Способ вывода электропроводников из вакуумной камеры

(51)5 Н 01 В 17/26 О ЕТЕ кии инс .Шишк уумноиВОД ике, а ктро- Сущмент 1 прокаская игла), врованный,оплеткой, тПЭЛШО ГОщенным от иСпособа Изо лот иглой 8 с ка которыи введе например, лак ермопарный СТ 16507-70 с у золяции. существляют слалом (м электмишроводастком едицин- оизолилковой 9 типа 10, очитехнике ких эле ме ы. едующим абра ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНВЕДОМСТВО СССР(ГОСПАТЕНТ СССР) ОПИСАНИЕ ИЗК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВ(54) СПОСОБ ВЫВОДА ЭЛЕКТРОПРОНИКОВ ИЗ ВАКУУМНОЙ КАМЕРЫ(57) Использование: в вакуумной технименно в способах вывода тонких элпроводников из вакуумной камеры етение относится к вакуумнои именно к способам вывода тонропроводников из вакуумной карЦель изобретения - упрощение и повышение надежности герметизации вывода проводников из вакуумной камеры,На чертеже представлено устройство, с помощью которого осуществляется предла.гаемый способ,Устройство содержит изолирующий элемент 1 из эластичного материала, например, вакуумной резины, размещенный между пластинами 2 и 3 из изоляционного материала, имеющими форму дисков с отверстиями 4, причем отверстия обоих дисков расположены соосно. Изолирующий элемент 1 и пластины 2 и 3 расположены в углублениях герморазьема 5 и прижаты к выступу 6 вакуумной камеры посредством болтового соединения 7, Изолирующий эле. ность: способ вывода проводников из вакуумной камеры, при котором проводники размещают в изолирующем элементе, с последующей установкой его в герморазьеме, после чего осуществляют прокладку проводника в изолирующем элементе, выполненном из эластичного материала с помощью иглы с размещенным в ней проводником, причем предварительно зачищают участок, размещаемый в изолирующем элементе, совмещают его путем протаскивания сквозь углу с границами изолирующего элемента, затем уплотняют изолирующий элемент, В результате упрощается процедура уплотнения и повышается надежность вывода проводников, 1 ил,Берут изолирующий элемент 1, располагают с двух сторон от него пластины 2 и 3 так, чтобы отверстия 4 обеих пластин 2, 3 находились соосно. Затем прокалывают изолирующий элемент 1 через отверстия 4 иглой 8 и через канал иглы 8 пропускают термопарный провод 9, Очищают провод 9 от изоляции на участке 10, при этом длина очищенного участка 10 равна толщине изолирующего элемента 1 в свободном состоянии. Далее термопарный провод располагают в канале иглы 8 так, что очищенный от изоляции участок 10 находится1798819 Формула изобретения оставитель Ю.Швайковскийехред М.Моргентал Корректор О,Густ актор аз 775 Тираж ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035. Москва, Ж, Раушская наб 4/5 роизводственно-издательский комбинат "Патент", г, Ужгород, ул.Гагарина. 101 за пределами иглы 8, а его край совпадает с концом иглы, Иглу 8 вместе с термопарным проводом 9 вытаскивают назад из изолирующего элемента 1 до тех пор, пока участок 10 не разместится в теле изолирующего эле мента 1 (края участка 10 будут располагаться на поверхности изолирующего элемента 1), после чего освобождают иглу 8 от термопарного провода 9. Аналогичным образом размещают в изолирующем элементе 1 не обходимое количество термопарных проводов 9. После этого изолирующий элемент с пластинами 2 и 3 располагают в углублении герморазъема 5 и прикрепляют этот фланец к корпусу вакуумной камеры при помощи 15 болтового соединения 7. При этом изолирующий элемент 1 сжимается и в местах его контакта с участками 10 термопарных проводов 9 образуется герметичное соединение. Пластины 2, 3 равномерно сжимают 20 изолирующий элемент 1, предотвращая его прогиб под действием перепада давлений (между атмосферой и вакуумной камерой) и устраняя возможное электрозамыкание между проводами, если последние разме щены в изолирующем элементе 1 близко друг к другу от друга,Герметичность, обеспечиваемая данным способом, достаточно высокая, так как течь не обнаруживается даже с помощью гелиевого течеискателя, Таким образом, предлагаемый способ достаточно прост в осуществлении и позволяет обеспечить надежное уплотнение выводимых из вакуумных камеры проводников. Способ вывода электропроводников из вакуумной камеры через размещенный в корпусе изолирующий элемент из эластичного материала, при котором полую втулку размещают в изолирующем элементе, протягивают проводник через упомянутую втулку с последующим удалением ее из изолирующего элемента, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью упрощения и повышения надежности герметизации, перед протягиванием проводник очищают от изоляции на участке, равном толщине изолирующего элемента, в качестве втулки используют медицинскую иглу, после протягивания концы очищенного участка совмещают с границами изолирующего элемента, а после удаления втулки изолирующий элемент уплотняют с двух сторон с помощью перфо-. рированных пластин из изоляционного материала.