Способ определения электронной температуры плазмы тлеющего разряда

)5 0 01 М 15/02 НИ л н образом. ющий поок зондаондаи ательном тенци равен 2,п Ри ОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР САНИЕ ИЗОБ АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТ(21) 4426476/25 (22) 18.05.88 (46) 15.05.92. Бюл, М 18 (71) Научно-производственное объединение им. С.А, Лавочкина и Московский институт радиотехники, электроники и автоматики (72)Ю.В. Кубарев, П,В. Коленько, Е.Ф. Ковалев, С,Е. Росинский, А.А. Флоридов и В.Н, Черник (53) 535.9(088.8) (56) Методы исследования плазмы/Под ред. В. Лохте - Хольтгревена. М,: Мир, 1971, с, 480. (54) СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕМПЕРАТУРЫ ПЛАЗМЫ ТЛЕЮЩЕГО РАЗРЯДА Изобретение относится к зондовым методам экспериментального исследования плазмы тлеющего разряда в газах и может быть использовано для диагностики стационарной низкотемпературной плазмы.Цель изобретения - упрощение опредеения электронной температуры в стациоарном состоянии плазмы.Цель изобретения достигается изменением относительно плавающего потенциала плазмы величины потенциала гальванически изолированного одиночного зонда.Одиночный зонд изолируют с помощью разделительного конденсатора, причем общую емкость С зонда и разделительного конденсатора определяют из условияС(ф),где- максимальная абсолютная величинатока зонда при положительном или отрицательном изменении его потенциала, А; 2.(57) Изобретение касается зондовых методов экспериментального исследования плазмы тлеющего разряда в газах и может быть использовано для диагностики стационарной низкотемпературной плазмы, Цель изобретения - упрощение определения электронной температуры в стационарном состоянии плазмы. Цель изобретения достигается изменением величины потенциала гальванически изолированногоодиночного зонда. Согласно способу измеряют токи зонда при положительном и отрицательном изменении потенциала зонда относительно плавающего потенциала плазмы, а электронную температуру определяют по формуле, приведенной в описании, 1 ил. ФЬЧ - абсолютная величина измененияциала, соответствующая , В;. длительность изменения потенциа- а ла,С, 4На чертеже представлена вольт-амперная характеристика зонда и величины, определяемые в процессе диагностики плазмы,На чертеже показаны следующие величины; Ч 0 - плавающий потенциал плазмы; Ч+ М - потенциал зонда при его положи- (.Я тельном изменении; Ч 0 - Ь Ч - потенциал зонда при его отрицательном изменении;- ток зонда при положительном изменении потенциала;2 - ток зонда при отрицательном изменении потенциала. особ реализуют следующи ачале определяется плава л плазмы Ч, при котором 0; Затем измеряются токи положительном +Ч и отри1733975 Составитель Г.МожаровТ.Лазаренко Техред М.Моргентал Кор Т,Мале да аказ 1 бб 4 Тираж ПодписноеВНИИПИ Государственноо комитета по изобретениям и открытиям113035, Москва, Ж, Раушская наб., 4/5 КТ СС Производственно-и ательский комбинат "Патент", г. Уж ул.Гагарина, 1-Ч изменении потенциала зонда относительно плавающего потенциала плазмы.Электронная температура определяется по формулегде ЛЧ - абсолютная величина изменения потенциала, В;- ток зонда при положительном изменении потенциала, А;2- ток зонда при отрицательном изменении потенциала, А. Формула изобретения Способ определения электронной температуры плазмы тлеющего разряда, заключающийся в том, что в плазму вводят одиночный зонд, изменяют электрический потенциал зонда, измеряют его ток, о т л ич а ю щ и й с я тем, что, с целью упрощения определения электронной температуры в стационарном состоянии плазмы, одиночный зонд гальванически изолируют. с помощью разделительного. конденсатора, приэтом общую емкость С зонда и разделительного конденсатора определяют иэ условияс.(ф),где- максимальная абсолютная величинатока зонда при положительном или отрицательном изменении его потенциала, А;Л Ч - абсолютная величина изменения1 О потенциала, соответствующая , В:т - длительность изменения потенциала,С,а электронную температуру оперделяют поформуле15где Л Ч - абсолютная величина измененияпотенциала, В;, - ток зонда при положительном изме 2 О нении потенциала,А;2 - ток зонда при отрицательном изменении потенциала, А.