Прибор для введения дислокации в образцы полупроводников

Номер патента: 175568

Автор: Эртелис

ZIP архив

Текст

Союз Советских Социалистических республиклдетельстваЗависимое от авт. Кл. 21 О, 1102 аявлено 25,111,1964 ( 890054/26 явкис присоединением МПК НО Государственныйомитет по делаюизобретений риоритет публиковано 09.Х.1965. Бюллетень2 ДК 621.315,592:539.4,0 3.002.54 (088.8) н открытии ликования описания 9.Х 11.1965 Дат Автор изобретен Я, Эртел атвийской С Институт энергетики явитель ВВЕДЕНИЯ ДИСЛОКАЦИИ В ОБРАЗЦЬ ПОЛУПРОВОДНИКОВ ПРИБОР Известны приборы для введения дислокации в образцы полупроводников путем пластического изгиба, содержащие индикатор, груз, микрометрический винт и термопару. В этих приборах деформирующая сила прилагается 5 непосредственно к средней части стержневого образца, что ведет к возникновению локальных деформаций и связанных с ними неконтролируемых скоплений дислокаций.Предложенный прибор снабжен держателя ми, выполненными в виде рычагов, одни концы которых крепят образец, а другие установлены между призмами, через которые от груза и микрометрического винта передается изгибающее усилие. Прибор позволяет контроли ровать введение дислокаций в образцы полупроводников и создает в образце температурное поле, обеспечивающее плавное изменение плотности дислокации по длине образца. лощи г еваатино- бходиобъе- уумноввода е про- чибро- полуо вин- ерхней е изображена схема прибора.азца 1 зажимаются в держатефита, молибдена или другого доплавкового и механически прочла. Держатели образца служат 2 для передачи деформирующей качестве токопроводящих элекопираются на призмы 3, соедикрометрическим винтом 4, плат- нагрузок 5 и часовым индикато нимитя дписная группа97 На чертежКонцы обрлях 2 из грастаточно тугного материаодновременнонагрузки и втродов, Опенные сформой дром б,Ток к держателям подводится при п гибких металлических лент 7, не созд заметных дополнительных нагрузок. На ние образца контролируется платино-пл родиевой термопарой 8. В случае нео мости термопару можно удалить.Прибор укрепляется в откачиваемом ме вакуумной системы, имеющей вак плотный вращающийся привод и четыре для токонагрева и термопары. Изгибан исходит под действием силы тяжести ка ванных нагрузок, Большие деформаци чают путем вращения мцкрометрическог та при фиксированном положении в призмы,Предмет изобретенияПрибор для введения дислокаций в образцы полупроводников, включающий в себя индикатор, груз, микрометрический винт и термопару, отличающийся тем, что, с целью предотвращения появления неконтролируемой дислокации в средней части образца и создания в образце температурного поля, обеспечивающего плавное изменение плотности дислокации по длине образца, он снабжен держателями, выполненными в виде рычагов, однц концы которых крепят образец, а другие установлены между призмами, через которые от груза и микрометрического винта передается изгибающее усилие,Г. Кар Редакт оставитель Р. Г. АкопянТехред Ю. В. Баранов Корректор О. Б. Тюринааз 345312 Тираж 1575 Формат бум, 6090lв Объем 0,13 изд. л. Цена 5 коп.ЦНИИПИ Государственного комитета по делам изобретений и открытий СССРМосква, Центр, пр. Серова, д. 4.пография, пр. Сапунова, 2

Смотреть

Заявка

890054

У. Я. Эртелис Институт энергетики Латвийской ССР

МПК / Метки

МПК: G01N 19/00, H01L 21/64

Метки: введения, дислокации, образцы, полупроводников, прибор

Опубликовано: 01.01.1965

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-175568-pribor-dlya-vvedeniya-dislokacii-v-obrazcy-poluprovodnikov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Прибор для введения дислокации в образцы полупроводников</a>

Похожие патенты