой энергии, приходящаяся на единицу площади цилиндрической подложки,вследствие чего создается более благоприятное условие для формирования высокочувствительной структуры аморфногоселена,П р и м е р. Определены плотность энергии на поверхности цилиндра с диаметром250 мм и 180 мм, напыляемые в одном и томже устройстве для нанесения промежуточного носителя изображения на цилиндрическую поверхность.Оисп = 480 ммЯ Ьсп падОщ Ь(1)р я КПгде р - плотность энергии;ц - удельный тепловой поток;Оподл - диаметр подложки;Оисп - диаметр испэрителя.Формулу (1) можно привести к следующему виду:Ц ОспОподлВеличина удельного теплового потокаявляется постоянной величиной. Пустьр = 1, тогда для цилиндров с диаметром250 ммСоставительТехред М.Мор р =-= 1,92, т.е.4 низкая фо 480 ОиспОподлточувстительность,Для ЦЭК с диаметром 110 ммОисп 480р = . = - = 4,3 фоточувствительОподл 110ность выше, чем у ЦЭК с диаметром 250.Для ЦЭК с диаметром 180 ммисп =2 66 фоточувствительО подл 180ность больше, чем у ЦЭК с диаметром 250мм, но меньше, чем у ЦЭК с диаметром 110мм.15Из приведенных примеров видно, что сизменением расстояния между испарителем и подложкой изменяется величинаудельного теплового потока, что влияет наформирование высокочувствительнойструктуры аморфного селена,Чтобы увеличить фоточувствительностьЦЭ К с диаметром подложки 250 мм согласноформуле (1) было изготовлено устройство сдиаметром испарителя Оисп = 1125 мм, а дляЦЭК с диаметром подложки 180 мм былоизготовлено устройство с диаметром испарителя Оисп = 900 мм.Из изложенного следует, что для увеличения фоточувствительности ЦЭК при оптимальных температурах испарителянеобходимо создать для каждого типа размера ЦЭК свою типовую вакуумную камерус сохранением отношения диаметров испарителя и подложки 4 - 5.Ф ар мула изобретен и яУстройство для нанесения промежуточного носителя изображения на цилиндрическую подложку, содержащеецилиндрическую вакуумную камеру и коаксиально расположенные в ней кольцевойиспаритель и цилиндрическую подложку,отличающееся тем,что,сцелью. повышения качества промежуточного носителя изображения путем стабилизации фотоэлектрических параметров, испаритель иподложка выполнены при следующем соотношении их диаметров:в = 4 0-5,0,ОпОисп - диаметр испарителя;Оп - диаметр подложки,