Установка для изготовления изделий-—• из синтетической двуокиси кремния

ОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических РеспубликЗависимое от авт, свидетельстваЗаявлено 19 Л 11.1964 ( 889129/29-14)с присоединением заявкиПриоритет 33 Ь, 3 Государственныйомитет по деламизобретенийи открытий СССР( С 03 с УДК 666,112.2(088,8) Опубликова 1.1965. БюллетеньДата опубликования описания 26.17.196 Авторыизобретени В. В. Дудин, А. Н. Иванов и Л, И. Чуйков аявитель ю, АНОВКА ДЛЯ ИЗГОТО ВЛ ЕН ИЯ ИЗДЕЛ И й - - СИНТЕТИЧЕСКОЙ ДВУОКИСИ КРЕМНИЯ 2 устройстстоле 2, от горесстояние аждения ения механизм на подвижном ости отодвигать так, чтобы ра оверхностью ос В процессе напыл ва, смонтированный можно по необходи лок 17 приводом б между горелкой иодписная группа14 Известные установки для изготовления изделий из синтетической двуокиси кремния содержат вращающиеся шпиндели с оправками и стационарно установленными горелками.Цель изобретения - повысить производи тельность установки и механизировать изготовление изделий. Достигается это выполнением установки со станиной, на которой смонтирован подвижный стол, несущий шпиндели с оправками, вблизи от стола расположены 10 горелки.На чертеже показана принципиальная схема установки.На станине 1 установлен подвижный стол 2, который с помощью направляющих 3 и 4 мо жет перемещаться соответственно в продольном и поперечном горизонтальном направлениях приводами 5 и б. Оправки 7, смонтированные на шпинделях 8, приводятся во вращение электродвигателем 9 посредством при вода, состоящего из ременной передачи 10, системы шкивов 11, шестерен 12 и 18.Возвратно-поступательное в вертикальном направлении движение оправок осуществляется приводом 14 и устройством 15. Оправки 2 вращаются в подшипниках 1 б.В горелки 17, стационарно смонтированные на стенде (на чертеже не показан), по коммуникациям 18 и 19 подают соответственно кислород и водород. Четыреххлористый крем- ЗО нии из трубопровода поступает в испарители 20, оттуда в виде пара через соединительную трубку 21 - в горелки 17.Установка работает следующим образом. Приводом б продольного перемещения, который может быть механическим или ручным, и приводом б поперечного перемещения стол устанавливают так, чтобы ось вращения оправки пересекалась с осью горелки. В горелку подают водород и кислород и смесь поджигают у сопла горелки. После этого включают электродвигатель, который через приводы 10 - 14 и устройство 15 сообщает оправкам одновременно вращение и возвратно-поступательное перемещение в вертикальном направлении. Пламя горелок должно равномерно обрабатывать поверхность оправок. После прогревания оправок (2 - 3 мин), включают нагреватели испарителей, в которые подают четыреххлористый кремний. Образующиеся пары поступают в горелку, и в пламени горелки синтезируется тон кодисперсная двуокись кремния, которая равномерным слоем осаждается на оправках 7.169218 10 Предмет изобретения Д 4 Я Составитель Н. Г. Степановафактор Э. Н. Шибаева Текред Ю, В. Баранов Корректор О. И. Попов раж 725 Формат бум. 60(90/8 Обьем 0,21 пзсударствениого комитета по делам изобретенийМосква, Центр, пр. Серова, д. 4 аказ 804/12 ЦНИИПИ л Цена 5 ко ткрытий СССР ппографии, пр. Сапунова оставалось постоянным, Расстояние контролируют по нониусу.За время напыления очередного комплекта оправок, напыленные изделия охлаждают, отделяют от оправок, оправки счищают, В дальнейшем механизм устройства снова переводят в исходное положение, и цикл повторяется.Напыление можно производить на части оправок и на всех оправках одновременно. Можно также использовать два блока горелок, расположенных с противоположных сторон устройства. В этом случае расстояние между горелками и оправками регулируют не приводом поперечного перемещения, а изменением длины пламени горелки в процессе работы.Устройство оснащено ограждением, предотвращающим загрязнение движущихся деталей и нагревание их прямым излучением пламени. При помощи эффективной вытяжной вентиляции отсасываются агрессивные газы 4и обеспечивается разбавление взрывоопасных газов.Приводы механизмов и горелки могутбыть различных конструкций. Число оправок 5 и расположение их может быть также различным, в зависимости от требуемой производительности, условий работы, рациональности и удобства обслуживания,Установка для изготовления изделий изсинтетической двуокиси кремния, включающая вращающиеся шпиндели с оправками и 15 стационарно установленные горелки-распылители, отличающаяся тем, что, с целью повышения производительности и механизации изготовления изделий, она выполнена со станиной с продольными и поперечными направ ляющими, с перемещающимся по ним столом,несущим шпиндели с оправками, и с горелками, расположенными близ стола.