Способ получения покрытия

(54) СПОСОБ ПОЛУЧ (57) Изобретение отн получения покрытий по вакуумных электронных ности внутренней повер колбы квантового водо ЕНИЯ ПОКРЫТИЯ осится к технологии верхности изделий в устройствах, в частности накопительной одного генератора, иЮ ГОСУДАРСТВЕННЫИ НОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР Изобретение относится к технологии получения защитного покрытия внутренней поверхности изделия в вакуумных электронных устройствах; в частности внутренней поверхности накопительной колбы квантового водородного генератора, и может быть использовано при исследовании физических и химических процессов в квантовой электронике и радиофизике, в физической химии, в вакуумной технике.Целью изобретения является повышение эксплуатационных свойств покрытия за счет уменьшения коэффициента рекомбинации атомов водорода на стенках колбы.Пример . Изделие смачивают водной суспензией порошка политетрафторэтилена, сушат и спекают при 360 - 380 С.После спекания изделие подвергают обработке атомарным водородом. В качестве источника атомарного водорода используют диссоциатор, представляющий собой разрядную камеру, на которой возбуждают высокочастотный газовый разряд, В диссоциатор непрерывно подают молекулярный водород в количестве, необходимом для создания пар 2может быть использовано при исследовании физических и химических процессов в в куумной технике, квантовой электронике и радиофизике. Изобретение позволяет повысить эксплуатационные свойства покрытий на внутренней поверхности накопительной колбы квантового водородного генератора за счет уменьшения коэффициента рекомбинации атомов водорода на стенках колбы, Для этого по предлагаемому способу наносят водную суспензию порошка политетрафторэтилена на поверхность изделия (колбы), сушат, спекают при 360 - 380 С и затем обрабатывают покрытие в атмосфере атомарного водорода при давлении 5 - 1 О Па и комнатной температуре в течение 3 - 5 ч; 1 табл. ционного давления атомарного водорода в объеме изделия 10 Па. Газовый разряд в диссоциаторе включают на 3 ч, в течение которого происходит обработка внутренней поверхности объема атомами водорода при комнатной температуре. Отработанный газ эффу зирует из объема изделия в вакуумную камеру и откачивается вакуумным насосом, После обработки изделия диссоциатор включают, подача водорода и откачка вакуумной камеры прекращается,В объем вакуумной камеры и изделия для его консервации напускак)т сухой азот.Пример 2. Внутренняя поверхность колбы смачивается водной суспензией порошка политетрафторэтилена, сушится и спекается в атмосфере кислорода при температуре 360 С. Покрытие двухслойное со смачиванием первого слоя 1 о-ным водным раствором ПАВ (ОП - 10). После смачивания ПАВом на поверхность наносится второй слой суспензии и осуществляется окончательное спекание при температуре 360 - 380 С в атмосфере кислорода. Колба устанавливается в вакуумную камеру 2. Обеспечивается требуемый1579573 режим обработки поверхности атомами водорода (давление 5 Па) в течение 5 ч.В нашем случае для экспериментального выбора режима обработки проводился периодический контроль времени жизни атомов в колбе, для чего на короткое время прекращалась подача водорода, Аналогичные измерения проводились и перед началом обработки поверхности.Температура спекания в пределах 360 - 380 С не сказывается существенно на качестве покрытия (значения начального - до обработки водорода времени жизни атомов 1(оэффициент рекомбинацииИ-атомов на поверхности х 10 Время жизни В-атомов, с Темпера Радиус смтура спею, к а 1 и 1 я, С 3 ч обра ч обботки работки Исходный(известный) 380 360 1,02 0,90 1,02 0,92 4,1 4,9 4,14,8 2,2 1,9 1,9 2,3 7,4 7,6 Составитель Р. ВакарРедактор Л. Гратилло Техред А. Кравчук Корректор Т. ПалийЗаказ 1974 Тираж 570 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР1 3035, Москва, Ж - 35, Раушская наб., д. 4/5Производс венно-издательский комбинат Патент, г. Ужгород, ул. Гагарина, 1 О Полученное покрытие обладает улучшенными эксплуатационными свойствами в части увеличения времени жизни атомов водорода (в 2 раза). Формула изобретенияСпособ получения покрытия на внутренней поверхности изделия путем нанесения водной суспензии порошка политетрафторводорода не коррелировались с температурой спекания 360 в 3 С и имели незначительный разброс в зависимости от партии суспензии и геометрии колб). По замеренным временам жизни атомов рассчитывался коэффициент рекомбинации атомов на поверхности накопительной колбы. Результаты для двух накопительных колб водородного генератора с двухслойным по 10 крытием из различных партий суспензии и отличающимися геометрическими размерами приведены в таблице.этилена, сушки и последующего спекания при 360 - 380 С, отличающийся тем, что, с целью повышения эксплуатационных свойств покрытия, нанесенного на внутреннюю поверхность накопительной колбы квантового водородного генератора, покрытие после спекания обрабатывают в атмосфере атомарного водорода при давлении 5 - 10 Па и комнатной температуре в течение 3 - 5 ч.