Способ диффузионной сварки полупроводников с металлами
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК 1 б 1855 9) Я К БРЕТЕН ИСА хнологичеогориш вилиириндас атериалов,Казакова0-237. ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬС(71) Московский авиационный тский институт им.К.Э.Циолковск(57) Изобретение относится к сварке давлением с подогревом, в частности к диффузиИзобретение относи)ся к сварке давлением с подогревом, в частности к диффузионной сварке полупроводников с металлами, и может быть использовано для соединения кремния с алюминием в электронной, электротехнической, радиотехнической и других отраслях промышленности.Целью изобретения является повышение качества сварного соединения путем снижения остаточных напряжений при сварке кремния с алюминием,Способ осуществляют следующим образом,При соединении полупроводников с металлами детали, изготовленные из них, нагревают, сдавливают и осуществляют изотермическую выдержку с последующим охлаждением, В процессе охлаждения про- водят 3-9 ступеней изотермической виброобработки с циклическим приложением вибрации на каждой ступени. онной сварке полупроводников с металлами, и может быть использовано для соединения в электронной, электротехнической, радиотехнической и других отраслях промышленности. Цель изобретения - повышение качества сварного соединения путбм снижения остаточных напряжений при сварке кремния с алюминием. При соединении полупроводников с металлами детали, изготовленные из них, нагревают, сдавливают и осуществляют изотермическую выдержку с последующим охлаждением. В процессе охлаждения проводят 3 - 9 ступеней изотерми- ческой виброобработки с циклическим приложением вибрации на каждой ступени, В процессе охлаждения происходит релаксация остаточных напряжений. Приложение вибрации в процессе охлаждения на каждой ступени изотермической выдержки позволяет снизить суммарное усилие сжатия и снизить температуру сварки, благодаря чему снижаются остаточные напряжения в зоне соединения, позволяет повысить его качество.При числе ступеней меньше 3 качество соединения низкое, а при числе ступеней больше 9 уменьшается производительность,П р и м е р. Сваривали деталь из полупроводника (монокристаллический кремний марки КЭФ,5) в виде диска диаметром 8,0 мм и толщиной 0,2 мм с алюминиевой деталью в виде кольца наружным диаметром 8,0 мм, внутренним 4,0 мм и толщиной 4,0 мм. Саариваемые детали нагревали до температуры сварки со скоростью 50 К/мин, сдавливали усилием 10 МПа и осуществляли изотермическую выдержку в течение 20 мЗаказ 59/91 Тираж Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж, Раушская наб 4/5Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101 пературы сварки со скоростью 50 К/мин, сдавливали усилием 10 МПа и осуществляли изотермическую выдержку в течение 20 мин. В процессе охлаждения осуществляли 6 изотермических выдержек в течение 10 мин каждая при температурах 803, 783, 743, 723 и 703 К.На каждой ступени детали подвергали виброобработке частотой 5-5000 Гц при давлении 7 МПа.Проведенные механические испытания показали повышение качества сварных соединений. Формула изобретенияСпособ диффузионной сварки полупроводников с металлами, при которомдеталинагревают, сдавливают и осуществляют5 изотермическую выдержку с последующимохлаждением, о тл и ч а ю щ и й с я тем, что,с целью повышения качества сварного соединения путбм снижения остаточных напряжений при сварке кремния с10 алюминием, в процессе охлаждения проводят 3-9 ступеней изотермической виброобработки с циклическим приложениемвибрации на каждой ступени,
СмотретьЗаявка
4611020, 02.12.1988
МОСКОВСКИЙ АВИАЦИОННЫЙ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ ИМ. К. Э. ЦИОЛКОВСКОГО
КОВШИКОВ ЕВГЕНИЙ КОНСТАНТИНОВИЧ, НИПАРИШВИЛИ АРЧИЛ ГУРАНОВИЧ, ЛЕНОВ НИКОЛАЙ НИКОЛАЕВИЧ, АНТОНОВ ВАЛЕРИЙ ПЕТРОВИЧ, КИРИНДАС НИКОЛАЙ МИХАЙЛОВИЧ, ШЛИФЕР СТАНИСЛАВ ЭДУАРДОВИЧ
МПК / Метки
МПК: B23K 20/14
Метки: диффузионной, металлами, полупроводников, сварки
Опубликовано: 07.01.1991
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-1618551-sposob-diffuzionnojj-svarki-poluprovodnikov-s-metallami.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ диффузионной сварки полупроводников с металлами</a>
Предыдущий патент: Стабилизатор мощности
Следующий патент: Способ лазерно-плазменного легирования
Случайный патент: Устройство для контроля содержания растворителя в масле