Конденсаторный микрофон

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК БРЕМЕНИ СТОУ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯПРИ ГКНТ СССР(71) Киевский институт народного хозяйстваим. Д.С.Коротченко(57) Изобретение относится к злекроакустике. Цель изобретения - повышение надежности работы микрофона при увеличениивлагоустойчивости при рабочих температурах вцще комнатной. В микрофоне нанесенная на свободную поверхность электретнойпленки 2 из оксида кремния защитная пленка 4 выполнена из полиуретана УРиимеет толщину 10 - 20 мкм, . ил,Изобретение относится к электраакустике и может быть использовано при изготовлении микрофонов на основе ЯО электретов с повышенной влагаустойчивостью.Цель изобретения - повышение надежности рабЬты микрофона путем увеличения влагаустойчивости при рабочих температурах выше комнатной.На чертеже показан схематично конденсаторный микрофон.Конденсаторный микрофон содержит неподвижный электрод 1, представляющий собой полированный до 14-го класса кристалл кремния марки КЭФ 4.5 с ориентациейИ 1, толщиной 300 мкм, размером бхб мм, отверстием 0,8-1 мм, оксидную2пленку 2 толщиной 1,3 - 2 мкм, напученную методом влажного окисления при 1000 1 С, защитное покрытие 3 толщиной 10-20 мкм, полученное центрифугированием лака УР (ТУ 6-10-863-84) с добавками отвердителя ДГУ (ТУ 6-03-388-75), кольцевую прокладку 4 из ПЭТФ толщиной 10-20 мкм, мембрану 5 из полиэтилентерефгалатной пленки толщиной 5 - 10 мкм, металлическое покрытие б на поверхности мембраны, обращенное к неподвижному электроду 1; воздушный зазор 7 5-10 мкм, отверстие 860,8 - 1 мм, корпус 9, акустический объем (полость 10), металлическое алюминиевое) покрытие 11 на электроде.Защитное покрытие УРтолщиной 10 - 20 мкм наносят на поверхность оксид ных пленок до их электризации в коронном разряде методом центрифугирования при скорости вращения подвижной части центрифуги 5-6 тыс, оборотов/мин, Нанесение лака УРосуществляют на пластины кремнияФ 100 мм, предварительно проскрайбированные с обратной стороны алмазным диском на кристаллы размерам бхб мм, По 2 еле сушки лака при температуре 60-80 ОС в течение б - 7 ч пластины разламывают на кристаллы и электризуют их в коронном разряде при температуре 160+5" С и постоянным напряжением 4 - 5 кВ с отрицательным смещением на электроде, состоящем из набора стальных игл и перекрывающего полностью рабочую поверхность кристалла, Расстояние от коронирующего электрода до поверхности кристалла составггяло 9-10 мм, Температура электризации 160+5 С обус 5 10 15 20 25 ЗО 35 лавлена тем, что при этой температуре наблюдалась оптимальная влагоустойчивость заряженных пленок 5102 и формировалась наиболее устойчивая модификация гидрофабного кремнийарганического соединения. Толщину пленки УРрегулируют скоростью оборотов подвижной части центрифуги и агааничивают величиной 10-20 мкм в связи с тем, чта при толщине менее 10 мкм ухудшались влагозащитные свойства покрытия, а при толщине более 20 мкм уменьшилась чувствительность микрофона из-за снижения плотности индуцируемого заряда на мембране с увеличением расстояния между заояженной поверхностью 202 и мембраной.Покрытие на основе лака УРустойчива к воздействию морсза, влаги, различных растворителей, например спирта, бензина, ацетона, обладает высокой адгезией к различным материалам. При использовании данного лака приповерхнастная область 5102 не насыщается высокоподвиж+ +ными ионами йа, К . Достоинство лака УР состоит также в том, что ан не заряжается и не разрушается в коронном разряде при температуре электризации 160+5 С, Это одно из важных свойств защитного лака, способствующее стабилизации заряда электр ета.Темпера",урные испытания Б 02-электретов при повышенной влажности проводят путем выдержки образцов кристаллов) в эксикаторе, помещенном в термастат, при +,5 оС Формула изобретения Конденсаторный микрофон, содержащий неподвижный кремниевый электрод полимерную мембрану и изоляционную кольцевую прокладку между ними, причем обращенную одна к другой поверхности неподвижного электрода и мембраны покрыты электретной пленкой оксида кремния и металлической пленкой соответственно, а на свободную поверхность электродной пленки из оксида кремния нанесена защитная пленка толщиной 10-20 мкм, о т л и ч а ющ и й с я тем, что, с цепью повышения надежности в работе путем увеличения влагоустойчивости при рабочих температурах выше комнатнойзащитная пленка ьыполнена из полиуре, ана УР.