Способ измерения толщины покрытия
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 1627833
Автор: Хаютин
Текст
СОЮЗ СОВЕТСНИХСОЦИАЛ ИСТИЧЕСНИРЕСПУБЛИН ВС)1627833 51)5 с О 1 В 15/ ОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЬГГИПРИ ГННТ СССР 5 г ..РИПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ тельно 1/1, изменетс тллЬ плкргг слзфс 1 тлнплср ия. Я 1 Я ВСЕ,)амер- "г к рент соотношение зависимост лт ствие различия кргшни е т с я 1 л 1 Ищения материал И ВОСПР ем испо ожн оказать, чт 2 с 1 (= 21 ЕХ ых дийрасой же в 1 П Цр,толинд глкгьтия,интенсивлс пх. и )Э -иксти подгде с 11 и 1(71) Госуддрственш,й научно-исследовательский, проектныйконгтрусторский иститут сплднлн и обработки цветных металлов "1 ироцветметобработка(56) Авторское сндетсьстнл сссР 12 859890, кл, Г 01 1( 15/О, 1980. (54) СП 0001( И 31 Е 1 ГШЮ тгН 1 И 1111 110 К 111 ТИР) Изобретеше относится к измериИзлбрс.тение относитсятельной технике, г, чдс 1 нлгенонским тллилГерд. плЦелью изобретения являшение точнлст измерешйизводимости измереий путзования для измерения рдзционных линий от лгной икристдллогрдсической пллс ложки.Способ осугествляют при использовании с/ и -лиий диАрдкионого спестра подложки.При отражении от мдссивнои подложки без покрытия соотношение интенсивностей соответственно с, и -линий (А) является постоянной для данного материала подложки и выбран ного излучения (веп(ества анода). При прохождении через покрытие падающих и отраженных составляющих 04 и технике, в частности к рентг новским толщиномердм плсрти. 11 елью изобретения является плшшене точности измерешй и Влснрлли- МОСТИ ИЗМЕРЕНИЙ ПУТЕМ ИС ПОЛ.ЗлнИЯ для измерения разных диабресглнных линий от одной и тлй же кристдлллгрдс 1)ическсЛлсклсти плпллжк. Регистрируют часть лЛрдктлгрдГ лт какой-либо одной крстдллл рдс 1 еской пллсклс 1 сд 3 с;жси В потоках С( и1мсрют Тс.г - ность, Лдлее регигтрируаг тл кс). подложки бепокрытия, .с"юинтенсинн)сти иотоклп К - и (5-2 П и опредсЛнюг тллнпну (крыт, 1 1 . ний, отрдж,.нных л л;н й и той же кристдллл.1;1- ЧЕСКОй ПЛЛСКЛСГИ ПЛД 1 ЛК- ки с покрытием;соответствующие углы 1 гражения Ос и-линий лт подложки с покрытием;коэд)сеты погллнс нияф линий В Гдтерп ле покрытия,162783."т ОТКУДЛ СгЕДС Ет с 1 =:-111(1) /( )а. ТПОс Я .п 65д 1; 11111 с ,:, О 113.сИих 11 сд - С.1 1 ОЕ 1151 ИГС.3131 с.мсст, результата ст р,. р сг.Ожк 1 (ТЕКПЕ; 3 т.1.), Д ПОО .С "Ь 31 В С:С3 -1:11(1 )/( Р РЫ ) 2 1 р япО втп(1слГ м Об онвнос.11 С и -глинн, ор лжец ц х От одцсй и той же крис.тяллигде Т,и Т,30 ТЕКО ЛОГ КОСТИ ложк с покрытием,соот 3 тст,югие углы отрджеция Гъ и ( 5111 ций От под ложки с. покрытием;1;ОэддиТиеты поглощецияи 3-.Иш в материале покртяИ 61,( и35 й 1 У 3 -т40 сос. нощецис. ицтецсивностей С и З-линий подлож 1+". бс.3 пок 1 тттЯ е Составитель В.ПарцдсовТехр; И.Ддьк Корректор М,Демчик Реддкгор с, (.ередя 3 3;, 1) Тираж Эб 5 Годпгсцое1,1111 Ос, ДРст зеЦЦОГО Ксмп ГЕТД Ио ИТОбретециям и откЬтиям ПрИ ГКНТ СССР 13035, осквд, 11-35 Раущская наб д. 3/5 3 гпрсч н;1. Гн, 1 о-тзлте 5 тт,с,и 1 сссзцдт Патент, г, жгород ул, Гагарина, 101 СКД 11 У 111 СГС 51 РЕЦТГ" ЦСВСКИХ 5 У1 О цей (ик 3 сгО . окрытие в медном излуц Пи, еИс 13 ксбяльтовом и Т.д.р 1с 3 с( с 1(. Н Остдль,. с., сх с111 е 1 е С( / упри 1 ерцо;13ОиО 1,) з 1 с 715 .К, Тд.Я.1.:Т П 31 ЕГС И ПРИ 1 ссс гикрыли:и ус -;:Д 1 11,;И 1 рск гСРДлс.ть,гдргкОрд 5.11 11 Мд к Р сл.111 сс 1 и 1 Осс т 1 подсжки в 1 О;Окдх с 5 -1 и 1 и и 33:.т ин 1 с цси- Од ся р Исргруют то жс для ио 1 Тсж.1 з покр 11 я, и:меряют ицтснспИостИГ гКО 3 (Т и 3 -лшгий иОПРЕ;сс:1 ЯпГ Л, ЗДТС ПО ПРГ 3 гЕЦЦОй дГфру О; 11,.1 яют т,1 иу 1 окТыти 51 тре-ч 3 д.11 й Гпособ ."ожег 0 те иГ. - ПОТ,О 11;; 3 КГ ПРЕСС ЦОГО СО 1 ТТС;1 Я толвишы электролитических или цапыленных н вакууме. слоев. Оц потволяетбыстро и точно измерить толщттцу покрьтий, для которых нет цддежцыхерлзруц(поих метсдов измерения. Спосос: позволяет Осуществить цепрерывц.1 техцологический контроль.Формула и добреения Способ измереция тслдцы покрытия, заключающийся в том,что ца объект контроля направляют пуок рентгеновского излучения, возсуждлп ддрлкиоццые линии подложки, регистрируют их ицтецсивности и опреГТе:я 1 толщину П(КГЫТИЯО Т Л И Ч Л ЮИ й Г Я тем, что, с. ель 11 цышения го Пости и 3 реций в кдест:,е дирдкциоцных лиц 1 Й подхОкки 1311331 д 1и Т -ли - ц 1 Ис истТЯ 111 1 ис цс 113 цос ги С и-ливий произво,ят От с;1 ой и той же кристаттсгрядпиеской и. Ос кости подложки, л то 3 и 1 цу пскрыпгия Определяют и о д ормгл е
СмотретьЗаявка
4483013, 19.09.1988
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ, ПРОЕКТНЫЙ И КОНСТРУКТОРСКИЙ ИНСТИТУТ СПЛАВОВ И ОБРАБОТКИ ЦВЕТНЫХ МЕТАЛЛОВ "ГИПРОЦВЕТМЕТОБРАБОТКА"
ХАЮТИН СЕРГЕЙ ГЕРМАНОВИЧ
МПК / Метки
МПК: G01B 15/02
Опубликовано: 15.02.1991
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-1627833-sposob-izmereniya-tolshhiny-pokrytiya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ измерения толщины покрытия</a>
Предыдущий патент: Устройство для измерения объемной усадки материалов
Следующий патент: Устройство контроля качества металлизации отверстий печатных плат
Случайный патент: Экспоненциальный преобразователь