Способ очистки бескислородных газов от фосфина

Номер патента: 1551402

Авторы: Беляков, Дятлов, Рыбаков, Теплов

ZIP архив

Текст

тносится очистке газ использовадругих о я удаления кет быт мической озяйства ленных г ссте- еакзов. ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИПРИ ГКНТ СССР Цель изобретения - снижение температуры процесса и повышение степени очистки путем проведения пиролиза в присутствии катализатора - красного фосфора, нанесенного на инертную (например, керамическую) насадку, при этом температура пиролиза не превышает 416 - 424 С, а степень очистки газов от фосфина составляет 99 99%.Катализатор - красный фосфор, нанесенный на керамическую насадку, получают газотранспортной реакцией - термическим разложением фосфина (-2 об.%) при00 - 150 С. На насадке образуется слой аморфного красного фосфора. При толщине слоя красного фосфора на насадке более 5 мкм катализатор позволяет достичь 99,99%-ной очистки газов от фос(54) СПОСОБ ОЧИСТКИ Б Г СКИСЛОРОДНЫХ ГАЗОВ ОТ ФОСФИЧА(57) Изобретение относится к технологии очистки газов от фосфина, применяемой в химической и электронной промышленности, и позволяет снизить температуру процесса газоочистки н повысить степень очистки. Очищаемые бескислородные газы подвергаются пиролизу в присутствии катализатора - красного фосфора, нанесенного на инертную насадку. Способ позволяет снизить температуру процесса с 700800 до 416 в 4 С, т.е. на 276 в 3 С, и повысить степень очистки газа до 99,99% . фина. Красныи фосфор, образовавшийся прн пиролизе фосфина, улавливают на охлажденной твердой поверхности в запалочном устройстве при температуре до 150 С.1-а чертеже приведены зависимостипени очистки газов от температуры в р торе.Пример 1. Отходящий газовый потокпрсизводства полупроводниковых приборов с содержанием фосфина 13 мг/нм" направляют в обогреваемый реактор. Температура в зоне реакции 150 - 415 С. Степень очистки газового потока от фосфина 0,001 - 1,43%.В реакционную зону реактора вводяткатализатор - красный фосфор на керамической насадке. Условия опыта те же: 3 мг/нм, 1=150 - 415 С. Степень очистки газового потока от фосфнна возрастает от 0 20 цо 72 15"Пример 2 Газовый бескислородный потокс содержанием фосфина 13 мг/нм" направляют в реактор. Температура в зоне реакции 416 в 4"С. Степень очистги газов от фосфина 1,44 - 1 49%.= 938 о И о оЯ1,с а Ы 7 О Составитель Л. Лликбероваехред И. Верее Корректор ираж 577 Подписное Редактор Н. Бобкова Заказ 292 ИРПР Государственного 113035, М роизводственно-издателКравцова комитета по изобре скн а, Ж - 35, Ра кий комбинат Пат зВ реакционную зону реактора вводят катализатор - красный фосфор на насадке. Условия опыта те же. Степень очистки от фосфина 99,99%.Пример 3. Газовый бескислородный поток с содержанием фосфина 3 мг/нмз направляют в реактор, Температура в зоне реакции 420 в 4 С. Степень очистки газов от фосфина 1,49 - 1,51%,В реакционную зону реактора введен красный фосфор. Условия опыта те же. Степень очистки газов от фосфина 99,99%.77 ример 4. Газовый бескислородный поток с содержанием фосфина 13 мг/нмз направляется в реактор. Температура в зоне реакции 425 в 7 С. Степень очистки газов от фосфина 1,53 - 38,04%,В реакционную зону реактора введен красный фосфор. Условия опыта те же. Степень очистки газов от фосфина снижа- ется от 99,80 до 51,54%.Пример 5. Газовый бес кислородный поток с содержанием фосфина 13 мг/нмз направляется в реактор. Температура в зоне реакции 800 С. Степень очистки 99,88%.В реакционную зону реактора введенкрасный фосфор. Условия опыта те же, Степень очистки газов от фосфина 99,88%.Как видно из примеров- 5 и графической зависимости степени очистки газов от температуры в реакторе, предлагаемый способ позволяет снизить температуру; роцесса до 41 б - 424 С и повысить степень 10 очистки до 99,99% (кривая 1) против 700 -800 С и 99,88% кривая 2) в известномспособе. 15Способ очистки бескислородных газовот фосфина путем пиролиза с последующим улавливанием красного фосфора, отличаюиийся тем, что, с целью снижения температуры процесса и повышения степени 20 очистки, пиролиз ведут в присутствии красного фосфора, нанесенного на инертную насадку. тениям и открытиям при КНТ СССР шская наб д. 45 ент, г, Ужгород, ул. Гагарина, 1 0 1

Смотреть

Заявка

4354961, 04.01.1988

ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ В-8796

РЫБАКОВ ВИКТОР ВЛАДИМИРОВИЧ, БЕЛЯКОВ БОРИС ПЕТРОВИЧ, ДЯТЛОВ АЛЕКСАНДР ИВАНОВИЧ, ТЕПЛОВ ЛЕОНИД ИВАНОВИЧ

МПК / Метки

МПК: B01D 53/46, B01D 53/88

Метки: бескислородных, газов, фосфина

Опубликовано: 23.03.1990

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-1551402-sposob-ochistki-beskislorodnykh-gazov-ot-fosfina.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ очистки бескислородных газов от фосфина</a>

Похожие патенты