ZIP архив

Текст

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК 52 2805 ГОСУДАРСТВЕННЫИ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТПРИ ГКНТ СССР ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ монокрист бретения я резаемых В способ внедрения выбирают дачи в 2-9 туду кол елью честв струм скор окрис чной уиам сход зо- отта,ость талл ере- плидственное объединени/ч; соотнош чл - наибольшая скорост щей кромки в монокрист рость поперечной пере амплитуда колебаний м вс - частота колебани рад/с, 1 табл,внедрениялл, мм/с; ч -дачи, мм/с;нокристалламонокрист ежу ко мм ла выбирают наиболья режущей кромкиы она превышалаподачи в 2-9 раз. при этом ть внедрен талл, чтоб оперечной ую скоро- монокри- скорость/2 мм/с;чп - скорострежущей кромки наибольшего внедрениямонокристалл, мм/с;колебаний монокристаламплитуда ла,м АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВ(57) Изобретение ообработке твердыхможет быть испольполупроводников С, Ерошин, М.Т. Таращанов, В.П. Запорожский, , Харламов етельство СССР8 О 5/00, 1988,И МОНОКРИСТАЛЛОВтносится к механической и хрупких материалов изовано при разделении ых и диэлектрических Изобретение относится к механической обработке твердых и хрупких материалов и может быть использовано при разделении полупроводниковых и диэлектрических монокристаллов по авт.св. М 1685719.Целью изобретения является повышение качества отрезаемых пластин и стойкости инструмента.В способе резки монокристаллов частоту и амплитуду колебаний определяют из соотношения е ч - скорость поперечнои подачи аллов на пластины. Цвляется повышение кпластин и стойкости ине резки наибольшуюрежущей кромки в мовыше скорости поперераз. Кроме того, частоебаний выбираютцч астота колебании монокриста П р и м е р. Производилась резка моно- кристаллов кремния диаметром 100 мм на пластины толщиной 0,75 мм, Резка производилась на модернизированном станке модели "Алмаз 11". Модернизация заключалась в оснащении станка приводом колебаний слиткодержателя вместе с устройством ориентации монокристалла, Привод колебаний имел числовое программное управление, Применялись алмазные отрезные круги с30 Составитель А,БулековТехред М.Моргентал Корректор Н.Ревская Редактор Заказ 3222 Тираж Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж, Раушская наб., 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101 внутренней режущей кромкой АКВР 422 х 152 х 0,3 по ГОСТ 26004-83,Резку вели с поперечной подачей Ч= 0,666 мм/с.Было проведено пять серий опытов, в первой серии параметры колебаний соответствовали способу, описанному в прототипе, во второй и третьей - пределами выполнения условия непрерывности К=9 и 2, в четвертой - промежуточному значению условия по данной заявке. Результаты реализации предлагаемого способа сведены в таблицу.Из таблицы видно, что наихудшие технико-экономические показатели имеет первая серия опытов, так как в ней не выполняются условия непрерывности контакта режущей кромки с материалом и скорость внедрения режущей кромки с материалом и скорость внедрения режущей кромки в монокристалл в 471 раз превышает скорость поперечной подачи, Несколько лучше технико-экономические показатели во второй и третьей сериях опытов, так как здесь выполняются граничные условия непрерывности контакта, а это приводит к снижению динамических нагрузок. Наилучшие показатели имеет четвертая серия опытов, в которой было реализовано промежуточное условие,Формула изобретения Способ резки монокристаллов по 5 авт.св. М 1685719, о т л и ч а ю щ и й с я тем,что, с целью повышения качества отрезаемых пластин и стойкости инструмента, частоту и амплитуду колебаний определяют из соотношения10 где ч - скорость поперечной подачи, 15 мм/с;чо - скорость наибольшая внедрениярежущей кромки в монокристалле, мм/с;д - амплитуда колебаний монокристалла, мм;20 щ - частота колебаний монокристалла, рад/с; 25 при этом выбирают наибольшую скорость внедрения режущей кромки в монокристалл так, чтобы она превышала скорость поперечной подачи в 2-9 раз.

Смотреть

Заявка

4427050, 11.04.1988

НАУЧНО-ПРОИЗВОДСТВЕННОЕ ОБЪЕДИНЕНИЕ "МЕХАНИКА"

АНДРЕЕВ ЮРИЙ МИХАЙЛОВИЧ, ЕРОШИН СЕРГЕЙ СЕРГЕЕВИЧ, ТАРАЩАНСКИЙ МАРК ТАНКУМОВИЧ, ГАЛИГУЗОВ ГЕННАДИЙ ИВАНОВИЧ, ЗАПОРОЖСКИЙ ВЛАДИМИР ПЕТРОВИЧ, ГУЛИДОВ ДМИТРИЙ НИКОЛАЕВИЧ, ХАРЛАМОВ ВИТАЛИЙ ЮРЬЕВИЧ

МПК / Метки

МПК: B28D 5/00

Метки: монокристаллов, резки

Опубликовано: 15.09.1992

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-1761521-sposob-rezki-monokristallov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ резки монокристаллов</a>

Похожие патенты