Устройство контроля отклонения линейных размеров
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
)5 601 В 7/О ГОСУДАРСТВЕННЫЙПО ИЗОБРЕТЕНИЯМПРИ ГКНТ СССР МИТЕТОТКРЫТИЯМ Я Е СВИДЕТЕЛЬСТВУ АВТОРС ТКЛОН мерительение точиства для размеров щины ли- ержиттесатора с ПИСАНИЕ(56) Авторское свидетельство СССМ 1302138, кл, 6 01 В 7/02, 1985.(54) УСТРОЙСТВО КОНТРОЛЯ ОНИЯ ЛИНЕЙНЫХ РАЗМЕРОВ(57) Изобретение относится к изной технике и имеет целью повышности и чувствительности устроконтроля отклонения линейныхразличных объектов, например тостового материала. Устройство содстовую структуру в виде конде двумя компланарными электродами 1 и 2 гребенчатой формы, обращенными один к другому зубцами и размещенными на общей диэлектрической подложке 3. Концевые участки зубцов обоих электродов отогнуты в плоскости, перпендикулярной поверхности подложки, и изогнуты в соответствии с функциональной зависимостью, связывающей координату У с отношением ширины Ь зубца к расстоянию с между ними, Благодаря этому усиливается напряженность электростатического поля в области краевых участков зубцов обоих электродов, что обуславливает более значительное изменение емкости тестовой структуры в функции отклонения контролируемого параметра объекта. 2 ил,1618999 Составитель С,СкрыпникТехред М,Моргентал Коррект актор М.Бланар арош аз 35ВНИИПИ Гос Тиражвенного комитета по 113035, Москва, ЖПодписноеетениям и открытиям при ГКНТшская наб 4/5 оизводственно-издвтельский комбинат "Патент", г, Ужгород, ул.Гагарина, 10 Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в качестве тестовой структуры для контроля отклонений линейных размеров различных элеь ентов, например толщины контролиру емого материала.Цепью изобретения является повышение точности и чувс-вительности устройства для контроля отклонения линейных размеров при использовании тестовой структуры 10 емкостного типа.На фиг, 1 показано схематично конструктивное выполнение устройства для контроля отклонения линейных размеров; на фиг, 2 - то же, вид сбоку. 15Устройство содержит тестовую стоуктуру в виде конденсатора с двумя компланарными электродамии 2 гребенчатой формы, обращенными один к другому зубцами и размещенными на общей диэлектрической 20 подложке 3. Ширинч Ь зубцов электродов тестовой структуры не менее чем в 10 раз меньше расстояния с между ними, а концевые участки зубцов отогнуты в плоскости, перпендикулярной поверхности подложки 25 3, и изогнуты по координате У в соответствии с функциональной зависимостьюУ=А( - ) гдеА=1,2,3, .; 30 Ь/с - отношение ширины зубца к расстоянию между ними. Устройство работает следующим образом.Контролируемый материал (не показан) размещают возле поверхности тестовой структуры, что вызывает изменение электростатического поля, а следовательно, и емкости тестовой структуры в зависимости, например, от толщины этого материала, Благодаря тому, что кольцевые участки гребенчатых электродов 1 и 2 отогнуты в перпендикулярной к поверхности подложки 3 плоскости и изогнуты в соответствии с заданным математическим выражением в функции параметров гребенчатых электродов емкостной структуры, достигается увеличение напряженности электростатического поля в ее краевых зонах, что обуславливает повышение чувствительности и точности измерения отклонения размеров от номинала. Фоомула изобретения Устройство контроля отклонения линейных размеров, содержащее тестовую структуру в виде конденсатора с двумя компланарными электродами гребенчатой формы, обращенными один к другому зубцами и размещенными на общей диэлектрической подложке, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения точности и чувствительности, концевые участки зубцов обоих электродов отогнуты в плоскости, перпендикулярной поверхности подложки, и изогнуты в соответствии с функциональной зависимостью координаты У = АЬ/с, где А = 1, 2, 3, ., а Ь/с - отношение ширины Ь зубца к расстоянию с между ними.
СмотретьЗаявка
4643023, 30.01.1989
ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ В-2969
ОКУНЕВ ВАЛЕРИЙ АЛЕКСЕЕВИЧ, НИКАНДРОВ ОЛЕГ ПЕТРОВИЧ
МПК / Метки
МПК: G01B 7/02
Метки: линейных, отклонения, размеров
Опубликовано: 07.01.1991
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-1618999-ustrojjstvo-kontrolya-otkloneniya-linejjnykh-razmerov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устройство контроля отклонения линейных размеров</a>
Прибор для контроля размеров и отклонения профиля продольного сечения цилиндрической
Номер патента: 260203
Опубликовано: 01.01.1970
Автор: Карпов
МПК: G01B 5/20
Метки: отклонения, прибор, продольного, профиля, размеров, сечения, цилиндрической
...кронштейне 3, На основании прои помощи микрометрического Бинта 7 установлен столик 8. На столике размещена плавающая каретка 9, которая взаимодействует с дополнительной измерительной головкой 10, закрепленной на столике. Для фиксирования винта б в требуемом положении имеется винт 11.5 Прибор работает следующим образом.Концевую меру или блок, концевых мер устанавливают на плавающую каретку между наконечником и шгоком измерительной головки и закрепляют прижимом (на чертеже не по казан), Микрометрическим винтом перемещают наконечник до соприкосновения с измерительной, плоскостью плитки, после чего устанавливают показание измерительной головки б на нуль и закрепляют винт 11, Измери тельную головку 10 закрепляют на столикетак, чтобы шток...
Устройство контроля отклонений линейных размеров элементов фотошаблонов
Номер патента: 1302138
Опубликовано: 07.04.1987
Авторы: Кудря, Сорокопут, Черепков
МПК: G01B 7/02
Метки: линейных, отклонений, размеров, фотошаблонов, элементов
...зависимость относительной чувствительностиемкостной тестовой структуры от соотношения между шириной зубцов еегребенчатых электродов и расстоянием 20между ними.Устройство для контроля отклоненийлинейных размеров элементов фотошаблонов содержит емкостную тестовуюструктуру, выполненную в виде конденсатора с компланарными электродами 1 и 2, имеющими форму гребенок,обращенных одна к другой зубцами 3.Расстояние Й между зубцами не менеечем в 10 раз превышает ширину Ь зубцов. Тестовую структуру выполняют наполе фотошаблонов, заготовки которыхимеют одинаковую диэлектрическую проницаемость, лежащую в определенныхпределах, Формирование тестовой структуры осуществляют в процессе изготовления фотошаблонов. Электроды 1и 2 тестовой структуры...
Способ измерения отклонений линейных размеров объектов и устройство для его осуществления
Номер патента: 1798623
Опубликовано: 28.02.1993
Авторы: Иванов, Корзан, Сонин, Тимофеев
МПК: G01B 17/00
Метки: линейных, объектов, отклонений, размеров
...расстоянияколичество счетных импульсов а на измерительном интервале будет определяться поформуле где 21 э - длина трассы распространения акустического излучения от ИАП до ПАП (см, фиг. 1); Л - длина волны акустического излучения; п-число целыхдлин волн,укладыва. ющихся по трассе распространения 21 э, а квадратные скобки - символ операции определения целой части числа.В случае, когда Л = Л о и й = йо, имеем .20 21 э и Л о про =1 - д -Йо оНазовем величину ао значением, соответствующим приведенному эталонному 25 расстоянию.При изменении длины волны излучения будет изменяться число а, что позволяет использовать эту информацию для изменения коэффициента й, чтобы обеспечить ста бильность цены деления измерения, Если длина волны излучения...
Способ контроля отклонений размеров деталей при фотохимической обработке материалов
Номер патента: 1778507
Опубликовано: 30.11.1992
Автор: Кустов
МПК: G01B 7/02
Метки: обработке, отклонений, размеров, фотохимической
...меньшими предела разрешения, после проведения процесса фотохими. ческой обработки в рамке не сохраняются.Это связано с тем, что при уменьшении размера тестового элемента на фотошаблонеиз-за дифракции, возникающей вследствиеконечной величины зазора между фоторезистом на поверхности обрабатываемого материала и фотошаблоном, а также конечнойтолщиной самого фоторезистивного покрытиФ, повышается интенсивность освещенияпод центром элемента, Пропорциональноинтенсивности освещения увеличивается идоза экспозиции, и, следовательно, скоростьудаления фоторезиста при его проявлении,Время полного удаления фоторезистивных 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 элементов, обратно пропорциональное скорости проявления, уменьшается с уменьшением...
Способ определения размеров электрода-инструмента при электрохимической обработке
Номер патента: 545439
Опубликовано: 05.02.1977
Авторы: Данильцева, Погорелов
МПК: B23P 1/04
Метки: обработке, размеров, электрода-инструмента, электрохимической
...в - съемная половина электрода-инструмента,Для практического осуществления предлагаемого способа обработку детали ведут электродом, состоящим из двух половин, стянутых болтами. В собранном состоянии электрод монтируют на шпинделе станка, нарсзают и нем профиль, соответствуюццй заданным размерам детали, и производят обработку. Процесс ведут на оптимальных технологических режимах на полную глубину профиля. Обработку ведут либо до совпадения плоскости разъема электрода с передней плоскостью обрабатываемой детали, либо на проход, Во втором случае после окончания процесса обработки производят совмещение плоскости разъема электрода с передней плоскостью обработанной детали, После смещения этих плоскостей в одной плоскости скрепляют электрод...
Предыдущий патент: Бесконтактный датчик перемещения
Следующий патент: Устройство для измерения глубины скважины кабелем с нанесенными на нем корректирующими метками
Случайный патент: Устройство для контроля интенсивности конвективной сушки окатышей