Способ получения поликристаллического кремния
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 1765116
Автор: Харламова
Текст
(56) Реньян Вкового крем23. Бюл, Ф 36льский металлурги ии инсамова(с И1 ааааЬ 0 ь под ств сыр При индуктивнос нее 0,1 Тл качество ниже. При индуктивнос лее 0,8 Тл возникает резонанса молекул и При нарушении ной зависимости ско го материала и индукОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИ Изобретение относится к области получения поликристаллов и может применяться для получения поликристаллов кремния с улучшенными свойствами, используемого после переработки в полупроводниковых изделиях.Ближайшим техническим решением, принятым за прототип является способ получения поликристаллического кремния, включающий подачу исходного продукта, нагрев до температуры кристаллизации в водородной среде и съем поликристаллов. Однако, эффективность процесса мала и качество получаемого поликристаллического кремния низкое, т. е, продукт получается хрупким,Цель изобретения - повышение выхода и снижение хрупкости продукта,Поставленная цель достигается тем, что в способе получения поликристаллического кремния, включающем подачу исходного продукта, нагрев до температуры кристаллизации в водородной среде и съем поли- кристаллов, подачу исходного продукта(54) СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ(57) Использование: в полупроводниковых приборах. Сущность изобретения: хлорсиланы подают в камеру кристаллизации со скоростью не менее 800 л/мин, воздействуя на них поперечным магнитным полем с индукцией 0,1-0,8 Тл, в камере осуществляют нагрев до температуры кристаллизации в водородной атмосфере и съем кристаллов. 1 табл,ведут со скоростью не менее 800 л/мин при воздействии поперечного магнитного поля с индукцией 0,1 - 0,8 Тл, причем индукцию магнитного поля изменяют прямопропорционально скорости подачи.При скорости подачи менее 800 л/мин процесс малоэффективен. Максимальное значение скорости в настоящее время ограничивается возможностями установки и может быть 19 СО л/мин. Однако, это не является предельным значением скоростиачи для данного способа, При совершене установки скорость подачи исходного ья может возрастать неограниченно,магнитного поля малучаемого продуктааае 3 ти магнитного поля боопасность магнитного сходного продукта, прямопропорциональрости подачи исходнотивности поперечного1765116 Составитель З,ХарламоваТехред М.Моргентал Корректор С,Юско Редактор Заказ 3350 Тираж Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035; Москва, Ж, Раушская наб., 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г, Ужгород, ул.Гагарина, 101 магнитного поля снижается эффективностьпроцесса и качество получаемого продукта,Пример конкретного выполнения,В условиях лаборатории были проведены испытания, результаты которых приведены в таблице. Исходное вещество -трихлорсилан. Получение поликристалловкремния осуществляют в присутствии водорода при 1200 С.Продукт при подаче в камеру подвергают воздействию поперечного магнитногополя,Анализ результатов показывает, чтопроцесс более эффективен при пропорциональном увеличении скорости и индукции. 15Однако, при скоростях выше 1700 л/мин,как показали исследования, процесс становится неэкономичным, т. к, выход готового продукта не увеличивается.Следовательно, предложенная совокупность признаков позволяет повысить выход продукта и получить поликристаллы кремния с пониженной хрупкостью,Формула изобретения Способ получения поликристаллического кремния, включающий подачу хлорсиланов в камеру кристаллизации, нагрев до температуры кристаллизации в водородной атмосфере и съем кристаллов, о т л и ч а ющ и й с я тем, что, с целью повышения выхода и снижения хрупкости продукта, подачу хлорсиланов ведут со скоростью не менее 800 л/мин при воздействии поперечного магнитного поля с индукцией 0,1 - 0,8 Тл.
СмотретьЗаявка
4848475, 09.07.1990
МАРИУПОЛЬСКИЙ МЕТАЛЛУРГИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ
ХАРЛАМОВА ЗОЯ ВАСИЛЬЕВНА
МПК / Метки
МПК: C01B 33/02
Метки: кремния, поликристаллического
Опубликовано: 30.09.1992
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-1765116-sposob-polucheniya-polikristallicheskogo-kremniya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ получения поликристаллического кремния</a>
Устройство для регулировки выпуска немагнитного продукта из магнитного сепаратора
Номер патента: 1676659
Опубликовано: 15.09.1991
Авторы: Беззубов, Наливайко, Степанов
Метки: выпуска, магнитного, немагнитного, продукта, регулировки, сепаратора
...относится к обогному оборудованию. Цель - повышедежности устройства за счет снвыходных патрубков /ВП/. Устройстводержит ВП ванны, оканчивающиеся пря Изобретение относится к обогатитель ному оборудованию и может быть использо вано в магнитных сепараторах. Цель изобретения - повышение надеж ности устройства за счет снижения заили вания выходных патрубков.представленопредлагаух пооекциях.регулировки выпуска кта магнитных сепарабя выходные плтрубкы Я 2 1676651676659 Составитель А.МоисеенкоРедактор Г.Мозжечкова Техред М.Моргентал Корректор. А.Осауленко Заказ 3063 Тираж 321 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж, Раущская наб., 4/5 Производственно-изда 1 ельский комбинат...
Индикатор напряженности магнитного свч поля
Номер патента: 1000884
Опубликовано: 28.02.1983
Авторы: Лиогонький, Любченко, Навоша, Осика, Стригуцкий
МПК: G01N 27/72
Метки: индикатор, магнитного, напряженности, поля, свч
...7) и грямоуголь-ном (кривая 8) резонаторах от уровня микроволновой мощности,Гуматы уранила являются основнойурансодержащей частью каустобиолитных урановых руд, используемых для 1 вполучения ядерного горючего. Гуматыуранила являются также отходами производства при очистке радиоактивных стоков.Гуминовые кислоты характеризуются 1 уналичием синглетного спектра ЭПР-поглощения шириной ЬН 5 гс. При обработке их соединением уранила в них.появляется дополнительный сигнал,сдвинутый в сторону больших полей(Фиг. 1 и 3). Форма спектров ЭПР-по 26глощения гуматов уранила меняетсяв зависимости от уровня магнитногоСВЧ поля Нна образце (Фиг. 1 и 3),Поскольку в эксперименте используетИся навеска гумата уранила величинойне более 10 мг, интенсивность...
Способ автоматического контроля содержания магнитных фракций в продуктах обогащения магнитного сепаратора
Номер патента: 1375341
Опубликовано: 23.02.1988
Автор: Кочура
МПК: B03C 1/30, G01N 27/72
Метки: магнитного, магнитных, обогащения, продуктах, сепаратора, содержания, фракций
...поля или величину магнитной индукции каждого сепаратора, измеренные величины суммируют, а затем делят на количество сепараторов в группе и по среднему арифметическому результату измерений контролируют содержание магнитных фракций в промпродукте на выходе группы параллельно работающих сепараторов. Питание, представляющее собой рудную пульпу с производительностью по твердомуЯ=сопз 1 и плотностью р=сопз( (фиг. 1), поступает в ванну 1 сепаратора. Магнитный продукт 2 извлекается из пульпы магнитным полем, создаваемым магнитной системой, состоящей из ярма 3 и постоянных магнитов 4, и концентрируется на поверхности рабочего органа, которым является барабан 5 магнитного сепаратора, вращающийся со скоростью о=сопз 1. Содержание магнитных...
Способ обогащения железных руд и продуктов их магнитного обогащения
Номер патента: 1553172
Опубликовано: 30.03.1990
МПК: B03B 7/00
Метки: железных, магнитного, обогащения, продуктов, руд
...Изобретение относится к обогащению полезных ископаемых и м.б. использовано в обогащении железных руд. Цель - сокращение расхода реагентов. Исходный материал подвергают магнитной сепарации с получением концентрата и промпродукта. При этом содержание твердого в питании сепарации равно от 25 до 30%. Напряженность магнитного поля от 0,4 до 0,5 Тл. Промпродукт магнитной сепарации направляют на флотацию с получением пенного и камерного продуктов. Камерный продукт флотации вводят в исходный продукт при соотношении потоков от 1:0,3 до 1:1,5. Расход флотореактов сокращается за счет сокра щения количества материала, поступающего на флотацию. рого продукта-, промпродукта (а не трата) требует меньшего расхода тов. Последующее введение...
Магнетрон с железным сердечником, усиливающим напряжение магнитного направляющего поля
Номер патента: 1332
Опубликовано: 15.09.1924
Автор: Романов
МПК: H01J 25/50
Метки: железным, магнетрон, магнитного, направляющего, напряжение, поля, сердечником, усиливающим
...детектора и усилителя слабых токов и имеет целью усиление напряжения магнитного направляющего поля.На схематическом чертеже изображен соответствующий магнетрон. Магнетрон , с железным сердечником, усиливающимнапряжение магнитного направляющего поля, состоит из накаленного катода Й в виде кольцеобразной нити, в центре которой помещается цилиндрический сплошной анод А, Вокруг корпуса магнетроиа навиты две обмотки ЗХ и Х Через обмотку Л (управляющую) проходит постоянный ток, создающий магнитное поле, отклоняющее электроны в такой степени, что большинство их непопадает на анод, т, е. ток на анодпочти равен нулю. При пропускании через вторую обмотку ЗХпеременного тока низкой частоты (телефонный) или высокой частоты (радиотелеграф)...
Предыдущий патент: Способ укладки углеродистых заготовок в печи графитации
Следующий патент: Способ сушки суспензии белой сажи
Случайный патент: 430428