Датчик линейных перемещений

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИРЕСПУБЛИК т)5 6 01 ВО ГОСУДАРСТВЕННЫИ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР ОПИС АНИЕ ИЗОБРЕ 1 Е .СИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ 21) 4703543/2822) 08,06,89Г 46) 30.05,91. Вюл, й 2072) Л.З.Дич. Е,Р,1 Лалалед и53) 531,717.2 (088.8)=ЦЕНИИ ительнай о г 1 ри из кашин и яется паг 54) ДАТИК ДИНЕИНЫ); П".: РУ 57) Изсбретение относится к изме технике и может быть использован мереииях перемещений деталей приборов. Целью изобретения явл вышеиие точности за счет устраие Изобретение относится к измерительной технике и может быть использована при измерениях перемещений деталей машин и приборов,Целью изобретения является повышение точности за счет устоанеиия влияния на результаты измерений погрешностей изготовления дифракциоиных решеток и расширение класса исследуемых объектов за счет объектов с повышенной скоростью перемещения.На чертеже изображен датчик линейных перемещений,Датчик содержит источник 1 излучения и расположенные по ходу излучения конденсор 2, пропускающую дифракцианную решетку 3 с системой параллельных штрихов 4, отражающую дифракциониую решетку 5, предназначенную для крепления на контролируемом обьекте, две собирающие линзы 6, 7 и два фотоприемника 8, 9, распоиия нг оезультаты измерении погрешностей и готовлеиия дифракциаиных решеток и расширение класса исследуемых объектов за счет объектов с повышенной скоростью пэ емещеиия. Излучение от источника излучения преобразуется конденсором в параллельный пучок и поступает иа пропускающую дифоакциоииую решетку, затем она проходит плоскопараллельную пастииу, попадает на отражающую решетку и, дифрагировав на ней, вновь проходит пласкопарвллельную пластину и пропускающую решетку. Пссле этого излучение фокусируе-ся линзами на фотоприемники. 1 ил. лсженные каждый в фокусе соответствующей лиизь. 6, 7, плоскопараллельную пластину 10, выполненную в центре и по краям разнатслиинной, ориентированную границами оаздзла перпендикулярно штрихам решеток 3, 5 и установленную между решетками 3, , дополнительную линзу 11, расположениуа с двумя другими линзами 6, 7 иа одной линии, параллельной штрихам решеток 3, 5. дополнительньй фотолриемник 12, расположенный в фокусе дополнительной, линзы 1, фот приемники 8, 9, расположенные в фскусах крайних двух линз 6. 7, соединены па:ледовательна друг с другом,Датчик работает следующим образом.Излучение от источника 1, расположенного в факальной плоскости конденсора 2, преобразуется им в параллельный пучок и поступает на пропускающую дифракциоиную решетку 3. Дифрагировавшее иа штрихах 4 решетки 3 излучение попадает иа1652811 Составитель В. КостюченкоРедактор М. Циткина Техред М,Моргентал Корректор В,Ги Заказ 1765 Тираж 394 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж, Раушская наб 4(5 твенно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина Произв плоскопаралльную пластину 10, проходит ее и попадает на отражательную решетку 5. Дифрагировав на отражательной решетке 5, излучение вновь проходит плоскопараллельную пластину 10 и решетку 3, 5 а затем фокусируется линзами 6, 7, 11 на фотоприемники 8, 9, 12,Для получения сдвига по фазе на й- сигнала с фотоприемника 12 относитель 10 но сигналов с фотоприемников 8, 9 плоско- параллельную пластину 10 разворачивают при юстировке на определенный расчетными соотношениями угол в плоскости, перпендикулярной штрихам 4 решетки 3, 15 Формула изобретенияДатчик линейных перемещений, содержащий источник излучения и расположенные по ходу излучения конденсор, 20 пропускающую дифракционную решетку с системой параллельных штрихов, отражающую дифракционную решетку, предназначенную для крепления на контролируемом объекте, две собирающие линзы и два фотоприемника, расположенных каждый в фокусе соответствующей линзы, о т л и ч а ющ и й с я тем, что, с целью повышения точности и расширения класса исследуемых объектов за счет объектов с повышенной скоростью перемещения, он снабжен плоскопараллельной пластиной, выполненной в центре и по краям разнотолщинной, ориентированной границами раздела перпендикулярно штрихам решеток, и установленной между решетками дополнительной линзой, расположенной с основными линзами на одной линии, параллельной штрихам решеток, дополнительным фотоприемником, расположенным в фокусе дополнительной линзы, а фотоприемники, расположенные в фокусах крайних двух линз, соединены последовательно друг с другом,