Способ определения коррозионной активности полимерных материалов

ОЮЗ СОВЕТСКИХОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ 54)5 ПИС онного м ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИПРИ ГКНТ СССР К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬ(71) Московский институт алекшиностроения(54) СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ КОРРОЗИОННОЙ АКТИВНОСТИ ПОЛИМЕРНЫХ МАТЕРИАЛОВ(57) Изобретение относится к исследованию свойств полимерных материалов для защиИзобретение относится к области иследования свойств полимерных материалов для защиты и герметизации полупроводниковых приборов и интегральных схем.Цель изобретения - повышение достоверности определения коррозионной активности полимерных материалов путем исключения погрешностей в местах соединения контактных площадок с проводами измерителя,Способ реализуется следующим образом., Изготавливается тестовая полупроводниковая пластина с нанесенными поверх изоляционной пленки металлическими проводниками определенной длины и контактными площадками, на ее часть с проводниками наносится исследуемый полимерный материал, а часть с контактными площадками покрывается эластичным материалом с минимальной корроэионной активностью (например, кремнийорганическим) и прокалывается над контактными площадка 159769 ТМ 17/00 ты и герметизации полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. Цель - повышение достоверности результатов определения коррозионной активности полимерных материалов, так как отсутствуют зоны коррозии, связанные с присоединением проводников к тестовой структуре. Спопоб заключается в изготовлении тестовой структуры с металлическими проводниками поверх слоя диэлектрика с нанесенным на них слоем полимеров. При этом измерение сопротивления этих проводников проводится путем прокалывания эластичного полимерного прозрачного материала над контактными площадками,ми заостренными щупами, подключенными к измерителю сопротивления, Такие измерения при необходимости можно повторять, так как после извлечения щупов пленка полимерного материала закрывает место прокола, Это удобно в случае необходимости исследования корроэионной активности.высокомодульных полимеров.П р и м е р. Были сделаны тестовые структуры (кремний КЭФ - 20, площадь структуры 25 мм, изолятор - слой О 2 толщи 2ной 0,12 мкм), на каждой структуре 3 алюминиевых проводника, закороченных на концах на контактные площадки площадью 2 мм, сопротивление каждого проводника 24 Ом. Затем по 5 пластин было залито кремнийорганическими компаундами ГК и СИЭЛ 159-167. Материалы ГК и СИЭЛ 159 - 167 отверждались по рекомендованным для них режимам, а затемвсе пластины помещались в термовлагокамеру и выдерживались в условиях 120 С, 98 О/ о.в. Через каждые 24 ч проиэводился замер сопротивления проЗаказ 3047 Тираж 482 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж, Раушская наб., 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101 водников. Для этого прокалывался полимерный материал над контактными пло.- щадками.В жестких условиях термовлагокамеры коррозия, в случае присоединения внешних 5 проводников к контактным площадкам, идет быстрее нежели при использовании данного способа. Следовательно, в этом случае полученные результаты характеризуют не коррозионную активность полимер ного материала, а условия на контактах. При применении предлагаемого способа полученные данные характеризуют коррозионную активность полимерного материала, который может быть любым, 15Для исследования коррозионной активности эпоксидного материала (смола ЭД - 8, отвердитель полизтиленполиамин, соотношение 10:1) его наносили на область пластин с проводниками(контактные площадки 20 защищались прижатой фторопластовой пленкой), затем эпоксидный материал отверждался по режиму 150 С, 5 ч, на контактные площадки наносился компаунд ГК и отверждался, затем пластины помещались в ТВК и проводились измерения аналогично измерениям эластичных материалов, Время 50 отказов составило 150 ч.ф о р мул а и зоб рете н и я Способ определения коррозионной активности полимерных материалов, по которому изготовляют полупроводниковую пластину, наносят на нее металлические проводники с контактными площадками, на проводники наносят исследуемый полимерный материал, йзмеряют электрическое сопротивление проводников, по которому судят о коррозионной активности полимерныхматериалов, отл ича ю щийс я тем, что, с целью повышения достоверности определения, на контактные площадки наносят инертный по отношению к ним эластичный прозрачный материал, а измерение сопротивления проводников осуществляют прокалывая материал над контактными площадками щупами измерителя сопротивления.