Датчик перемещения на поверхностных акустических волнах

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК 1675670 9) .Я 3. я)5 6 01 В 17/О ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ укторско-технолоым производством го тела и полупроЖуков, Т.Н.Са гласе асоозтс ааче. бауер, Ргос, Бап,18, 1985, ч. 1, 1985,ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯЬПРИ ГКНТ СССР К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВ(71) Специальное констгическое бюро с опытнИнститута физики твердводников АН БССР(56) ВсЬагб М, ВВ 1 е. Яозепзогз )ВВВ ччетгазопЕгэпсзсо, СэИ. Ост. 16 -р. 490-494. 4) ДАТЧИК ПЕРЕМЕЩЕНИЯ НА ПОВЕРХОСТНЫХ АКУСТИЧЕСКИХ ВОЛНАХ Изобретение относится к устройствам для измерения перемещений объектов и может быть использовано в области электроники.Целью изобретения является расширение диапазона измерений перемещений,На чертеже приведена схема датчика перемещения на поверхностных акустических волнах (ПАВ).Датчик перемещения содержит консольно закрепленный упругий волновод 1, на поверхности которого сформированы встречно-штыревые преобразователи 2 и 3 для возбуждения и приема ПАВ. На свободном конце волновода 1 закреплена магнитная пластина 4. Встречно-штыревой преобразователь 2 для возбуждения ПАВ включен на выходе, а встречно-штыревой преобразователь 3 для приема ПАВ на входа-усилителя 5 таким образом, что образо(57) Изобретение относится к акустоэлектронике и может быть использовано в измерительных устройствах на поверхностных акустических волнах, Цель изобретения - расширение диапазона измерения перемещений, Датчик состоит из консольно закрепленного упругого волновода, на одной или двух противоположных пОверхностях которого сформированы встречно-штыревые преобразователи для возбуждения и приема поверхностных акустических волн., и усилителя. Отличительной особенностью является наличие магнитной пластины, закрепленной на свободном конце волновода, герметичного корпуса иэ немагнитного материала и вторичной магнитной пластины, закрепленной нэ объекте перемещения, 1 з.п.ф-лы, 1 ил. ван ПАВ-генератор с времязадающим элементом на упругом волноводе 1, Упругий волновод 1 с преобразователями 2 и 3 заключены в герметичный корпус 6 из немэгнитного материала. Нэ контролируемом объекте перемещения закреплена магнитная пластина 7.Сущность изобретения состоит в том, что магнитное поле, возникающее между пластиной 6, закрепленной на объекте перемещения, и магнитной пластиной 4, закрепленной нэ свободном конце волновода 1 воздействует на него, заставляя изгибаться на расстоянии, т.е. бесконтактно. Это позволяет измерять различные перемещения , любой величины в зависимости от магнитного поля, что значительно расширяет диапазон измерения, Отсутствие механического контакта позволяет изолировать чувствительный элемент датчика в герметичный корпуГцэ11675670 Составитель С.Волк Техред М,Моргентал Корректор А.Осауленко актор А,Мот аказ 2993 ВНИИПИ Тираж Подписноерственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ,ССС 113035, Москва, Ж, Раушская наб 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г, Ужгород, ул.Гагарина, 101 немагнитного материала, что уменьшае воздействие внешней среды,Датчик перемещения работает следующим образом,5При воздействии магнитного поля, возникающего между магнитной пластиной 4, закрепленной на свободном конце волновода 1, и магнитной пластинкой 7, закрепленной на объекте перемещения, упругий 10 волновод 1 с встречно-штыревыми преобразователями 2 и 3 возбуждения и приема ПАВ изгибается. При этом верхняя поверхность его растягивается, а нижняя сжимается. Происходит также изменение 15 упругости и плотности материала упругого волновода 1, Это вызывает изменение скорости ПАВ, что приводит к изменению частоты ПАВ-генератора, величина которой зависит от величины перемещения объекта. 20 Герметичный корпус 6 из немагнитного материала защищает от воздействия внешней среды.Ъ Формула изобретения1. Датчик перемещения на поверхностных акустических волнах, содержащий консольно закрепленный упругий волновод,размещенные на его поверхности встречноштыревые преобразователи для возбуждения и приема поверхностных акустических .волн, и усилитель, выход которого соединенс встречно-штыревым преобразователемдля возбуждения, а вход - с встречно-штыревым преобравователем для приема поверхностных акустических волн, о т л и ч аю щ и й с я тем, что, с целью расширениядиапазона измерений перемещений, онснабжен двумя взаимодействующими друг,с другом магнитными пластинами, одна иэкоторых закреплена на свободном конце упругого волновода, а другая предназначенадля закрепления на объекте перемещения.2. Датчик по и. 1, о тл и ч а ю щ и й с ятем, что, с целью. повышения помехоустойчивости, он снабжен герметичным корпусомиз немагнитного материала,