174239

174239 Союз Советских Социалистических РеспубликЗависимое от авт. свидетельстваЗаявлено 18 ЛЧ,1964 ( 895678/26-9)с присоединением заявкиПриоритетОпубликовано 27.Ч 111,1965. Бюллетень17Дата опубликования описания 8.Х.1965 Кл. 21 а 4, 75 Государственный комитет ло делам изобретений и открытий СССР(088.8) Авторы изобретения А. А. Васильковский, Э, И. Ковальчук и И. Д. Буядж Заявитель УСТРОЙСТВО Д ВАКУУМЕ ПОДЛ ТРАНСПОРТИРОВКИЕК ПЛЕНОЧНЫХ СХЕМ Подписная аруппа8 Известные устройства для транспортировки в вакууме подложек пленочных схем, содержащие два барабана, на которых размещена перематываемая гибкая лента, служащая для размещения подложек, и приводной механизм, 5 снабженный приводным двигателем и транспортирующим органом, не устраняют провисание ленты,в процессе перемотки,В предложенном устройстве устранение,провисания ленты в процессе, перемотки и упро щение 1 конструкции транспортирующего орга. на достигнуто тем, что на осях барабанов установлены конические шкивы со спиральной нарезкой, в канавках которой размещен тросик, соединяющий мекду собой шкивы, а в ка честве транспортирующего органа использована гребенка, зубцы которой входят в,перфорированные отверстия гибкой ленты.На фиг. 1 изображено предложенное устройство в.двух проекциях; на фиг. 2 - механизм 20 натяжения вросика.Устройство представляет сооой стойку 1, на которой один над другим помещены свободно вращающиеся валы 2 и 3, На передних концах валов жестко закреплены легкосъемные 25 барабаны 4 и 5. На барабанах ближе к их центру расположены штыри 6, с помощью,которых закрепляются, концы гибкой ленты 7 с подложками (лента на чертеже, показана условно штрих-пунктирной линией). Для прида- ЗО ния:нужного направления движению ленты она помещена на опорном ролике 8 и направляющих роликах 9, охваченных нагревательными элементами 10. Сбоку, параллельно ленте, на определенном растоянии от нее располояен электрод 11 для ионной очистки подложек, Между роликами помещены водоохлаждаемые направляющие 12 с расположенной над ними гребенкои 13, на которой закреплена термопара 14.На задних хонцах валов жестко закреплены конические шкивы 15 и 16 со спиральной нарезкой, в,канавках которой размещен тросик 17, соединяющий между собой конические шкивы. Тросик проходит через, ролик 18, удерживаемый,пружинами 19, укрвпленными в свою очередь, на ролике 20, перемещающемся вдоль конических шкивов по направляющему стерженю 21. Между коническими шкивами 15 и 16 размещены стопоры 22.На пеоедний коленец вала 3 надевается барабан 5 с намотанной на нем гибкой лентой. Лента пропускается по роликам 8 и 9, а конец ее закрепляется на барабане 4. После этого отпускаются стопоры, удерживающие конические шкивы от раскручивания, которое возникает под действием сил натяжения, создаваемых пружиной 19, Сила натяжения передается на ленту валами 2 и 3 и натягивает ее с заданным усилием. В исходном положении174239 Составитель Г. Г, фридолиидактор Н. С. Коган Техред Т. П. Курилко Корректор О. Б. Тюрина Заказ 2677/4 Тираж 1225 Формат бум, 60 Х 90/з Объем 0,21 изд. л, Цена 5 ко ЦНИИГ 1 И Государственного комитета по делам изобретений и открытий СССР Москва, Центр, пр. Серова, д. 4ография, пр. С тросик намотан на конический шкив 15, а с конического шкива 16 полностью смотан.По команде извне приводной двигатель,воздействует на гребенку, которая опускается и своими зубцами входит в перфорированные отверстия гибкой ленты и перемещает ее на один шаг вдоль направляющих вправо, совмещая тем самым следующую подложку с,позицией напыления. Одновременно в результате перемещения ленты, вращается барабан 5, который, в свою очередь, посредством тросика вращает барабан 4. Наличие замкнутой системы лента - тросик устраняет провисание гибкой ленты перед барабаном, на который производится ее наматывание.После перемещения гибкой ленты на один шаг гребенка, поднимается вверх и возвращается в исходное положение. Движение гребенки по указанной схеме происходит до тех пор, пока лента с подложками полностью не пере- мотается с барабана 5 на барабан 4. При срабатывании конечного, выключателя, фиксирующего окончание перемотки ленты, гребенка сообщает последней обратное движение. Количество обратных движений ленты определяется технологическим процессом изготовления пленочных схем.Наличие возвр атно-,посту пательного движения гибкой ленты с,подложками и устранение ее провисания дает возможность сохранить за каждой подложкой порядковый номер в лродолжение всего технологического цикла. Предмет изобретения 10 Устройство для транспортировки в вакуумеподложек пленочных схем, содержащее два барабана, на которых размещена перематываемая гибкая лента, служащая для размещения подложек, и приводной механизм, снаб жениный приводным двигателем и транспортирующим органом, отличающееся тем, что, с целью устранения провисания ленты в (процессе перемотки и упрощения конструкции транспортирующего органа, на осях барабанов ус тановлены конические пиивы со спиральнойнарезкой, в,канавках которой размещен тросик, соединяющий между собой шкивы, а в качестве транспортирующего органа использована гребвнка, зубцы, которой входят в пер форированные отверстия гибкой ленты.